一种密封结构及扫描电镜的制作方法

1.本技术涉及真空密封技术领域，特别涉及一种密封结构，还涉及具有上述密封结构的扫描电镜。


背景技术：

2.因功能及应用所需，多类设备上都涉及在密封隔离腔室内进行部分工作，尤其是对于始终需要在高真空环境中进行工作的设备而言，在真空隔断和真空密封方面具有较高的要求。如，扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像。而电子束需要在高真空环境中进行工作，才能保证准确的扫描成像，保证工作性能。然而，每次样品的取放，即样品进出高真空环境，都会对腔室内的真空度造成破坏，且为保证工作过程中的真空环境，样品置入高真空环境后，需要快速密闭供样品进出腔室的通道口，来与外部环境形成隔离。从而，此类涉及高真空工作环境的设备上，对高真空腔室的通道口的密闭性有高要求，同时，由于传送通道需要频繁开闭来取放样品，故，对开闭及密封操作的简捷快速性也具有一定需求，以防止对腔室内部真空环境造成较长时间和较重程度的破坏。
3.传统技术中，通常是在通道口处安装闸板阀，阀孔与通道口连通来供物品进出，进行闭合及密封操作时，需要先将阀盖对正阀孔，进行对正盖合，而后需要进行旋拧或压紧等紧固操作，使阀盖密封阀孔。此传统的结构技术，不仅操作不够简便快速，导致取放样品时传送通道开放时间较长，对真空环境的破坏性较大，也容易因阀盖与阀孔的对正性不好而出现密封性较低的问题，另一方面，该通过阀门进行开闭及密封的结构不适用于相邻两个腔室之间导通及隔离的应用。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本技术提供了一种密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。本技术还提供了具有上述密封结构的一种扫描电镜。
5.为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种密封结构，用于对腔室上供物体进出的传送通道进行密封，所述腔室的腔室壁上，围绕所述传送通道的通道口设置有固定密封面；所述密封结构包括有活动地连接在所述腔室壁上的密封部件，所述密封部件设置有移动密封面，所述密封部件移动来打开或闭合所述传送通道，且闭合所述通道口时，所述移动密封面与所述固定密封面压抵贴合而密封所述通道口。
7.可选的，所述密封部件滑动式设置，在推拉作用下滑动位移而在打开位置与闭合位置间切换。
8.可选的，所述移动密封面及所述固定密封面与所述腔室壁之间均存在夹角，所述
密封部件的滑移方向与所述腔室壁的延伸方向相平行。
9.可选的，所述移动密封面与所述固定密封面之间设置有沿所述通道口的周向环绕而设的密封环，当所述移动密封面封堵所述传送通道时，所述密封环被挤压并密封所述通道口。
10.可选的，还包括有与所述固定密封面相对且间隔设置的约束面，所述密封部件封堵所述传送通道时，嵌入所述固定密封面与所述约束面之间，以使所述移动密封面与所述固定密封面相压抵。
11.可选的，还包括有隔离件，密封连接在所述腔室壁上，所述固定密封面形成在所述隔离件上，所述隔离件上沿厚度方向设置的通孔在所述固定密封面形成所述通道口，并与所述腔室的传送通道连通。
12.可选的，所述密封部件及供所述密封部件滑动的导向滑槽均设置或连接在所述隔离件上。
13.可选的，所述导向滑槽设置有分列在所述通道口的两侧，所述密封部件包括两侧分别可滑动地嵌入所述导向滑槽的密封板，所述密封板的相对且靠近所述固定密封面的板面形成所述移动密封面，所述导向滑槽的一段槽壁形成所述约束面。
14.可选的，所述密封部件上设置有推动把手。
15.本实用新型还提供了一种扫描电镜，包括腔室和密封结构，所述腔室为如上所述的腔室，所述密封结构为如上所述的密封结构。
16.本技术提供的技术方案中，密封结构在腔室壁上围绕通道口设置固定密封面，并设置相对于固定密封面可活动的密封部件，密封部件上设有移动密封面，随着位移，移动密封面离开或贴合固定密封面可以打开或闭合通道，实现开闭操作，同时，在闭合传送通道的位置上，移动密封面与固定密封面压抵贴合，可以对通道口进行有效密封；且移动密封面形成在活动设置的密封部件上，密封部件位移即可实现传送通道导通或闭合密封的状态切换，无需额外的压紧或旋拧等操作，执行动作简捷快速高效，能有效降低对室内环境的破坏程度，利于后续腔室内快速高效恢复所需的工况，提高工作效率；另一方面而言，移动密封部件即可完成开闭操作，对操作空间与操作方向的限制性降低，使得该密封结构完全可以应用在相邻两个腔室之间的密封隔离上，具备简便的完成导通或快速密封隔离相邻两个特定气压环境的功能。
17.本技术还提供了一种优选方案，密封部件滑动式设置，在推拉作用下滑动位移而在打开位置与闭合位置间切换，如此设置，不仅所需的操作简捷，易于进行，且开闭动作执行顺畅，更有利于在简捷的执行动作中实现有效密封，提高腔室高真空获得的作业效率。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型实施例中密封结构的应用示意图；
20.图2为图1的剖面结构示意图；
21.图3为本实用新型实施例中密封部件与腔室 的拆分示意图；
22.图4为本实用新型实施例中密封结构的示意图；
23.图5为本实用新型实施例中密封结构第一角度的拆分示意图；
24.图6为本实用新型实施例中密封结构第二角度的拆分示意图。
25.在图1-图6中：
26.1-腔室，11-腔室壁，2-传送通道，21-通道口，3-密封部件，31-密封板，311-移动密封面，32-密封环，33-推动把手，4-隔离件，41-倾斜凸起，411-固定密封面，42-第二密封件，5-导向块，51-导向滑槽，511-约束面。
具体实施方式
27.本技术提供了一种密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。本技术还提供了具有上述密封结构的一种扫描电镜。
28.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
29.如图1-图6所示，本技术实施例提供了一种密封结构，用于对腔室1上供物体进出的传送通道2进行密封，包括有密封部件3；腔室壁11上设置或形成有固定密封面411，固定密封面411围绕传送通道2的通道口21而设，也可以理解为，使传送通道2的通道口21开设在该固定密封面411上；而密封部件3，可活动地连接在腔室壁11上，并设置有移动密封面311。密封部件3受推拉作用可以位移，随着移动，移动密封面311离开或贴合固定密封面411可以打开或闭合通道口21，实现开闭操作，且密封部件3位移到闭合通道的位置时，移动密封面311与固定密封面411压抵贴合，具有相抵紧的约束力的作用，不仅闭合了通道并对通道口21进行了有效密封。
30.如此设置，本实施例提供的密封结构，一方面，通过两个密封面的远离或压抵贴合来实现开闭及密封，保证了闭合时的密封效果；另一方面，密封部件3受推拉作用即可移动，切换位置即可实现导通与密封闭合传送通道2，无需额外的其他操作，如现有技术中的旋拧或用其他部件压紧阀门等，则操作人员只需要推拉密封部件3来导通或闭合传送通道2，即可开闭腔室1完成样品转移，且传送通道2的闭合与密封同步同操作实现，在传递完样品后，能够快速恢复两个不同气压环境的隔离，整个执行过程，操作简便，执行动作简捷快速高效，有效降低对室内环境的破坏程度，达到了快速恢复腔室1内所需工况如高真空的功能，利于提高腔室1内工作的工作效率；再一方面，密封部件3直接位移即可实现开闭与密封，对操作空间与操作方向的限制性也显著降低，使得该密封结构完全可以应用在相邻两个腔室1之间的密封隔离上，具备简便的完成导通或快速密封隔离相邻两个特定气压环境的功能。
31.本实施例提供的密封结构，不仅解决了现有技术中，有特定气压环境要求的腔室1，其通道的密封操作不够快速简便牢靠的技术问题，还解决了相邻的两个均具有特定气压环境要求的腔室1之间，不便于实现导通及快速密封隔离操作的技术问题，适用性和实用性
更强。
32.上文所述的密封部件3，相对于腔室壁11活动设置，一些实施例中，可以是铰接式设置，如密封部件3包括密封板31及连接在密封板31两侧的两个铰接轴，通过两个铰接轴，密封板31与室壁铰接连接而能相对于固定密封面411位移，密封板31的板面形成移动密封面311；受推拉作用，密封板31转动或摆动位移，在打开传送通道2、闭合并密封传送通道2的两个位置间进行切换，实现导通和密封。
33.本技术提供的一个优选实施例中，密封部件3滑动式设置，即相对于腔室壁11可滑动连接，密封部件3在上下或左右推拉作用下滑动位移而在打开通道与封堵通道的位置间切换。如此设置，一方面，密封部件3滑动位移，开闭动作执行顺畅快速，更有利于在简捷的执行动作中快速实现有效密封，提高腔室1高真空获得的作业效率；另一方面，非常便于操作人员进行通道开闭，也降低了密封结构所占用的空间，更利于应用在相邻两个腔室1之间的隔离密封环32境中，也利于缩减装置尺寸。图2中示出了本技术实施例中密封结构的剖面示意图，图中密封部件3滑动设置。
34.一些实施例中，为增强密封性，同时，也降低对密封部位的磨损，移动密封面311及固定密封面411与腔室壁11之间均存在夹角，即两个密封面均相对于腔室壁11呈倾斜状设置，为提高密封性，二者的倾斜角度可相同，两个平面相平行；同时，密封部件3的滑动方向与腔室壁11的延伸方向相平行，也即两个密封面与密封部件3的滑动方向之间均存在夹角，相对于密封部件3的滑动方向两个密封面均呈倾斜状。如此设置，一方面，两个倾斜面贴合实现倾斜密封，更利于保障和提高密封效果，另一方面，在密封部件3滑动设置的实施例中，密封部件3滑动位移，两个倾斜状的密封面会直接分离或贴合，彼此之间不会因为位移而产生较强的相对摩擦，有效避免了频繁性磨损密封部件3的情况，利于密封结构的长期有效使用，利于维持密封的长期有效性。
35.一些实施方式中，在高度的加工精度下，移动密封面311与固定密封面411的光滑度和平面度都达到高精度标准时，二者之间不需要密封件，也能实现严密的贴合，达到有效密封的效果。
36.另一些实施方式中，移动密封面311与固定密封面411之间设置有第一密封件，第一密封件连接在移动密封面311或固定密封面411二者之一上，当然，也可以是两个密封面上均设置有第一密封件。优选中，第一密封件呈环状，设为密封环32，密封环32沿通道口21的周向环绕设置，以全方位围住通道口21。当密封部件3封堵传送通道2时，其中，移动密封面311与固定密封面411相压抵，对密封环32有力的作用，在挤压密封环32形变的基础上相互紧密贴合，形成有效的密封效果，有效的密封通道口21。设置密封环32之后，不仅可以提高密封效果，还可以一定程度略微降低两个密封面加工工艺的繁复度，提高生产效率，也具有降低生产成本的效果。设置密封环32的实施方式，与上述两个密封面均倾斜设置的结构相结合，可以避免位移对密封环32造成较严重的磨损，通过简单却创新的结构设置，实现了密封结构具有良好耐用性和密封长期有效性的功能。
37.限于开闭和密封操作，仅需密封部件3位移即可完成，无需其他操作，而当密封部件3位移到封堵传送通道2的位置时，对固定密封面411同时又具有压抵的作用。故，本实施例中，如图2所示，密封结构还包括有与固定密封面411相对且间隔设置的约束面511，约束面511位于密封部件3的滑动路径上，约束面511与腔室壁11之间形成密封部件3密封传送通
道2的位置区域。密封部件3位移至封堵传送通道2的位置时，嵌入了固定密封面411与约束面511之间，通过尺寸配合，约束面511与密封部件3之间具有压抵力，也使移动密封面311与固定密封面411相压抵，在挤压密封环32的基础上紧密贴合，有效密封。如此设置，既确保了密封部件3对传送通道2的有效密封，防止约束力不足而导致密封不严情况的产生，且不需要进行额外的操作，推拉密封部件3使其位移即可，确保实现仅需推拉的执行动作下即可以对通道进行紧密有效密封的功能。同时，该结构设置合理且简便，并没有增加较大程度的结构复杂度，从而在简洁的结构上即高标准的实现了所需的功能需求，使密封结构集执行简捷高效、密封紧密、耐用及密封长期有效等功效于一体。
38.当然，也存在其他的实施方式，如，一些实施方式中，密封部件3与腔室壁11之间还具有能够产生强吸力的磁吸结构，如此设置，虽然需要增大将密封部件3移开封堵位置所需的力，但这是常规操作，不会产生技术难度，也不会衍生出其他操作和需求，并达到了确保密封的紧密性和长期有效性的效果。
39.具体而言，密封部件3包括用于盖合通道口21的密封板31，在密封环32连接在密封板31上的实施方式中，还包括该密封环32。如图2和图5所示，密封板31具体可以是呈横截面逐渐增大的梯型板块状，梯型中的斜面作为密封板31的靠近并相对于固定密封面411的板面，并形成上述移动密封面311。
40.而密封环32可以是密封圈，也可以是密封胶垫。密封胶垫直接粘结在板面上即可，而使用密封圈时，密封板31上设置有供密封圈嵌入的密封槽，如图5所示，槽口形成在移动密封面311上，密封圈的直径大于密封槽的槽深，从而部分嵌入密封槽、部分凸出在槽外，在移动密封面311贴合固定密封面411时，密封圈受挤压而对通道口21形成严密的有效密封。
41.密封板31相对于腔室壁11滑动设置，可以是在腔室壁11上连接有供密封板31滑移的导轨，或者，腔室壁11上形成有供密封板31滑移的导向滑槽51。当腔室壁11上连接有导轨时，约束面511可直接设腔室壁11上或者由与腔室壁11连接的板块的面形成，约束面511与固定密封面411之间形成一个供密封板31滑入的凹槽，该约束面511也是凹槽的槽壁。当腔室壁11上形成有供密封板31滑移的导向滑槽51，约束面511可以是由导向滑槽51的与固定密封面411相对位置处的一截槽壁形成。
42.导向滑槽51可以是设置有一个，密封板31上具有伸入滑槽的凸起来实现与导向滑槽51的滑动连接；导向滑槽51也可以是有至少两个，分列在密封板31的两侧，密封板31的两侧板端分别伸入导向滑槽51内进行滑动连接，如此，可以保证滑行的平稳性，同时，在封堵传送通道2时，两侧的导向滑槽51形成了两个约束面511，对密封板31进行双侧压抵，压抵具有平稳和平衡性，保证密封板31不会产生一侧或部分起翘的问题。
43.导向滑槽51可以是直接开设在腔室壁11上，或者，设置在导向块5上，如图1所示，密封板31两侧分别设置有导向块5，各导向块5上分别设有上述导向滑槽51，导向块5直接或间接地与腔室壁11进行连接固定，密封板31与导向块5滑动连接。
44.如图3和图6所示，密封板31的两侧板端设有用于伸入导向滑槽51内的连接凸台，连接凸台呈条状，从密封板31的顶端延伸至底端，增大了与导向滑槽51的连接区域，增强连接稳固性和位移平稳性。同时，连接凸台两侧的侧壁与其余区域的板端面分别形成了两个对接台阶，两个对接台阶恰好与导向滑槽51槽口两侧的槽壁及外端面相对接，面与面相抵，提高了密封板31的对接精准性，避免出现密封板31歪斜、偏移而导致移动卡顿的问题。
45.固定密封面411可以直接在腔室壁11上加工形成，或者，本实施例中，如图1和图2所示，密封结构还设置有隔离件4，隔离件4用于与腔室壁11进行密封连接，同时，隔离件4上设置有沿厚度方向呈贯通状的通孔，通孔与腔室1本身的传送通道2相连通，换而言之，通孔形成了部分传送通道2；而固定密封面411形成在隔离件4上，通孔在固定密封面411上的孔口形成上述通道口21。密封板31相对于隔离件4可滑动设置，对隔离件4上的通孔进行密封闭合。如此设置，固定密封面411直接在隔离件4上加工形成，也避免了对腔室壁11进行加工改变，降低工艺复杂程度；且，密封部件3及形成有导向滑槽51的导向块5均可直接连接在隔离件4上，如此组成或基本组成密封结构的整体，使用时，将隔离件4连接固定在腔室壁11上，整个组件得到固定，即在腔室1上形成了可以直接使用的密封结构，具备灵活应用的功能，非常便于将密封结构批量生产，并应用在各不同种类不同规格的各类设备或装置上。
46.隔离件4与腔室壁11相连，可以是固定不可拆卸式连接，如粘结或焊接，也可以是可拆卸式连接，如通过螺钉紧固或卡扣连接等连接结构来实现。而无论是可拆卸或不可拆卸，为保证气密性，通孔与腔室1本身的传送通道2的连接处都需进行密封设置。因此，隔离件4上用于和腔室壁11连接的一侧还设置有第二密封件42，第二密封件42可以是密封圈也可以是密封胶垫。图5和图6示出了本技术实施例中隔离件4的一种具体结构，其中，隔离件4整体呈板块状，可为隔离板，板块的一侧平整，用于和腔室壁11相连，其上设置有密封槽，槽内嵌入密封圈，密封圈沿通孔周向延伸、围绕通孔设置，当隔离件4与腔室壁11连接时，挤压密封圈，对连接处的间隙形成有效的密封隔离。而隔离件4另一侧的板面设置或形成上述倾斜状的固定密封面411。整体结构简洁，易于加工成型。
47.由于移动密封面311、固定密封面411均与导向滑槽51之间具有夹角，故，密封板31及隔离件4均可以是三角型或梯型，即均设置有斜面，隔离件4的斜面形成固定密封面411，密封板31的斜面形成移动密封面311。或者，如图6所示，隔离件4主体呈平板状，且一侧板面上设置有三角型的倾斜凸起41，倾斜凸起41的斜面形成固定密封面411，通孔开设在倾斜凸起41上。同时，导向块5可以是呈条状长方型，也可以呈三角型或梯型、并与隔离件4进行斜面对斜面的连接，而导向滑槽51沿与隔离件4其他面相平行的方向延伸设置。
48.从上文所述可知，密封板31的两侧板端分别与导向滑槽51滑动连接，密封板31进行在导向滑槽51内移动来打开或封堵传送通道2，而封堵传送通道2时，嵌入约束面511与固定密封面411之间，两个面与密封板31相挤压，密封板31也可锁止于此，受力推拉时，再脱离此位置。即，密封板31在封堵传送通道2的位置处，受约束面511的挤压并被约束而锁止于此，而移动离开此位置后，在导向滑槽51的其他槽段，可以顺畅滑动，不受两侧槽壁的挤压，保证执行顺畅且功能完善。
49.基于此，本技术提供了一种实施方式，也是本技术附图中所示出的一种具体结构，在封堵传送通道2的位置，可以是直接通过约束面511及固定密封面411两者与密封板31之间的约束而同时进行密封及位置锁止，即，密封板31插入约束面511及固定密封面411之间，约束面511与固定密封面411之间的间距略小于密封板31对应板段的厚度，相互挤压，使密封板31锁止在此位置，且移动密封面311与固定密封面411相抵。
50.具体而言，如图3所示，采用隔离件4上设置有倾斜凸起41的实施方式，固定密封面411形成在倾斜凸起41上，而导向块5呈长条状，分别位于倾斜凸起41的两侧，则导向滑槽51也分别位于倾斜凸起41的两侧，槽口均朝向倾斜凸起41，而同时，倾斜凸起41的尖端遮盖了
部分导向滑槽51，即部分固定密封面411越过了导向滑槽51的与约束面511相对的槽壁，使得约束面511与固定密封面411的间距小于此段的槽宽；当密封板31位移到封堵传送通道2的位置，直接插入到了约束面511与固定密封面411之间，与约束面511及固定密封面411产生直接作用力，密封板31受到挤压约束，密封传送通道2，而且也被锁定于此。如此设置，不仅结构设置合理，约束作用直接有效，且一个约束作用即可，可以避免再设置间接的锁止约束；同时，该结构使得导向滑槽51无需进行变宽设置，如附图中所示，导向滑槽51与导向块5非常便于加工，通过与隔离件4连接位置的设置，与带有固定密封面411的倾斜凸起41进行错位相交即可形成对密封板31的约束区段。
51.当然，也可以采用其他实施方式，如，在封堵传送通道2的位置，密封板31可以是受导向滑槽51的约束，即导向滑槽51在约束面511区段缩小槽宽，对连接凸台进行挤压约束，而将密封板31锁止在封堵传送通道2的位置上，同时，通过设定约束面511与固定密封面411之间的间距略小于密封板31对应板段的厚度，来让密封板31卡在约束面511及固定密封面411之间，并挤压固定密封面411。具体可是，导向滑槽51整体与固定密封面411具有间距，固定密封面411位于导向滑槽51宽度方向的一侧，导向滑槽51包括具有第一槽宽的第一槽段及具有第二槽宽的第二槽段，第一槽宽大于第二槽宽，约束面511为第二槽段的相对于固定密封面411的槽壁，而密封板31上连接凸台的截面形状与尺寸，与第一槽段及第二槽段进行匹配设置，例如，导向滑槽51及连接凸台的截面均呈梯形或锥形或台阶孔形等。此实施结构，具有两方面的约束作用，一个是导向滑槽51第二槽段对连接凸台位移方面的锁止约束，另一个是，约束面511及固定移动面两者与密封板31之间的挤压约束；略显繁琐。
52.如图1所示，本实施例中，密封板31上还设置有推动把手33，用于供推动部件相连或抵推。如此设置，密封板31可与推动结构进行连接使用，在推动结构的作用下位移，无需人工推拉操作，进一步缩小了对空间的占用和对密封板31另一侧的空间需求。相比于其他密封操作方式，受操作幅度大、动作繁琐、占用空间大等缺陷，而不便于对相邻两个腔室1之间的通道进行密封而言，本密封结构尤其适用于相邻两个腔室1之间的密封隔离。密封板31的两侧均为具有特定气压环境需求的腔室1，隔离两个腔室1的中间的隔板上开设有供样品在两个腔室1之间转送的传送通道2，密封结构设置在隔板上，对该通道进行打开或封堵；推动结构包括推动动力及推拉杆，推拉杆与密封板31上的推动把手33相连接，在推动动力的带动下，密封板31即可以进行位移。推拉动力的开关或操作手柄设置在两个腔室1的外部，甚至推动动力也可以设置在腔室1外，只需推拉杆穿入腔室1内与密封板31的推动把手33相连即可。如此设置，无需人工对腔室1内部进行干涉，不会对腔室1内部的环境造成破坏，即可以进行两个腔室1之间的导通或密封隔离，极有效的提高了工作效率和工作简便程度。
53.在上述密封结构的基础之上，本技术还提供了一种扫描电镜，包括腔室1和密封结构，此腔室1为上述各实施例中的腔室1，此密封结构为上述各实施例中的密封结构。由于此扫描电镜具有上述的腔室1，腔室1的传送通道2通过上述的密封结构进行密封，所以扫描电镜由密封结构带来的有益效果请参见上述内容，在此不再赘述。
54.本技术中涉及的部件、装置仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照附图示出的方式进行连接、布置、配置。如本领域技术人员将认识到的，可以按任意方式连接、布置、配置这些部件、装置。诸如“包括”、“包含”、“具有”等等的词语是开放性词汇，指“包括但不限于”，且可与其互换使用。这里所使用的词汇“或”和“和”指词汇“和/或”，且可
与其互换使用，除非上下文明确指示不是如此。这里所使用的词汇“诸如”指词组“诸如但不限于”，且可与其互换使用。
55.还需要指出的是，在本技术的装置中，各部件是可以分解和/或重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本技术的等效方案。
56.提供所公开的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够做出或者使用本技术。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是非常显而易见的，并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本技术的范围。因此，本技术不意图被限制到在此示出的方面，而是按照与在此公开的原理和新颖的特征一致的最宽范围。
57.为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外，此描述不意图将本技术的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例，但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。
58.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本技术的保护范围之内。