一种便携式滑动三角表的制作方法

1.本实用新型涉及便携式滑动三角表技术领域，特别涉及一种便携式滑动三角表。


背景技术：

2.晶圆在加工研磨过程中会需要将晶圆黏在陶瓷盘等辅助物上进行单面研磨，当晶圆加工数量过多，单个陶瓷盘会黏贴多个晶圆时，彼此间距会很小。使用现有的便携式三角表测量监控现场时，会因片子间间距过小，没有测量空间，测量时还需要不断移动三角表，增加作业强度和磕碰破坏晶圆的风险。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是提供一种便携式滑动三角表，可用于蓝宝石晶片、硅圆或其它需要材料的晶圆测量，解决上述技术问题。
4.具体技术方案是一种便携式滑动三角表，包括：滑动支座和数显表，所述滑动支座中，呈圆环状的上环座下方圆周均匀固定安装着第一支腿、第二支腿和第三支腿，所述第一支腿、所述第二支腿和所述第三支腿的长度相等且安装倾斜角度相同，丝杠转动安装在所述上环座上，数显表底座螺纹配合安装在所述丝杠上，所述数显表安装在所述数显表底座上。
5.优选地，所述数显表中，伸缩式的测杆安装在表头下方，所述测杆底部安装着合金测头，所述表头上设有显示屏，所述数显表底座上开有贯通的安装孔，所述测杆穿过所述安装孔。
6.优选地，所述表头上方固定安装着提手。
7.优选地，所述第一支腿、所述第二支腿和所述第三支腿底部分别安装着下支垫。
8.优选地，所述丝杠一端固定安装着手柄，所述手柄位于所述上环座的外部。
9.与现有技术相比，本实用新型有以下技术优点：本实用新型改变三角表支撑面为圆环状，三个支撑腿均匀分布在圆环上，并在圆环上加一个高精度导轨，将数显表固定在导轨的活动端，使其可以在导轨上前后移动，测量晶片不同位置时，有序移动，减少测量时作业量；移动时数显表的高度及移动范围可控，降低磕碰风险，减少生产损耗，降低生产成本；设备改进成本低。
附图说明
10.构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
11.图1是便携式滑动三角表主视图；
12.图2是便携式滑动三角表俯视图；
13.图3是本实用新型中滑动支座俯视图；
14.其中：1、滑动支座，2、数显表，101、下支垫，102、第一支腿，103、第二支腿，104、第三支腿，105、上环座，106、丝杠，107、数显表底座，108、安装孔，109、手柄，201、表头，202、测杆，203、合金测头，204、显示屏，205、提手。
具体实施方式
15.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清除明白，下面结合实施方式和附图，对本实用新型作进一步详细说明。在此，本实用新型的示意性实施方式及其说明用于解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“左”、“右”是指示的方位或位置关系为基于附图所示的位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
17.结合图1-3理解，一种便携式滑动三角表，包括：滑动支座1和数显表2，所述滑动支座1中，呈圆环状的上环座105下方圆周均匀固定安装着第一支腿102、第二支腿103和第三支腿104，所述第一支腿102、所述第二支腿103和所述第三支腿104的长度相等且安装倾斜角度相同，丝杠106转动安装在所述上环座105上，数显表底座107螺纹配合安装在所述丝杠106上，所述数显表2安装在所述数显表底座107上。
18.所述数显表2的安装平面由三个长度相等且安装倾斜角度相同的支腿确定，构造出了三角框架，简称为三角表。转动所述丝杠106，所述数显表2将沿着所述丝杠106进行精确而有序的移动，实现对晶片不同位置厚度的测量，减少了测量时作业量；移动时所述数显表2的高度及移动范围可控，降低磕碰风险，减少生产损耗，降低生产成本；设备改进成本低。
19.在一个实施例中，所述数显表2中，伸缩式的测杆202安装在表头201下方，所述测杆202底部安装着合金测头203，所述表头201上设有显示屏204，所述数显表底座107上开有贯通的安装孔108，所述测杆202穿过所述安装孔108，所述合金测头203可采用塑钢材质。当转动所述丝杠106时，位于数显表底座107上的所述数显表2将沿着所述丝杠106进行精确而有序的移动，一方面，实现对晶片不同位置厚度的测量，减少了测量时作业量；另一方面，移动时所述数显表2的高度及移动范围可控，降低磕碰风险，减少生产损耗，降低生产成本。
20.在一个实施例中，所述表头201上方固定安装着提手205。便于整个滑动三角表的便携式提取。
21.在一个实施例中，所述第一支腿102、所述第二支腿103和所述第三支腿104底部分别安装着下支垫101。所述下支垫101接地面积大，增强滑动三角表使用及放置时的稳定性。
22.在一个实施例中，所述丝杠106一端固定安装着手柄109，所述手柄109位于所述上环座105的外部。便于所述丝杠106的转动。
23.实施例1：一种便携式滑动三角表，包括：滑动支座1和数显表2，所述滑动支座1中，上环座105下方固定安装着第一支腿102、第二支腿103和第三支腿104，所述上环座105呈圆环状，所述第一支腿102、所述第二支腿103和所述第三支腿104圆周均匀分布在所述上环座105上，所述第一支腿102、所述第二支腿103和所述第三支腿104的长度相等且安装倾斜角度相同，丝杠106通过轴承转动安装在所述上环座105上，数显表底座107螺纹配合安装在所
述丝杠106上，所述数显表2安装在所述数显表底座107上。
24.实施例2：在实施例1的结构基础上，所述数显表2中，伸缩式的测杆202安装在表头201下方，所述测杆202底部安装着合金测头203，所述表头201上设有显示屏204，所述数显表底座107上开有贯通的安装孔108，所述测杆202穿过所述安装孔108，所述表头201上方固定安装着提手205。
25.实施例3：在实施例1的结构基础上，所述第一支腿102、所述第二支腿103和所述第三支腿104底部分别安装着下支垫101；所述丝杠106一端固定安装着手柄109，所述手柄109位于所述上环座105的外部。
26.以上所述，仅是本实用新型的优选实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。


技术特征：
1.一种便携式滑动三角表，其特征在于，包括：滑动支座(1)和数显表(2)，所述滑动支座(1)中，呈圆环状的上环座(105)下方圆周均匀固定安装着第一支腿(102)、第二支腿(103)和第三支腿(104)，所述第一支腿(102)、所述第二支腿(103)和所述第三支腿(104)的长度相等且安装倾斜角度相同，丝杠(106)转动安装在所述上环座(105)上，数显表底座(107)螺纹配合安装在所述丝杠(106)上，所述数显表(2)安装在所述数显表底座(107)上。2.根据权利要求1所述的便携式滑动三角表，其特征在于，所述数显表(2)中，伸缩式的测杆(202)安装在表头(201)下方，所述测杆(202)底部安装着合金测头(203)，所述表头(201)上设有显示屏(204)，所述数显表底座(107)上开有贯通的安装孔(108)，所述测杆(202)穿过所述安装孔(108)。3.根据权利要求2所述的便携式滑动三角表，其特征在于，所述表头(201)上方固定安装着提手(205)。4.根据权利要求1所述的便携式滑动三角表，其特征在于，所述第一支腿(102)、所述第二支腿(103)和所述第三支腿(104)底部分别安装着下支垫(101)。5.根据权利要求1所述的便携式滑动三角表，其特征在于，所述丝杠(106)一端固定安装着手柄(109)，所述手柄(109)位于所述上环座(105)的外部。

技术总结
本实用新型提供了一种便携式滑动三角表，涉及便携式滑动三角表技术领域。滑动支座中，呈圆环状的上环座下方圆周均匀固定安装着第一支腿、第二支腿和第三支腿，第一支腿、第二支腿和第三支腿的长度相等且安装倾斜角度相同，丝杠转动安装在上环座上，数显表底座螺纹配合安装在丝杠上，数显表安装在数显表底座上。与现有技术相比，本实用新型改变三角表支撑面为圆环状，三个支撑腿均匀分布在圆环上，并在圆环上加一个高精度导轨，将数显表固定在导轨的活动端，使其可以在导轨上前后移动，测量晶片不同位置时，有序移动，减少测量时作业量；移动时数显表的高度及移动范围可控，降低磕碰风险，减少生产损耗，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。


技术研发人员：孙士龙 郑东
受保护的技术使用者：青岛华芯晶电科技有限公司
技术研发日：2022.02.24
技术公布日：2022/7/8