一种自适应CVD金刚石生长载台的制作方法

一种自适应cvd金刚石生长载台
技术领域
1.本实用新型涉及cvd金刚石生产技术领域，具体为一种自适应 cvd金刚石生长载台。


背景技术：

2.cvd(chemical vapor deposition化学气相沉积)金刚石。含碳气体(如甲烷)和氢气的混合物在高温和低于标准大气压的压力下被激发分解，形成等离子态碳原子，并在基体上沉积交互生长成聚晶金刚石(或控制沉积生长条件沉积生长金刚石单晶或者准单晶),现有技术中cvd金刚石的沉积运用的生长载台无法进行高度上的调节，致使在沉积过程中存在一定的问题，影响沉积的效果，且现有技术中生长载台的升降影响整个反应腔体内的真空状态，无法确保真空的状态就会使得cvd金刚石的析出不纯或者内部出现气泡等瑕疵，现亟待一种自适应cvd金刚石生长载台来解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种自适应cvd金刚石生长载台，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
5.一种自适应cvd金刚石生长载台，包括反应腔体，反应腔体上端设有进气管道，且反应腔体下端右侧设有进料口，内侧设有放料托盘，放料托盘下端固定连接支撑杆，支撑杆下端固定连接升降装置。
6.作为优选，升降装置最下端设有底座，底座上端左侧固定连接步进电机，上端右侧设有圆形孔洞，圆形孔洞外设有一圈固定螺丝片，且圆形孔洞内中心位置固定连接有固定杆，固定杆上端设有底盘，底盘为圆形，左右对角线上设有电动升降杆，中心位置设有保护外壳，保护外壳上端设有升降盘，升降盘中心位置设有支撑杆。
7.作为优选，固定杆的高度距离升降盘的高度与支撑杆的高度相同。
8.作为优选，保护外壳的材质为pvc材质，且保护外壳表面有均匀的褶皱可以进行拉伸和压缩。
9.作为优选，放料托盘上端外侧设有一圈凸出的定位圈，反应腔体下端形状为环形，中间掏空，其余部分均为实心，中间掏空部分的直径大小与放料托盘的直径相同。
10.作为优选，整个反应腔体为圆柱形，且所有与反应腔体连接的装置上均设有密封胶，进气管道设置在反应腔体上端对称的左右两边，反应腔体靠上外侧设有对称的两个观察视窗。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1.本自适应cvd金刚石生长载台中反应腔体中的密封性做的极好，防止因为放料托盘的自适应而导致反应腔体内部存在漏气的可能性，且进气管道利用两边对称进行管道进气，使得气体分布更均匀，反应更迅速。
13.2.本自适应cvd金刚石生长载台中反应腔体上设有观察视窗和进料口，观察视窗能使得工人能直观的观测到晶体析出的具体进程，并且也可以对放料托盘进行人工干预高度变化，进料口可以使得工人方便放置晶种和取出晶种，快捷安全。
14.3.本自适应cvd金刚石生长载台中放料托盘可以进行升降运动，使得放料托盘可以实现自适应的高度，在人工观察和测温时也能对放料托盘进行微型的高度调节。
15.4.本自适应cvd金刚石生长载台利用升降装置中的固定杆来精确的固定升降装置能下降的最大距离，方式距离下降过大对放料托盘对于反应腔体内部的磨损，防止反应腔体内的体积改变从而引起内部一系列变化。
16.5.本自适应cvd金刚石生长载台在放料托盘外侧设有一圈定位圈，防止下降过程中放料托盘脱离处反应腔体，从而破坏反应腔体内结构的密封性，防止杂质的产生。
附图说明
17.图1为本实用新型整体结构示意图；
18.图2为本实用新型升降装置结构示意图；
19.图3为本实用新型图1中观察视窗结构示意图；
20.反应腔体1、进气管道2、进料口3、放料托盘4、支撑杆5、升降装置6、底座7、步进电机8、圆形孔洞9、固定螺丝片10、固定杆11、底盘12、电动升降杆13、保护外壳14、定位圈16、观察视窗17
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.实施例：请参阅图1-3所示，
23.一种自适应cvd金刚石生长载台，包括反应腔体1，反应腔体1 上端设有进气管道2，且反应腔体1下端右侧设有进料口3，内侧设有放料托盘4，放料托盘4下端固定连接支撑杆5，支撑杆5下端固定连接升降装置6；
24.所述升降装置6最下端设有底座7，底座7上端左侧固定连接步进电机8，上端右侧设有圆形孔洞9，圆形孔洞9外设有一圈固定螺丝片10，且圆形孔洞9内中心位置固定连接有固定杆11，固定杆11 上端设有底盘12，底盘12为圆形，左右对角线上设有电动升降杆13，中心位置设有保护外壳14，保护外壳14上端设有升降盘，升降盘中心位置设有支撑杆5，升降装置6上的保护外壳14能保护固定杆11 上端不会受到灰尘等杂质因素的干扰，防止固定杆11的高度产生变化，从而影响放料托盘的高度，两边的电动升降杆13带动升降盘进行升降从而实现放料托盘4的升降，结构紧凑，实现放料托盘4的自适应；
25.所述固定杆11的高度距离升降盘的高度与支撑杆5的高度相同，这样就能固定放料托盘4的下降位置和上升位置，确保反应腔体1不会因为升降的动作而破坏其整体结构的密封性，也能保证放料托盘4 在反应腔体1内部不会因为下降距离过大，而对反应腔体内壁产生磨损，从而影响整个装置的结构稳定性和密封性；
26.所述保护外壳14的材质为pvc材质，且保护外壳14表面有均匀的褶皱可以进行拉伸和压缩，pvc外壳具有很好的延展性，能满足升降过程中的压缩和拉伸，且能对内部的固定杆11进行一个保护，防止在安装过程中灰尘和大颗粒杂质对其影响，从而影响放料托盘4的升降；
27.所述放料托盘4上端外侧设有一圈凸出的定位圈16，反应腔体1 下端形状为环形，中间掏空，其余部分均为实心，中间掏空部分的直径大小与放料托盘4的直径相同，放料托盘4是位于反应腔体1的内部，在放料托盘4上设有定位圈16，防止放料托盘4脱离出反应腔体1，从而使得反应腔体1的密封性减弱，影响反应的效率和金刚石析出的材质；
28.所述整个反应腔体1为圆柱形，且所有与反应腔体连接的装置上均设有密封胶，进气管道2设置在反应腔体1上端对称的左右两边，反应腔体1靠上外侧设有对称的两个观察视窗17，进气管道2设置在反应腔体1的上端左右两侧，使得气体进入能混合分布较为均匀，设置观察视窗17能直观的观察到晶体析出的位置大小以及进程。
29.工作原理：反应气体从进气管道2进入到反应腔体1内，放料托盘4上早已放置了从进料口进入的晶种，在反应过程中晶体在不断的析出，距离内部反应生成的等离子球越来越近会影响其析出的效率，这时候利用升降装置6来进行高度的调节，使得放料托盘4上的晶体与内部等离子球的高度处于一个恒定的值，确保晶体析出的稳定和效率，升降装置6是利用步进电机8提供一个动力，使得电动升降杆 13进行升降，从而带动升降盘进行升降，放料托盘4固定连接支撑杆5，支撑杆5固定连接升降盘，从而实现放料托盘4的升降，固定螺丝片10能使得底座7稳定且稳固，圆形孔洞9内设有固定杆11，固定杆11距离升降盘的高度与支撑杆5的高度一致，在固定杆11外套设有保护外壳14，防止固定杆11的定位保护功效收到外界因素的影响，定位圈16不仅保护放料托盘4不会脱离处反应腔体1，确保反应腔体1处于真空的状态，固定杆11能保护放料托盘4下降过程中与反应腔体1的碰撞从而产生磨损，整个装置结构简单，密封性强。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
31.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。