CVD粉尘与氯化铵废液的协同处理方法与流程

技术特征：
1.一种cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，包括：于0℃～35℃下，将cvd粉尘与第一溶解液混合，搅拌反应得到第一混合液，对所述第一混合液进行固液分离分别得到二氧化硅沉淀以及饱和氟硅酸铵溶液；将所述饱和氟硅酸铵溶液与氯化铵废液混合，调节ph值为2.0～3.5，得到第二混合液，对所述第二混合液进行固液分离分别得到氟硅酸钠沉淀以及氯化铵溶液。2.根据权利要求1所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，所述cvd粉尘与所述第一溶解液的质量比为1:3～5。3.根据权利要求2所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，所述cvd粉尘与所述第一溶解液的质量比为1:4～5。4.根据权利要求1所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，所述氟硅酸铵溶液中氟硅酸铵与所述氯化铵废液中钠离子的摩尔比为0.45～0.50。5.根据权利要求1所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，将所述氟硅酸铵溶液与氯化铵废液混合后，调节ph值为3.2～3.4得到所述第二混合液。6.根据权利要求1所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，所述饱和氟硅酸铵溶液中氟硅酸铵的质量浓度为150g/l～200g/l。7.根据权利要求1所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，还包括：在所述氯化铵溶液中加入氯化钙或氧化钙进行沉淀反应，分别得到氟化钙沉淀以及第一氯化铵溶液；利用离子交换树脂对所述第一氯化铵溶液进行处理，得到第二氯化铵溶液；对所述第二氯化铵溶液进行蒸发结晶，得到氯化铵固体。8.根据权利要求1所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，还包括：将所述二氧化硅沉淀进行洗涤，收集第一洗涤液；将所述氟硅酸钠沉淀进行洗涤，收集第二洗涤液。9.根据权利要求8所述的cvd粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，其特征在于，所述第一溶解液包括水、第一洗涤液或第二洗涤液。

技术总结
本发明的CVD粉尘与氯化铵废液的协同处理方法，于0℃～35℃下，将CVD粉尘与第一溶解液混合，搅拌反应得到第一混合液，对所述第一混合液进行固液分离分别得到二氧化硅沉淀以及饱和氟硅酸铵溶液；将所述饱和氟硅酸铵溶液与氯化铵废液混合，调节pH值为2.0～3.5，得到第二混合液，对所述第二混合液进行固液分离分别得到氟硅酸钠沉淀以及氯化铵溶液；通过上述方式，先将CVD粉尘溶解以将二氧化硅与氟硅酸铵分离，再将CVD粉尘中的氟硅酸铵与氯化铵废液中的钠离子反应生成氟硅酸钠，同时实现了氯化铵废液中钠离子的去除以及氟硅酸盐资源回收；本发明的协同处理方法于常温下进行，操作简单，能耗低，所形成的产物均无毒无害。所形成的产物均无毒无害。所形成的产物均无毒无害。


技术研发人员：米永红 吉飞 何如民 马千里 易忠进 苏渊益
受保护的技术使用者：深圳市环保科技集团股份有限公司
技术研发日：2022.02.24
技术公布日：2022/7/9