弹性波装置的制作方法

1.本发明广泛地涉及弹性波装置，更详细地，涉及具备压电体层的弹性波装置。


背景技术：

2.以往，作为弹性波装置，已知有具备压电基板和共用一片压电基板的多个弹性波谐振器的弹性波滤波器装置(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波滤波器装置中，多个弹性波谐振器各自包含压电基板和形成在压电基板上且具有对置的一对梳形电极的idt电极。一对梳形电极各自包含：汇流条电极，配置为在弹性波传播方向上延伸；以及多个电极指，与汇流条电极连接，并配置为在弹性波传播方向的正交方向上延伸。此外，弹性波滤波器装置还具备将一个弹性波谐振器的汇流条电极和其它弹性波谐振器的汇流条电极连接的连接布线。
3.在专利文献1记载了如下内容，即，压电基板也可以是依次层叠了高声速支承基板、低声速膜、以及压电膜(压电体层)的层叠构造。
4.在先技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2017-195580号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的问题
8.在像专利文献1记载的弹性波装置那样压电基板为层叠构造的情况下，有时由于压电体层和idt电极以及连接布线的线膨胀系数差，施加于压电体层的应力变大。因此，在压电体层中，在从高声速支承基板(支承基板)的厚度方向的俯视下，存在在和一个弹性波谐振器的汇流条电极与多个电极指之间的缝隙重叠的区域、以及和其它弹性波谐振器的汇流条电极与多个电极指之间的缝隙重叠的区域发生极化反转之虞。
9.本发明的目的在于，提供一种能够抑制极化反转的发生的弹性波装置。
10.用于解决问题的技术方案
11.本发明的一个方式涉及的弹性波装置具备：支承基板、压电体层、多个第1电极指以及多个第2电极指、多个第3电极指以及多个第4电极指、第1汇流条、连接部、和第4汇流条。所述压电体层设置在所述支承基板上。所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指设置在所述压电体层上。所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指在与所述支承基板的厚度方向交叉的第1方向上相互分开地排列。所述多个第3电极指以及所述多个第4电极指设置在所述压电体层上。所述多个第3电极指以及所述多个第4电极指在与所述支承基板的所述厚度方向交叉的第2方向上相互分开地排列。所述第1汇流条设置在所述压电体层上，与所述多个第1电极指的一端连接。所述连接部包含第2汇流条和第3汇流条。所述第2汇流条设置在所述压电体层上，与所述多个第2电极指的一端连接。所述第3汇流条设置在所述压电体层上，与所述多个第3电极指的一端连接。所述第4汇流条设置在所述压电体层上，与所
述多个第4电极指的一端连接。所述弹性波装置还具备应力缓解层。所述应力缓解层设置在所述第2连接部与所述压电体层之间。所述第2汇流条与所述多个第1电极指的另一端对置。所述第3汇流条与所述多个第4电极指的另一端对置。在从所述支承基板的所述厚度方向的俯视下，所述应力缓解层不到达所述多个第1电极指与所述第2汇流条之间的缝隙和所述多个第4电极指与所述第3汇流条之间的缝隙。
12.发明效果
13.本发明的一个方式涉及的弹性波装置能够抑制极化反转的发生。
附图说明
14.图1的a是实施方式1涉及的弹性波装置的俯视图。图1的b涉及同上的弹性波装置，是图1的a的a-a线剖视图。
15.图2是同上的弹性波装置的尺寸说明图。
16.图3的a是施加于压电体层的第1主面的应力的说明图。图3的b是在不具备应力缓解层的情况下施加于压电体层的第1主面的应力的说明图。
17.图4是实施方式2涉及的弹性波装置的剖视图。
18.图5是实施方式3涉及的弹性波装置的剖视图。
具体实施方式
19.在以下的实施方式1～实施方式3等中参照的图1的a、图1的b、图2、图3的a、图3的b、图4以及图5均为示意性的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比未必一定反映了实际的尺寸比。
20.(实施方式1)
21.(1)弹性波装置的整体结构
22.以下，参照图1的a、图1的b以及图2对实施方式1涉及的弹性波装置1进行说明。
23.弹性波装置1具备支承基板2、压电体层5、多个第1电极指61以及多个第2电极指62、多个第3电极指63以及多个第4电极指64、第1连接部71、第2连接部72(连接部)、和第3连接部73。多个第1电极指61以及多个第2电极指62设置在压电体层5上。多个第3电极指63以及多个第4电极指64设置在压电体层5上。第1连接部71设置在压电体层5上。第1连接部71包含与多个第1电极指61的一端611连接的第1汇流条81。第2连接部72设置在压电体层5上。第2连接部72包含第2汇流条82和第3汇流条83。第2汇流条82与多个第2电极指62的一端621连接，并与第1汇流条81以及多个第1电极指61对置。第3汇流条83与多个第3电极指63的一端631连接。第3连接部73设置在压电体层5上。第3连接部73包含第4汇流条84。第4汇流条84与多个第4电极指64的一端641连接，并与第3汇流条83以及多个第3电极指63对置。弹性波装置1还具备应力缓解层9。应力缓解层9设置在第2连接部72与压电体层5之间。
24.在弹性波装置1中，由多个第1电极指61、多个第2电极指62、第1汇流条81以及第2汇流条82构成了第1idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极111。此外，在弹性波装置1中，由多个第3电极指63、多个第4电极指64、第3汇流条83、以及第4汇流条84构成了第2idt电极112。
25.弹性波装置1还具备设置在支承基板2与压电体层5之间的低声速膜4。此外，弹性
波装置1还包含设置在支承基板2与低声速膜4之间的高声速膜3。
26.(2)弹性波装置的各构成要素
27.(2.1)支承基板
28.支承基板2对压电体层5进行支承。在实施方式1涉及的弹性波装置1中，支承基板2还对高声速膜3以及低声速膜4进行支承，并经由高声速膜3以及低声速膜4对压电体层5进行支承。
29.支承基板2具有相互对置的第1主面21以及第2主面22。第1主面21和第2主面22在支承基板2的厚度方向d0上对置。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，支承基板2为长方形，但是并不限于此，例如也可以是正方形。
30.支承基板2的厚度最好为10λ(λ：由电极指间距p1决定的弹性波的波长)μm以上且180μm以下，作为一个例子，例如为120μm。支承基板2例如为硅基板。在该情况下，支承基板2的第1主面21的面方位例如为(100)面，但是并不限于此，例如也可以是(110)面、(111)面。弹性波的传播方位能够不受支承基板2的面方位限制而进行设定。
31.(2.2)压电体层
32.压电体层5具有相互对置的第1主面51以及第2主面52。第1主面51和第2主面52在支承基板2的厚度方向d0上对置。压电体层5的第1主面51是压电体层5的极化轴方向上的“ ”面，但是并不限于此，也可以是
“‑”
面。所谓极化轴方向上的“ ”面，是指处于压电体层5中的极化分量的“ ”侧所朝的方向上的面。所谓极化轴方向上的
“‑”
面，是指处于压电体层5中的极化分量的
“‑”
侧所朝的方向上的面。
33.压电体层5例如由γ
°
y切割x传播litao3压电单晶形成。关于γ
°
y切割x传播litao3压电单晶，在将litao3压电单晶的三个晶轴设为x轴、y轴、z轴的情况下，是用将以x轴为中心轴从y轴向z轴方向旋转了γ
°
的轴作为法线的面切断的litao3单晶，并且是声表面波在x轴方向上传播的单晶。若将切割角设为γ[
°
]，将压电体层5的欧拉角设为(θ，ψ)，则压电体层5的切割角为γ＝θ 90
°
。其中，γ和γ
±
180
×
n是同义的(在晶体学上是等效的)。在此，n为自然数。压电体层5并不限定于γ
°
y切割x传播litao3压电单晶，例如也可以是γ
°
y切割x传播litao3压电陶瓷。
[0034]
例如，在将由第1idt电极111以及第2idt电极112的电极指间距(电极指周期)p1决定的弹性波的波长设为λ时，压电体层5的厚度为3.5λ以下。关于电极指间距p1，在后述的“(2.3)idt电极”一栏中进行说明。弹性波装置1在压电体层5的厚度为3.5λ以下的情况下，q值变高。此外，弹性波装置1通过将压电体层5的厚度设为2.5λ以下，从而能够减小tcf(temperature coefficient of frequency，温度频率系数)。进而，在弹性波装置1中，通过将压电体层5的厚度设为1.5λ以下，从而能够容易地调整弹性波的声速。另外，压电体层5的厚度并不限定于3.5λ以下，也可以大于3.5λ。在实施方式1涉及的弹性波装置1中，例如，弹性波的波长为2.0μm。
[0035]
可是，在弹性波装置1中，在压电体层5的厚度为3.5λ以下的情况下，像上述的那样q值变高，但是产生高阶模。在弹性波装置1中，设置有上述的低声速膜4以及高声速膜3，使得即使压电体层5的厚度为3.5λ以下，也可使高阶模降低。
[0036]
在弹性波装置1中，作为在压电体层5传播的弹性波的模式，存在纵波、sh波或sv波、或它们复合的模式。在弹性波装置1中，使用以sh波为主成分的模式作为主模。所谓高阶
模，是在比在压电体层5传播的弹性波的主模靠高频率侧产生的杂散模式。关于在压电体层5传播的弹性波的模式是否为“以sh波为主成分的模式主模”，例如，能够使用压电体层5的参数(材料、欧拉角以及厚度等)、第1idt电极111以及第2idt电极112的参数(材料、厚度以及电极指间距p1等)、低声速膜4的参数(材料、厚度等)等参数，通过有限元法对位移分布进行解析，并解析形变，由此来进行确认。压电体层5的欧拉角能够通过分析求出。
[0037]
压电体层5的材料并不限定于钽酸锂(litao3)，例如也可以是铌酸锂(linbo3)、氧化锌(zno)、氮化铝(aln)、或锆钛酸铅(pzt)。在压电体层5例如由y切割x传播linbo3压电单晶或压电陶瓷构成的情况下，弹性波装置1能够使用以sh波为主成分的模式作为主模。另外，关于压电体层5的单晶材料、切割角，例如只要根据弹性波装置1包含的滤波器的要求规格(通过特性、衰减特性、温度特性以及带宽等滤波器特性)等适当地决定即可。
[0038]
(2.3)idt电极
[0039]
弹性波装置1具备多个idt电极110。多个idt电极110包含上述的第1idt电极111以及第2idt电极112。多个idt电极110设置在压电体层5上。更详细地，多个idt电极110设置在压电体层5的与支承基板2侧的第2主面52相反侧的第1主面51上。
[0040]
第1idt电极111具有第1汇流条81、第2汇流条82、多个第1电极指61、以及多个第2电极指62。第2汇流条82与第1汇流条81对置。
[0041]
多个第1电极指61与第1汇流条81连接，并向第2汇流条82侧延伸。多个第1电极指61与第1汇流条81形成为一体，并与第2汇流条82分离。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，在多个第1电极指61与第2汇流条82之间存在缝隙102。
[0042]
多个第2电极指62与第2汇流条82连接，并向第1汇流条81侧延伸。多个第2电极指62与第2汇流条82形成为一体，并与第1汇流条81分离。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，在多个第2电极指62与第1汇流条81之间存在缝隙101。
[0043]
第1idt电极111是标准型的idt电极。以下，对第1idt电极111进行更详细的说明。
[0044]
第1idt电极111的第1汇流条81以及第2汇流条82是将与支承基板2的厚度方向d0正交的第1方向d1作为长边方向的长条状。换言之，第1idt电极111的第1汇流条81以及第2汇流条82是将作为弹性波传播方向的第1方向d1作为长边方向的长条状。在第1idt电极111中，第1汇流条81和第2汇流条82在与支承基板2的厚度方向d0和第1方向d1这两者正交的方向(以下，也称为第1规定方向)上相互对置。
[0045]
多个第1电极指61与第1汇流条81连接，并朝向第2汇流条82延伸。在此，多个第1电极指61从第1汇流条81沿着第1规定方向延伸。多个第1电极指61的前端(另一端612)和第2汇流条82分离。在此，在多个第1电极指61的前端与第2汇流条82之间存在上述的缝隙102。例如，多个第1电极指61彼此的长度以及宽度相同。
[0046]
多个第2电极指62与第2汇流条82连接，并朝向第1汇流条81延伸。在此，多个第2电极指62从第2汇流条82沿着第1规定方向延伸。多个第2电极指62的前端(另一端622)和第1汇流条81分离。在此，在多个第2电极指62的前端与第1汇流条81之间存在上述的缝隙101。例如，多个第2电极指62彼此的长度以及宽度相同。在图1的a的例子中，多个第2电极指62的长度与多个第1电极指61的长度相同。此外，在图1的a的例子中，多个第2电极指62的宽度与多个第1电极指61的宽度相同。
[0047]
在第1idt电极111中，多个第1电极指61以及多个第2电极指62在与支承基板2的厚
度方向d0交叉的第1方向d1上相互分开地排列。在此，多个第1电极指61以及多个第2电极指62在第1方向d1上一根一根地交替地相互分开地排列，但是并不限定于此。相邻的第1电极指61和第2电极指62分离。第1汇流条81是用于将多个第1电极指61设为相同的电位的导体部。第2汇流条82是用于将多个第2电极指62设为相同的电位(等电位)的导体部。
[0048]
第1idt电极111具有由多个第1电极指61和多个第2电极指62规定的交叉区域121。交叉区域121是多个第1电极指61的前端的包络线与多个第2电极指62的前端的包络线之间的区域。第1idt电极111在交叉区域121中激励弹性波。
[0049]
第1idt电极111的电极指间距p1可通过多个第1电极指61之中相邻的两个第1电极指61的中心线间的距离、或者多个第2电极指62之中相邻的两个第2电极指62的中心线间的距离来定义。相邻的两个第2电极指62的中心线间的距离与相邻的两个第1电极指61的中心线间的距离相同。
[0050]
在实施方式1涉及的弹性波装置1的第1idt电极111中，作为一个例子，第1电极指61和第2电极指62的对数为100对。也就是说，作为一个例子，第1idt电极111具有100根第1电极指61和100根第2电极指62。
[0051]
第2idt电极112具有第3汇流条83、第4汇流条84、多个第3电极指63、以及多个第4电极指64。第4汇流条84与第3汇流条83对置。
[0052]
多个第3电极指63与第3汇流条83连接，并向第4汇流条84侧延伸。多个第3电极指63与第3汇流条83形成为一体，并与第4汇流条84分离。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，在多个第3电极指63与第4汇流条84之间存在缝隙104。
[0053]
多个第4电极指64与第4汇流条84连接，并向第3汇流条83侧延伸。多个第4电极指64与第4汇流条84形成为一体，并与第3汇流条83分离。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，在多个第4电极指64与第3汇流条83之间存在缝隙103。
[0054]
第2idt电极112是标准型的idt电极。以下，对第2idt电极112进行更详细的说明。
[0055]
第2idt电极112的第3汇流条83以及第4汇流条84是将与支承基板2的厚度方向d0正交的第2方向d2作为长边方向的长条状。换言之，第2idt电极112的第3汇流条83以及第4汇流条84是将作为弹性波传播方向的第2方向d2作为长边方向的长条状。在第2idt电极112中，第3汇流条83和第4汇流条84在与支承基板2的厚度方向d0和第2方向d2这两者正交的方向(以下，也称为第2规定方向)上相互对置。在实施方式1涉及的弹性波装置1中，第2方向d2与第1方向d1平行。因此，第2规定方向与第1规定方向平行。
[0056]
多个第3电极指63与第3汇流条83连接，并朝向第4汇流条84延伸。在此，多个第3电极指63从第3汇流条83沿着第2规定方向延伸。多个第3电极指63的前端(另一端632)和第4汇流条84分离。在此，在多个第3电极指63的前端与第4汇流条84之间存在上述的缝隙104。例如，多个第3电极指63彼此的长度以及宽度相同。
[0057]
多个第4电极指64与第4汇流条84连接，并朝向第3汇流条83延伸。在此，多个第4电极指64从第4汇流条84沿着第2规定方向延伸。多个第4电极指64的前端(另一端642)和第3汇流条83分离。在此，在多个第4电极指64的前端与第3汇流条83之间存在上述的缝隙103。例如，多个第4电极指64彼此的长度以及宽度相同。在图1的a的例子中，多个第4电极指64的长度与多个第3电极指63的长度相同。此外，在图1的a的例子中，多个第4电极指64的宽度与多个第3电极指63的宽度相同。
[0058]
在第2idt电极112中，多个第3电极指63以及多个第4电极指64在与支承基板2的厚度方向d0交叉的第2方向d2上相互分开地排列。在此，多个第3电极指63以及多个第4电极指64在第2方向d2上一根一根地交替地相互分开地排列，但是并不限定于此。相邻的第3电极指63和第4电极指64分离。第3汇流条83是用于将多个第3电极指63设为相同的电位的导体部。第4汇流条84是用于将多个第4电极指64设为相同的电位(等电位)的导体部。
[0059]
第2idt电极112具有由多个第3电极指63和多个第4电极指64规定的交叉区域122。交叉区域122是多个第3电极指63的前端的包络线与多个第4电极指64的前端的包络线之间的区域。第2idt电极112在交叉区域122中激励弹性波。
[0060]
第2idt电极112的电极指间距p1可通过多个第3电极指63之中相邻的两个第3电极指63的中心线间的距离、或者多个第4电极指64之中相邻的两个第4电极指64的中心线间的距离来定义。相邻的两个第4电极指64的中心线间的距离与相邻的两个第3电极指63的中心线间的距离相同。
[0061]
在实施方式1涉及的弹性波装置1的第2idt电极112中，作为一个例子，第3电极指63和第4电极指64的对数为100对。也就是说，作为一个例子，第2idt电极112具有100根第3电极指63和100根第4电极指64。
[0062]
多个idt电极110具有导电性。多个idt电极110的材料例如为al(铝)、cu(铜)、pt(铂)、au(金)、ag(银)、ti(钛)、ni(镍)、cr(铬)、mo(钼)、w(钨)、ta(钽)、mg(镁)、fe(铁)或以这些金属中的任意者为主体的合金等。此外，多个idt电极110也可以具有将包含这些金属或合金的多个金属膜层叠的构造。此外，多个idt电极110例如包含第1金属膜和第2金属膜的层叠膜，第1金属膜形成在压电体层5上，由ti膜构成，第2金属膜形成在第1金属膜上，由al膜构成。第1金属膜具有作为密接膜的功能。第1金属膜的材料为ti，但是并不限于此，例如也可以是cr或nicr。此外，第2金属膜的材料为al，但是并不限于此，例如也可以包含al和cu。第1金属膜的厚度比第2金属膜的厚度薄。
[0063]
(2.4)第1连接部
[0064]
第1连接部71具有导电性。第1连接部71设置在压电体层5上。第1连接部71直接设置在压电体层5的第1主面51上。
[0065]
第1连接部71包含第1汇流条81。第1汇流条81与多个第1电极指61连接。因此，第1连接部71与多个第1电极指61连接，包含第1idt电极111的一部分。
[0066]
第1连接部71与多个第1电极指61形成为一体。第1连接部71从多个第1电极指61向与第2汇流条82侧相反侧延伸。
[0067]
第1连接部71具有第1层71a和第2层71b。第1层71a与多个第1电极指61形成为一体。第2层71b形成在第1层71a中的与压电体层5相反侧。第1层71a与多个第1电极指61材料相同且厚度相同，并与多个第1电极指61形成为一体。
[0068]
第1层71a的材料例如为al、cu、pt、au、ag、ti、ni、cr、mo、w、ta、mg、fe或以这些金属中的任意者为主体的合金等。此外，第1层71a也可以具有将包含这些金属或合金的多个金属膜层叠的构造。此外，第1层71a例如包含第1金属膜和第2金属膜的层叠膜，第1金属膜形成在压电体层5上，由ti膜构成，第2金属膜形成在第1金属膜上，由al膜构成。第1金属膜具有作为密接膜的功能。第1金属膜的材料为ti，但是并不限于此，例如也可以是cr或nicr。此外，第2金属膜的材料为al，但是并不限于此，例如也可以包含al和cu。
[0069]
第2层71b的材料例如为al，但是并不限于此，也可以是cu，还可以包含al和cu，还可以包含al、cu、ti以及pt。例如，在包含al、cu、ti以及pt的情况下，第2层71b也可以是从第1层71a侧起依次排列了ti膜、alcu膜、ti膜、pt膜以及ti膜的层叠膜。第2层71b的厚度比第1层71a的厚度厚。
[0070]
(2.5)第2连接部
[0071]
第2连接部72具有导电性。第2连接部72设置在压电体层5上。第2连接部72的一部分直接设置在压电体层5的第1主面51上，剩余的部分经由应力缓解层9间接地设置在压电体层5的第1主面51上。
[0072]
第2连接部72包含第2汇流条82和第3汇流条83。第2汇流条82与多个第2电极指62连接，并与第1汇流条81以及多个第1电极指61对置。第3汇流条83与多个第3电极指63连接。因此，第2连接部72与多个第2电极指62以及多个第3电极指63连接，并包含第1idt电极111的一部分和第2idt电极112的一部分。第2连接部72具有包含第2汇流条82的第1连接端部721和包含第3汇流条83的第2连接端部722。在第2连接部72中，第1方向d1上的第1连接端部721的宽度h1(参照图2)比第1长度l1(参照图2)长，该第1长度l1是多个第1电极指61和多个第2电极指62的交叉区域121的第1方向d1上的长度。从减小第2连接部72的电阻的观点出发，宽度h1优选为第1长度l1以上。此外，在第2连接部72中，第2方向d2上的第2连接端部722的宽度h2比第2长度l2(参照图2)长，该第2长度l2是多个第3电极指63和多个第4电极指64的交叉区域122的第2方向d2上的长度。从减小第2连接部72的电阻的观点出发，宽度h2优选为第2长度l2以上。在第2连接部72中，也可以是，第1连接端部721与第2连接端部722之间的部分725的宽度h5(参照图2)小于第1长度l1以及第2长度l2，但是从减小第2连接部72的电阻的观点出发，优选不小于第1长度l1以及第2长度l2。
[0073]
第2连接部72与多个第2电极指62以及多个第3电极指63形成为一体。从多个第2电极指62观察，第2连接部72向与第1汇流条81侧相反侧延伸。此外，从多个第3电极指63观察，第2连接部72向与第4汇流条84侧相反侧延伸。
[0074]
第2连接部72具有第1层(下层)72a和第2层(上层)72b。第1层72a与多个第2电极指62以及多个第3电极指63材料相同且厚度相同，并与多个第2电极指62以及多个第3电极指63形成为一体。第2层72b形成在第1层72a中的与压电体层5相反侧。第2层72b与第1连接部71的第2层71b材料相同且厚度相同。在实施方式1涉及的弹性波装置1中，多个第2电极指62和多个第3电极指63仅经由第2连接部72电连接。第2连接部72不包含焊盘电极。
[0075]
第1层72a的材料例如为al、cu、pt、au、ag、ti、ni、cr、mo、w、ta、mg、fe或以这些金属中的任意者为主体的合金等。此外，第1层71a也可以具有将包含这些金属或合金的多个金属膜层叠的构造。此外，第1层72a例如包含第1金属膜和第2金属膜的层叠膜，第1金属膜形成在压电体层5上，由ti膜构成，第2金属膜形成在第1金属膜上，由al膜构成。第1金属膜具有作为密接膜的功能。第1金属膜的材料为ti，但是并不限于此，例如也可以是cr或nicr。此外，第2金属膜的材料为al，但是并不限于此，例如也可以包含al和cu。
[0076]
第2层72b的材料例如为al，但是并不限于此，也可以是cu，还可以包含al和cu，还可以包含al、cu、ti以及pt。例如，在包含al、cu、ti以及pt的情况下，第2层71b也可以是从第1层71a侧起依次排列了ti膜、alcu膜、ti膜、pt膜以及ti膜的层叠膜。第2层72b的厚度比第1层72a的厚度厚。
[0077]
第2连接部72只要具有第1层72a和第2层72b中的至少第1层72a即可。从第2连接部72的低电阻化的观点出发，第2连接部72优选具有第1层72a和第2层72b的双方。在第2连接部72具有第1层72a和第2层72b的双方的情况下，优选第1层72a以及第2层72b的双方的第3方向d3上的长度均不小于第1长度l1以及第2长度l2。
[0078]
(2.6)第3连接部
[0079]
第3连接部73具有导电性。第3连接部73设置在压电体层5上。第3连接部73直接设置在压电体层5的第1主面51上。
[0080]
第3连接部73包含第4汇流条84。第4汇流条84与多个第4电极指64连接。因此，第3连接部73与多个第4电极指64连接，并包含第2idt电极112的一部分。
[0081]
第3连接部73与多个第3电极指63形成为一体。第3连接部73从多个第4电极指64向与第3汇流条83侧相反侧延伸。
[0082]
第3连接部73具有第1层73a和第2层73b。第1层73a与多个第4电极指64形成为一体。第2层73b形成在第1层73a中的与压电体层5相反侧。第1层73a与多个第4电极指64材料相同且厚度相同，并与多个第4电极指64形成为一体。
[0083]
第1层73a的材料例如为al、cu、pt、au、ag、ti、ni、cr、mo、w、ta、mg、fe或以这些金属中的任意者为主体的合金等。此外，第1层71a也可以具有将包含这些金属或合金的多个金属膜层叠的构造。此外，第1层73a例如包含第1金属膜和第2金属膜的层叠膜，第1金属膜形成在压电体层5上，由ti膜构成，第2金属膜形成在第1金属膜上，由al膜构成。第1金属膜具有作为密接膜的功能。第1金属膜的材料为ti，但是并不限于此，例如也可以是cr或nicr。此外，第2金属膜的材料为al，但是并不限于此，例如也可以包含al和cu。
[0084]
第2层73b的材料例如为al，但是并不限于此，也可以是cu，还可以包含al和cu，还可以包含al、cu、ti以及pt。例如，在包含al、cu、ti以及pt的情况下，第2层71b也可以是从第1层71a侧起依次排列了ti膜、alcu膜、ti膜、pt膜以及ti膜的层叠膜。第2层73b的厚度比第1层71a的厚度厚。
[0085]
(2.7)应力缓解层
[0086]
应力缓解层9设置在第2连接部72与压电体层5之间。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，应力缓解层9不到达多个第1电极指61与第2汇流条82之间的缝隙102和多个第4电极指64与第3汇流条83之间的缝隙103。应力缓解层9在多个第2电极指62与多个第3电极指63之间为一片。换言之，在第2连接部72与压电体层5之间设置在压电体层5的第1主面51上的应力缓解层9仅为一个，在压电体层5的第1主面51上是未被分割为多个部分的一个连续层。
[0087]
应力缓解层9的材料例如为氧化硅或聚酰亚胺，但是并不限于此，例如，也可以是氧化铪(hfo2)、氧化铌(nb2o5)、氧化钽(ta2o5)、氧化钨(wo3)或氧化铈(ceo2)。
[0088]
在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，应力缓解层9例如为长方形，但是并不限于此，例如也可以是正方形。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，应力缓解层9与第2连接部72交叉(在此为正交)。应力缓解层9具有第1突出部93和第2突出部94。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，第1突出部93从第2连接部72的宽度方向d3上的第1端723突出。在实施方式1涉及的弹性波装置1中，第2连接部72的宽度方向d3与第1方向d1以及第2方向d2平行，但是并不限于此，也可以不平行。第2连接部72相当于对将第2连接部72中除第2汇流
条82以及第3汇流条83以外的部分视为布线时的布线宽度进行规定的布线宽度方向。在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，第2突出部94从第2连接部72的宽度方向d3上的第2端724突出。
[0089]
在弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，应力缓解层9中的多个第2电极指62侧的端部91与多个第1电极指61的距离l13(参照图2)比第2连接部72的第1层72a中的多个第2电极指62侧的端部72a1与多个第1电极指61的距离l11(参照图2)长。另外，在多个第1电极指61的长度存在偏差的情况下，将应力缓解层9中的多个第2电极指62侧的端部91与多个第1电极指61之中最长的第1电极指61(前端最靠近第2连接部72的第1电极指61)的距离设为距离l13。
[0090]
此外，在弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，应力缓解层9中的多个第3电极指63侧的端部92与多个第4电极指64的距离l23(参照图2)比第2连接部72的第1层72a中的多个第3电极指63侧的端部72a2与多个第4电极指64的距离l21(参照图2)长。另外，在多个第4电极指64的长度存在偏差的情况下，将应力缓解层9中的多个第3电极指63侧的端部92与多个第4电极指64之中最长的第4电极指64(前端最靠近第2连接部72的第4电极指64)的距离设为距离l23。
[0091]
在弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，应力缓解层9中的多个第2电极指62侧的端部91与多个第1电极指61的距离l13(参照图2)比第2层72b中的多个第2电极指62侧的端部72b1与多个第1电极指61的距离l12(参照图2)长。
[0092]
此外，在弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，如图2所示，应力缓解层9中的多个第3电极指63侧的端部92与多个第4电极指64的距离l23(参照图2)比第2层72b中的多个第3电极指63侧的端部72b2与多个第4电极指64的距离l22(参照图2)长。
[0093]
(2.8)低声速膜
[0094]
低声速膜4设置在压电体层5与支承基板2之间。在实施方式1涉及的弹性波装置1中，低声速膜4经由高声速膜3间接地设置在支承基板2上。
[0095]
低声速膜4是如下的膜，即，在低声速膜4传播的体波的声速与在压电体层5传播的体波(bulk wave)的声速相比成为低速。在支承基板2中，在支承基板2传播的体波的声速与在压电体层5传播的弹性波的声速相比为高速。在此，在支承基板2传播的体波是在支承基板2传播的多个体波之中声速最低的体波。
[0096]
在实施方式1涉及的弹性波装置1中，低声速膜4设置在高声速膜3与压电体层5之间。在弹性波装置1中，低声速膜4设置在高声速膜3与压电体层5之间，由此弹性波的声速下降。弹性波具有能量本质上集中于低声速的介质这样的性质。因此，能够提高向压电体层5内以及被激励弹性波的第1idt电极111内以及第2idt电极112内分别封闭弹性波的能量的效果。其结果是，弹性波装置1与未设置低声速膜4的情况相比，能够降低损耗、提高q值。
[0097]
低声速膜4的材料例如为氧化硅。低声速膜4的材料并不限定于氧化硅。低声速膜4的材料例如也可以是玻璃、氮氧化硅、氧化钽、氧化硅中添加了氟、碳或硼的化合物、或者将上述各材料作为主成分的材料。
[0098]
在低声速膜4为氧化硅的情况下，弹性波装置1能够改善温度特性。钽酸锂的弹性常数具有负的温度特性，氧化硅具有正的温度特性。因此，在弹性波装置1中，能够减小tcf的绝对值。
[0099]
若将由上述的电极指间距p1决定的弹性波的波长设为λ，则低声速膜4的厚度优选为2.0λ以下。低声速膜4的厚度例如为670nm。通过将低声速膜4的厚度设为2.0λ以下，从而能够使膜应力降低，其结果是，在制造弹性波装置1时能够使成为支承基板2的基础的晶片(例如，硅晶片)的翘曲降低，能够使良品率提高以及特性稳定化。
[0100]
(2.9)高声速膜
[0101]
高声速膜3设置在支承基板2与低声速膜4之间。在此，高声速膜3直接设置在支承基板2的第1主面21上。高声速膜3是如下的膜，即，在高声速膜3传播的体波的声速与在压电体层5传播的弹性波的声速相比成为高速。高声速膜3的厚度例如为200nm、300nm、400nm。
[0102]
高声速膜3发挥功能，使得抑制主模的弹性波的能量泄漏到比高声速膜3靠下的构造。在弹性波装置1中，在高声速膜3的厚度足够厚的情况下，主模的弹性波的能量分布于压电体层5以及低声速膜4的整体，还分布于高声速膜3的低声速膜4侧的一部分，在支承基板2则没有分布。通过高声速膜3来封闭弹性波的机理是与作为非泄漏的sh波的勒夫波(love wave)型的表面波的情况相同的机理，例如，在文献“声表面波器件仿真技术入门”、桥本研也、realize公司、p.26-28有所记载。上述机理与使用由声多层膜构成的布拉格反射器来封闭弹性波的机理不同。
[0103]
高声速膜3的材料例如为氮化硅。高声速膜3的材料并不限于氮化硅，例如，也可以是从由类金刚石碳、氮化铝、氧化铝、碳化硅、硅、蓝宝石、压电体(钽酸锂、铌酸锂、或石英)、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石、氧化镁、以及金刚石构成的组选择的至少一种材料。高声速膜3的材料也可以是将上述的任意材料作为主成分的材料、或者将包含上述的任意的材料的混合物作为主成分的材料。
[0104]
(3)弹性波装置的制造方法
[0105]
以下，对弹性波装置1的制造方法进行简单说明。
[0106]
在弹性波装置1的制造方法中，至少进行以下的第1工序～第5工序。
[0107]
在第1工序中，准备具有支承基板2、高声速膜3、低声速膜4以及压电体层5的层叠构造的压电性基板。
[0108]
在第2工序中，在压电性基板中的压电体层5的第1主面51形成应力缓解层9。在应力缓解层9的材料为氧化硅的情况下，例如，利用成膜技术、光刻技术以及蚀刻技术来形成应力缓解层9。在应力缓解层9的材料为聚酰亚胺的情况下，在第2工序中，例如，利用光刻技术来形成应力缓解层9。
[0109]
在第2工序中，在压电性基板中的压电体层5的第1主面51形成抗蚀剂层。在此，在第2工序中，形成第1抗蚀剂层，该第1抗蚀剂层被图案化为使压电体层5的第1主面51之中预计形成多个第1电极指61、多个第2电极指62、多个第3电极指63、多个第4电极指64、第1连接部71的第1层71a、第2连接部72的第1层72a以及第3连接部73的第1层73a的区域露出。
[0110]
在第3工序中，通过蒸镀法在压电体层5上(压电体层5的第1主面51之中露出的区域上以及应力缓解层9的表面上)形成成为第1电极指61、多个第2电极指62、多个第3电极指63、多个第4电极指64、第1连接部71的第1层71a、第2连接部72的第1层72a以及第3连接部73的第1层73a的基础的层叠膜。层叠膜具有第1金属膜(例如，ti膜)和第1金属膜上的第2金属膜(例如，al膜)的层叠构造。
[0111]
在第4工序中，通过进行剥离，从而将第1抗蚀剂层以及第1抗蚀剂层上的无用膜除
去，由此将层叠膜图案化。由此，在第4工序中，在压电体层5上留下层叠膜之中与多个第1电极指61、多个第2电极指62、多个第3电极指63、多个第4电极指64、第1连接部71的第1层71a、第2连接部72的第1层72a以及第3连接部73的第1层73a对应的部分。在此，无用膜是在第3工序中形成的层叠膜之中形成在第1抗蚀剂层上的部分。
[0112]
在第5工序中，形成第1连接部71的第2层71b、第2连接部72的第2层72b以及第3连接部73的第2层73b。第1连接部71的第2层71b、第2连接部72的第2层72b以及第3连接部73的第2层73b利用薄膜形成技术(例如，蒸镀法或溅射法)、光刻技术以及蚀刻技术来形成，但是并不限于此，例如，也可以利用剥离法来形成。
[0113]
在弹性波装置1的制造方法中，在第5工序之后，对包含多个弹性波装置1的晶片进行划片，由此得到多个弹性波装置1(小片(chips))。弹性波装置1的制造方法是一个例子，没有特别限定。
[0114]
(4)总结
[0115]
实施方式1涉及的弹性波装置1具备设置在第2连接部72与压电体层5之间的应力缓解层9。在此，在从支承基板2的厚度方向d0的俯视下，应力缓解层9不到达多个第1电极指61与第2汇流条82之间的缝隙102、和多个第4电极指64与第3汇流条83之间的缝隙103。
[0116]
在实施方式1涉及的弹性波装置1中，能够抑制极化反转的发生。至于是否在压电体层5中与缝隙102、103各自重叠的区域发生了极化反转，例如能够通过利用扫描型探针显微镜(scanning probe microscope)进行观察来确认。
[0117]
图3的a是施加于压电体层5的第1主面51的应力的说明图。图3的b是在不具备应力缓解层9的情况下施加于压电体层5的第1主面51的应力的说明图。图3的a以及图3的b是用于说明通过应力缓解层9可缓解施加于压电体层5的第1主面51的应力的推测机理的图。在图3的a以及图3的b各自中，沿着压电体层5的第1主面51记载的箭头示出施加于第1主面51的应力的朝向，用箭头的长短来表示应力的大小。也就是说，箭头越长，表示应力越大，箭头越短，表示应力越小。在压电体层5和支承基板2被直接或间接地粘合的结构中，与压电体层5兼用作支承基板的结构的弹性波装置相比，存在如下情况，即，由于压电体层5的线膨胀系数和第2连接部72的第1层72a的线膨胀系数的差异而施加于压电体层5的第1主面51中与缝隙102、103各自重叠的区域的应力，因压电体层5的线膨胀系数和支承基板2的线膨胀系数的差异的影响而变得更大。在具备应力缓解层9的情况下，由于应力缓解层9将来自第2连接部72的应力吸收，从而与不具备应力缓解层9的情况相比，能够缓解施加于压电体层5的第1主面51中与缝隙102、103各自重叠的区域的应力。在具备应力缓解层9的结构中，与不具备应力缓解层9的结构相比，能够将施加于压电体层5的第1主面51中与缝隙102、103各自重叠的区域的应力的大小的平均值例如减小两成左右。
[0118]
(实施方式2)
[0119]
接着，参照图4对实施方式2涉及的弹性波装置1a进行说明。关于实施方式2涉及的弹性波装置1a，对于与实施方式1涉及的弹性波装置1同样的构成要素，标注相同的附图标记并省略说明。
[0120]
实施方式2涉及的弹性波装置1a与实施方式1涉及的弹性波装置1的不同点在于，不具备实施方式1涉及的弹性波装置1的高声速膜3。即，在实施方式2涉及的弹性波装置1a中，低声速膜4直接设置在支承基板2的第1主面21上。
[0121]
实施方式2涉及的弹性波装置1a具备与实施方式1涉及的弹性波装置1相同的应力缓解层9，因此能够抑制极化反转的发生。
[0122]
(实施方式3)
[0123]
接着，参照图5对实施方式3涉及的弹性波装置1b进行说明。关于实施方式3涉及的弹性波装置1b，对于与实施方式1涉及的弹性波装置1同样的构成要素，标注相同的附图标记并省略说明。
[0124]
实施方式3涉及的弹性波装置1b与实施方式1涉及的弹性波装置1的不同点在于，不具备实施方式1涉及的弹性波装置1的高声速膜3以及低声速膜4。即，在实施方式3涉及的弹性波装置1b中，压电体层5直接设置在支承基板2的第1主面21上。
[0125]
在实施方式3涉及的弹性波装置1b中，支承基板2是高声速支承基板。支承基板2包含从由硅、氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石、氧化镁、以及金刚石构成的组选择的至少一种材料。
[0126]
实施方式3涉及的弹性波装置1b具备与实施方式1涉及的弹性波装置1相同的应力缓解层9，因此能够抑制极化反转的发生。
[0127]
上述的实施方式1～实施方式3只不过是本发明的各种各样的实施方式之一。上述的实施方式1～实施方式3只要能够达到本发明的目的，就能够根据设计等而进行各种变更。
[0128]
弹性波装置1、1a、1b也可以与应力缓解层9独立地具备介于第1连接部71与压电体层5之间的应力缓解层。此外，弹性波装置1、1a、1b还可以与应力缓解层9独立地具备介于第3连接部73与压电体层5之间的应力缓解层。
[0129]
此外，从支承基板2的厚度方向d0的俯视下的应力缓解层9的形状也可以根据从支承基板2的厚度方向d0的俯视下的第2连接部72的形状而适当地进行变更。
[0130]
此外，弹性波装置1、1a、1b通过多个连接部(包含第1连接部71、第2连接部72以及第3连接部73)将多个idt电极110适当地进行连接，由此可以构成梯型滤波器，也可以构成纵向耦合型滤波器。
[0131]
多个idt电极110是标准型的idt电极，但是并不限于此，例如，也可以是实施了切趾加权的idt电极，还可以是倾斜idt电极。在实施了切趾加权的idt电极中，随着从弹性波的传播方向上的一端部接近中央，交叉宽度变大，随着从弹性波的传播方向上的中央接近另一端部，交叉宽度变小。
[0132]
此外，弹性波装置1也可以还具备第1反射器和第2反射器，第1反射器在第1方向d1上在第1idt电极111的一侧以及另一侧各配置有一个，第2反射器在第2方向d2上在第2idt电极112的一侧以及另一侧各配置有一个。第1反射器对将第1方向d1作为弹性波传播方向的弹性波进行反射。第2反射器对将第2方向d2作为弹性波传播方向的弹性波进行反射。
[0133]
第1反射器以及第2反射器例如直接设置在压电体层5的第1主面51上。第1反射器以及第2反射器各自例如为短路格栅，但是并不限于此，例如也可以是开路格栅、正负反射型格栅等。
[0134]
第1反射器以及第2反射器各自具有导电性。第1反射器以及第2反射器的材料例如为al、cu、pt、au、ag、ti、ni、cr、mo、w、ta、mg、fe或以这些金属中的任意者为主体的合金等。此外，第1反射器以及第2反射器各自也可以具有将包含这些金属或合金的多个金属膜层叠
的构造。第1反射器以及第2反射器各自例如包含第1金属膜和第2金属膜的层叠膜，第1金属膜形成在压电体层5上，由ti膜构成，第2金属膜形成在第1金属膜上，由al膜构成。
[0135]
(方式)
[0136]
在本说明书中，公开了以下的方式。
[0137]
第1方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)具备支承基板(2)、压电体层(5)、多个第1电极指(61)以及多个第2电极指(62)、多个第3电极指(63)以及多个第4电极指(64)、第1汇流条(81)、连接部(第2连接部72)、和第4汇流条(84)。多个第1电极指(61)以及多个第2电极指(62)设置在压电体层(5)上。多个第1电极指(61)以及多个第2电极指(62)在与支承基板(2)的厚度方向(d0)交叉的第1方向(d1)上相互分开地排列。多个第3电极指(63)以及多个第4电极指(64)设置在压电体层(5)上。多个第3电极指(63)以及多个第4电极指(64)在与支承基板(2)的厚度方向(d0)交叉的第2方向(d2)上相互分开地排列。第1汇流条(81)设置在压电体层(5)上，与多个第1电极指(61)的一端(611)连接。连接部(第2连接部72)包含第2汇流条(82)和第3汇流条(83)。第2汇流条(82)设置在压电体层(5)上，与多个第2电极指(62)的一端(621)连接。第3汇流条(83)设置在压电体层(5)上，与多个第3电极指(63)的一端(631)连接。第4汇流条(84)设置在压电体层(5)上，与多个第4电极指(64)的一端(641)连接。弹性波装置(1；1a；1b)还具备应力缓解层(9)。应力缓解层(9)设置在连接部(72)与压电体层(5)之间。第2汇流条(82)与多个第1电极指(61)的另一端(612)对置。第3汇流条(83)与多个第4电极指(64)的另一端(642)对置。在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，应力缓解层(9)不到达多个第1电极指(61)与第2汇流条(82)之间的缝隙(102)、和多个第4电极指(64)与第3汇流条(83)之间的缝隙(103)。
[0138]
在第1方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，能够抑制极化反转的发生。
[0139]
此外，在第1方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，应力缓解层(9)不到达多个第1电极指(61)与第2汇流条(82)之间的缝隙(102)、和多个第4电极指(64)与第3汇流条(83)之间的缝隙(103)，由此不易使弹性波装置(1；1a；1b)的激励特性劣化。
[0140]
在第2方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第1方式中，应力缓解层(9)具有第1突出部(93)和第2突出部(94)。在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，第1突出部(93)从连接部(第2连接部72)的宽度方向(d3)上的第1端(723)突出。在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，第2突出部(94)从连接部(第2连接部72)的宽度方向(d3)上的第2端(724)突出。
[0141]
在第2方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，可获得连接部(第2连接部72)针对宽度方向(d3)上的应力缓解层(9)的位置的偏差的余量。
[0142]
在第3方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第1或第2方式中，连接部(第2连接部72)具有包含第2汇流条(82)的第1连接端部(721)和包含第3汇流条(83)的第2连接端部(722)。在连接部(第2连接部72)中，第1方向(d1)上的第1连接端部(721)的宽度(h1)为第1长度(l1)以上，该第1长度(l1)是多个第1电极指(61)和多个第2电极指(62)的交叉区域(121)的第1方向(d1)上的长度。在连接部(第2连接部72)中，第2方向(d2)上的第2连接端部(722)的宽度(h2)为第2长度(l2)以上，该第2长度(l2)是多个第3电极指(63)和多个第4电极指(64)的交叉区域(122)的第2方向(d2)上的长度。
[0143]
在第3方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，能够降低连接部(第2连接部72)的电阻，能够降低损耗。
[0144]
第4方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)基于第3方式。在连接部(第2连接部72)中，第1连接端部(721)与第2连接端部(722)之间的部分(725)的宽度(h5)不小于第1长度(l1)以及第2长度(l2)。
[0145]
在第4方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，能够进一步降低连接部(第2连接部72)的电阻，能够降低损耗。
[0146]
在第5方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第1～第4方式中的任一方式中，应力缓解层(9)在多个第2电极指(62)与多个第3电极指(63)之间为一片。
[0147]
在第5方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，能够进一步缓解施加于压电体层(5)中与各缝隙(102、103)各自重叠的区域的应力。
[0148]
在第6方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第1～第5方式中的任一方式中，连接部(第2连接部72)与多个第2电极指(62)以及多个第3电极指(63)形成为一体。
[0149]
在第6方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，与存在连接部(第2连接部72)与多个第2电极指(62)以及多个第3电极指(63)的接触界面的情况相比，能够抑制特性劣化。
[0150]
在第7方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第1～第6方式中的任一方式中，连接部(第2连接部72)具有第1层(72a)和第2层(72b)。第1层(72a)与多个第2电极指(62)以及多个第3电极指(63)形成为一体。第2层(72b)形成在第1层(72a)中的与压电体层(5)相反侧。
[0151]
在第7方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，可谋求连接部(第2连接部72)的低电阻化，能够降低损耗。
[0152]
在第8方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第7方式中，在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，应力缓解层(9)中的多个第2电极指(62)侧的端部(91)与多个第1电极指(61)的距离(l13)比第1层(72a)中的多个第2电极指(62)侧的端部(72a1)与多个第1电极指(61)的距离(l11)长。在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，应力缓解层(9)中的多个第3电极指(63)侧的端部(92)与多个第4电极指(64)的距离(l23)比第1层(72a)中的多个第3电极指(63)侧的端部(72a2)与多个第4电极指(64)的距离(l21)长。
[0153]
在第8方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，能够更大地获得针对应力缓解层(9)的位置的偏差的余量。
[0154]
在第9方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第7或第8方式中，在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，应力缓解层(9)中的多个第2电极指(62)侧的端部(91)与多个第1电极指(61)的距离(l13)比第2层(72b)中的多个第2电极指(62)侧的端部(72b1)与多个第1电极指(61)的距离(l12)长。在从支承基板(2)的厚度方向(d0)的俯视下，应力缓解层(9)中的多个第3电极指(63)侧的端部(92)与多个第4电极指(64)的距离(l23)比第2层(72b)中的多个第3电极指(63)侧的端部(72b2)与多个第4电极指(64)的距离(l22)长。
[0155]
在第9方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，能够更大地获得针对应力缓解层(9)的位置的偏差的余量。
[0156]
在第10方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，在第1～第9方式中的任一方式中，连接部(第2连接部72)不包含焊盘电极。
[0157]
在第10方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，能够排除经由与焊盘电极连接的凸块施加于焊盘电极的应力的影响。
[0158]
在第11方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，在第1～第10方式中的任一方式中，还具备低声速膜(4)。低声速膜(4)设置在支承基板(2)与压电体层(5)之间。压电体层(5)包含从钽酸锂、铌酸锂、氧化锌、氮化铝或锆钛酸铅的组选择的至少一种材料。低声速膜(4)包含从包含氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽、氧化硅中添加了氟或碳或硼的化合物的组选择的至少一种材料。
[0159]
在第11方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，与不具备低声速膜(4)的情况相比，能够降低损耗、提高q值。
[0160]
在第12方式涉及的弹性波装置(1)中，在第1～第10方式中的任一方式中，还具备低声速膜(4)和高声速膜(3)。低声速膜(4)设置在支承基板(2)与压电体层(5)之间。高声速膜(3)设置在支承基板(2)与低声速膜(4)之间。压电体层(5)包含从钽酸锂、铌酸锂、氧化锌、氮化铝或锆钛酸铅的组选择的至少一种材料。低声速膜(4)包含从包含氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽、氧化硅中添加了氟或碳或硼的化合物的组选择的至少一种材料。高声速膜(3)包含从由类金刚石碳、氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石、氧化镁、以及金刚石构成的组选择的至少一种材料。
[0161]
在第12方式涉及的弹性波装置(1)中，能够抑制弹性波泄漏到支承基板(2)，能够提高q值。
[0162]
在第13方式涉及的弹性波装置(1b)中，在第1～第10方式中的任一方式中，压电体层(5)包含从钽酸锂、铌酸锂、氧化锌、氮化铝或锆钛酸铅的组选择的至少一种材料。支承基板(2)包含从由硅、氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石、氧化镁、以及金刚石构成的组选择的至少一种材料。
[0163]
在第13方式涉及的弹性波装置(1b)中，能够抑制弹性波泄漏到支承基板(2)，能够提高q值。
[0164]
在第14方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b)中，在第11～第13方式中的任一方式中，应力缓解层(9)包含从由氧化硅、聚酰亚胺、氧化铪、氧化铌、氧化钽、氧化钨、以及氧化铈构成的组选择的至少一种材料。
[0165]
附图标记说明
[0166]
1、1a、1b：弹性波装置；
[0167]
2：支承基板；
[0168]
21：第1主面；
[0169]
22：第2主面；
[0170]
3：高声速膜；
[0171]
4：低声速膜；
[0172]
5：压电体层；
[0173]
51：第1主面；
[0174]
52：第2主面；
[0175]
61：第1电极指；
[0176]
611：一端；
[0177]
612：另一端；
[0178]
62：第2电极指；
[0179]
621：一端；
[0180]
622：另一端；
[0181]
63：第3电极指；
[0182]
631：一端；
[0183]
632：另一端；
[0184]
64：第4电极指；
[0185]
641：一端；
[0186]
642：另一端；
[0187]
71：第1连接部；
[0188]
71a：第1层；
[0189]
71b：第2层；
[0190]
72：第2连接部(连接部)；
[0191]
72a：第1层；
[0192]
72a1：端部；
[0193]
72a2：端部；
[0194]
72b：第2层；
[0195]
72b1：端部；
[0196]
72b2：端部；
[0197]
721：第1连接端部；
[0198]
722：第2连接端部；
[0199]
723：第1端；
[0200]
724：第2端；
[0201]
725：部分；
[0202]
73：第3连接部；
[0203]
73a：第1层；
[0204]
73b：第2层；
[0205]
81：第1汇流条；
[0206]
82：第2汇流条；
[0207]
83：第3汇流条；
[0208]
84：第4汇流条；
[0209]
9：应力缓解层；
[0210]
91：端部；
[0211]
92：端部；
[0212]
93：第1突出部；
[0213]
94：第2突出部；
[0214]
101：缝隙；
[0215]
102：缝隙；
[0216]
103：缝隙；
[0217]
104：缝隙；
[0218]
110：idt电极；
[0219]
111：第1idt电极；
[0220]
112：第2idt电极；
[0221]
121：交叉区域；
[0222]
122：交叉区域；
[0223]
d0：厚度方向；
[0224]
d1：第1方向；
[0225]
d2：第2方向；
[0226]
d3：宽度方向；
[0227]
h1：第1宽度；
[0228]
h2：第2宽度；
[0229]
h5：宽度；
[0230]
l1：第1长度；
[0231]
l2：第2长度；
[0232]
l11：距离；
[0233]
l12：距离；
[0234]
l13：距离；
[0235]
l21：距离；
[0236]
l22：距离；
[0237]
l23：距离。