液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备的制作方法

1.本技术属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备。


背景技术：

2.晶圆清洗设备，如图1所示，包括容纳晶圆和清洗液的槽体1，槽体1内完成晶圆的清洗，为了方便对槽体1内的液位进行监控，需要在槽体1外设置竖直的液位管2，液位管2的底部与槽体1底部连通，液位管2的顶部与槽体1顶部连通，液位管2的页面高度与槽体1内的液位高度一致，使用液位传感器4感应液位管2内的高度即可得知槽体1内液面高度。
3.但是当清洗液为硫酸等高粘度的清洗液时，在槽体内排出清洗液时，由于清洗液表面张力的关系，清洗液会残存于液位管2与槽体1底部的接口处，从而导致清洗液无法完全排光，进一步导致液位管2内的液体也无法及时排出，使得液位传感器4输出错误的液位信息。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够在无液体时准确液位信息的液位管接头及使用液位管接头的晶圆清洗设备。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
6.一种液位管接头，设置在槽体的底部，用于使液位管与槽体底部的连接，所述液位管接头中间具有通道，包括伸入槽体底部的上端部，与液位管连接的下端部，位于上端部和下端部之间的凸缘，所述上端部的顶面具有斜面，使上端部的开口所在平面与水平面形成夹角，且上端部的开口的最低点不高于槽体底部内壁。
7.优选地，本发明的液位管接头，所述上端部的最顶端到上端部的开口的最低点的高度差为2-5cm。
8.优选地，本发明的液位管接头，所述上端部具有外螺纹。
9.优选地，本发明的液位管接头，所述凸缘外边缘具有平面或者所述凸缘外边缘为六角形。
10.优选地，本发明的液位管接头，上端部的开口为圆锥形，从上往下逐渐变小。
11.本发明还提供一种在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备，包括：
12.槽体；
13.液位管，以竖直方式设置在槽体外壁，所述液位管的底部与槽体底部连通；
14.液位传感器，设置在液位管上，用于感应液位管内的液面高度；
15.液位管接头，为上述的液位管接头。
16.优选地，本发明的在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备，所述液位传感器沿液位管的高度方向排列设置有多个。
17.优选地，本发明的在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备，所述液位管为平行
设置的多个。
18.本发明的有益效果是：
19.本技术的液位管接头，液位管接头的结构使得槽体与液位管的开口呈斜面，上端部的开口的最低点不高于槽体底部内壁以利于所有的液体均能够从槽体内流走，同时利用斜向上的上端部刺破液面的整体性，降低液体表面张力的作用，使得液体能够尽可能地被排出。
附图说明
20.下面结合附图和实施例对本技术的技术方案进一步说明。
21.图1是现有技术的一种晶圆清洗槽的结构；
22.图2是本技术实施例的液位管接头的结构示意图；
23.图3是本技术实施例的晶圆清洗设备的结构示意图；
24.图中的附图标记为：
25.1槽体；
26.2液位管；
27.3液位管接头；
28.31上端部；
29.32凸缘；
30.33下端部；
31.4液位传感器。
具体实施方式
32.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
33.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
34.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
35.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术的技术方案。
36.实施例1
37.本实施例提供一种液位管接头，如图2所示，液位管接头设置在槽体1的底部，用于使液位管2与槽体1底部的连接，所述液位管接头3中间具有通道，包括伸入槽体1底部的上端部31，与液位管2连接的下端部33，位于上端部31和下端部33之间的凸缘32，所述上端部31的顶面具有斜面，使上端部31的开口所在平面与水平面形成夹角(即形成一个锐角，优先30
°‑
60
°
)，且上端部31的开口的最低点(图2中的a点)不高于槽体1底部内壁。
38.本实施例的液位管接头，液位管接头的结构使得槽体1与液位管的开口呈斜面，上端部31的开口的最低点不高于槽体1底部内壁以利于所有的液体均能够从槽体1内流走，同时利用斜向上的上端部1刺破液面的整体性，降低液体表面张力的作用，使得液体能够尽可能地被排出，同时端子加工简单，成本较低。
39.优先地，本实施例的液位管接头，所述上端部31的最顶端到上端部31的开口的最低点的高度差为2-5cm。
40.优先地，本实施例的液位管接头，所述上端部31具有外螺纹(图中未示出)，方便拧入槽体1底部。
41.优先地，本实施例的液位管接头，所述凸缘32外边缘具有平面或者所述凸缘32外边缘为六角形以便于扳手的作用。
42.优先地，上端部31的开口为圆锥形，从上往下逐渐变小。
43.实施例2
44.本实施例提供一种在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备包括：
45.槽体1；
46.液位管2，以竖直方式设置在槽体1外壁，所述液位管2的底部与槽体1底部连通，液位管2的顶部与槽体1顶部连通或者为开口；
47.液位传感器4，设置在液位管2上，用于感应液位管2内的液面高度；
48.液位管接头3，为实施例1所述的液位管接头。
49.进一步的，所述液位传感器4沿液位管2的高度方向排列设置有多个。
50.所述液位管2为平行设置的多个，以方便在有限的空间内安装多个液位传感器4。
51.以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。