柔性基板、其制作方法、显示基板及显示装置与流程

1.本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性基板、其制作方法、显示基板及显示装置。


背景技术：

2.近年来，有机电致发光(oled)显示器作为一种新型的平板显示装置逐渐受到更多的关注。oled显示器具有主动发光、发光亮度高、分辨率高、视角广、响应速度快、厚度小、低能耗、可柔性化、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异特性等特点，应用前景广阔。


技术实现要素：

3.本公开实施例提供一种柔性基板、其制作方法、显示基板及显示装置，用以解决现有技术中存在聚酰亚胺变黄影响柔性基板透过率的问题。
4.本公开实施例提供的一种柔性基板，包括：
5.聚酰亚胺层；
6.水汽清除层，层叠设置在所述聚酰亚胺层的至少一侧，所述水汽清除层的材料为无色透明材料，所述水汽清除层用于去除形成所述聚酰亚胺层的过程中产生的水汽。
7.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，还包括与所述聚酰亚胺层层叠设置的阻隔层，所述水汽清除层位于所述聚酰亚胺层与所述阻隔层之间。
8.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，还包括与所述聚酰亚胺层层叠设置的阻隔层，所述水汽清除层位于所述聚酰亚胺层远离所述阻隔层的一侧。
9.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，还包括与所述聚酰亚胺层层叠设置的阻隔层，所述水汽清除层同时位于所述聚酰亚胺层与所述阻隔层之间、以及所述聚酰亚胺层远离所述阻隔层的一侧。
10.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，所述水汽清除层的材料包括吸水材料和/或水汽扩散材料。
11.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，还包括：位于所述水汽清除层远离所述聚酰亚胺层一侧的氢气吸附层。
12.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，还包括：位于所述聚酰亚胺层远离所述阻隔层一侧的剥离层，所述剥离层位于所述柔性基板的最外侧。
13.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，所述聚酰亚胺层包括第一聚酰亚胺层和第二聚酰亚胺层，所述阻隔层包括第一阻隔层和第二阻隔层，其中，所述第一阻隔层位于所述第一聚酰亚胺层与所述第二聚酰亚胺层之间，所述第二阻隔层位于所述第二聚酰亚胺层远离所述第一阻隔层的一侧。
14.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，还包括：位于所述第二聚酰亚胺层与所述第一阻隔层之间的第一粘附层。
15.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，所述第一聚酰亚胺层
和所述第二聚酰亚胺层的材料均包括偶联改性剂；
16.所述柔性基板还包括：位于所述第一聚酰亚胺层远离所述第一阻隔层一侧的剥离层，所述剥离层位于所述柔性基板的最外侧。
17.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，所述第二聚酰亚胺层的材料包括偶联改性剂、以及所述第一聚酰亚胺层的材料。
18.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，还包括：位于所述第一聚酰亚胺层远离所述第一阻隔层一侧的第二粘附层。
19.另一方面，本公开实施例还提供了一种上述柔性基板的制作方法，包括：
20.提供一个玻璃基板；
21.在所述玻璃基板上形成层叠设置的聚酰亚胺层和水汽清除层，其中，所述水汽清除层位于所述聚酰亚胺层的至少一侧；
22.去除所述玻璃基板，获得包括所述聚酰亚胺层和所述水汽清除层的柔性基板。
23.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述制作方法中，在提供一个玻璃基板之后，且在所述玻璃基板上形成层叠设置的聚酰亚胺层和水汽清除层之前，还包括：在所述玻璃基板上依次形成金属层和剥离层。
24.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述制作方法中，所述金属层的材料为镍，所述剥离层的材料为氧化硅；去除所述玻璃基板，获得包括所述聚酰亚胺层和所述水汽清除层的柔性基板，具体包括：
25.采用水使所述金属层与所述剥离层发生界面分离，获得包括所述剥离层、所述聚酰亚胺层和所述水汽清除层的柔性基板。
26.另一方面，本公开实施例还提供了一种显示基板，包括本公开实施例提供的上述柔性基板。
27.另一方面，本公开实施例还提供了一种显示装置，包括本公开实施例提供的上述显示基板。
28.本公开有益效果如下：
29.本公开实施例提供的柔性基板、其制作方法、显示基板及显示装置，包括聚酰亚胺层，以及层叠设置在聚酰亚胺层至少一侧的水汽清除层，其中水汽清除层的材料为无色透明材料，水汽清除层用于去除聚酰亚胺层的高温处理过程中产生的水汽，防止水汽在聚酰亚胺内堆积使得聚酰亚胺层变黄而影响柔性基板的透过率。并且，由于本公开中水汽清除层的材料为无色透明材料，因此，增设的水汽清除层并不会影响柔性基板的透过率。综合以上两个方面的因素，本公开可有效提高柔性基板的透过率。
附图说明
30.图1为本公开实施例提供的柔性基板的一种结构示意图；
31.图2为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
32.图3为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
33.图4为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
34.图5为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
35.图6为本公开实施例提供的柔性基板的一种结构示意图；
36.图7为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
37.图8为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
38.图9为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
39.图10为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
40.图11为本公开实施例提供的柔性基板的一种结构示意图；
41.图12为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
42.图13为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
43.图14为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
44.图15为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
45.图16为本公开实施例提供的柔性基板的一种结构示意图；
46.图17为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
47.图18为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
48.图19为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
49.图20为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
50.图21为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
51.图22为本公开实施例提供的柔性基板的又一种结构示意图；
52.图23为本公开实施例提供的显示基板的结构示意图。
具体实施方式
53.为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。需要注意的是，附图中各图形的尺寸和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本公开内容。并且自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
54.除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“内”、“外”、“上”、“下”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
55.常规oled显示器通常使用黄色聚酰亚胺材质的柔性基板搭配顶发射型的发光器件，由于顶发射型的发光器件的出光侧是远离柔性基板的一侧，因此柔性基板并不会对发光器件发出的光线造成影响，也就无需考虑柔性基板的光学特性变化。考虑到在透明显示或者屏下摄像显示产品中，光线需要透过柔性基板，所以为开发透明显示或者屏下摄像显示产品，需特别考虑柔性基板的光学特性。无色透明聚酰亚胺可被用做透明显示或者屏下摄像显示产品的柔性基板，但是无色透明聚酰亚胺由于其分子结构的限制，其耐温能力低于黄色聚酰亚胺，在无色透明聚酰亚胺层的高温制程中产生的水汽会导致聚酰亚胺层产生变黄等光学劣化，致使柔性基板的透过率无法达到预期目标效果。
56.为了改善相关技术中存在的上述技术问题，本公开实施例提供的一种柔性基板，
如图1至图4所示，包括：
57.聚酰亚胺层101，在一些实施例中，可通过涂布工艺结合高温干燥工艺形成聚酰亚胺层101；
58.水汽清除层102，层叠设置在聚酰亚胺层101的至少一侧，水汽清除层102的材料为无色透明材料，水汽清除层102用于去除聚酰亚胺层101的高温制程中产生的水汽。
59.在本公开实施例提供的上述柔性基板中，通过在聚酰亚胺层101的至少一侧设置水汽清除层102，可利用水汽清除层102去除水汽，避免水汽在聚酰亚胺层101内堆积使得聚酰亚胺层101变黄而影响柔性基板的透过率。并且，由于本公开中的水汽清除层102的材料为无色透明材料，因此，增设的水汽清除层102并不会影响柔性基板的透过率。综合以上了两个方面的因素，本公开可有效提高柔性基板的透过率。
60.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，如图1所示，还可以包括与聚酰亚胺层101层叠设置的阻隔层103，水汽清除层102可以位于聚酰亚胺层101与阻隔层103之间；或者，如图2和图3所示，水汽清除层102还可以位于聚酰亚胺层101远离阻隔层103的一侧；或者，如图4所示，水汽清除层102还可以同时位于聚酰亚胺层101与阻隔层103之间、以及聚酰亚胺层101远离阻隔层103的一侧。相关技术中阻隔层103的作用是隔绝水汽或者离子对电子器件特性造成影响。本公开中通过在聚酰亚胺层101与阻隔层103之间和/或聚酰亚胺层101远离阻隔层103的一侧增设水汽清除层102，可通过水汽清除层102有效去除水汽，结合阻隔层103隔绝水汽的作用，可更好地避免水汽影响电子器件特性。可选地，阻隔层103的材质可以包括氧化硅、氮化硅、氮氧化硅层，阻隔层103可以为单层结构也可以为叠层结构，在此不做限定。阻隔层103位于柔性基板的最上侧，可在阻隔层103上制作驱动电路层等，通过阻隔层103可增加后续制作的驱动电路层在柔性基板上的附着力。在一些实施例中，可采用沉积工艺形成阻隔层103。
61.在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，水汽清除层102的材料可以包括吸水材料和/或水汽扩散材料。在水汽清除层102采用吸水材料时，水汽清除层102可通过吸收水汽的方式清除水汽，并可通过涂布结合干燥工艺形成水汽清除层102；在一些实施例中，吸水材料可以为如下所示的全氢硅氮烷(opz)，全氢硅氮烷为陶瓷前驱体，可以耐高温，与水反应后可以转变为如下所示的氧化硅。在水汽清除层102采用水汽扩散材料时，水汽清除层102可通过引导水汽扩散的方式清除水汽，并可通过沉积工艺形成水汽清除层102；可选地，水汽扩散材料可以为有机硅树脂等透明有机材料，有机硅树脂可耐400℃以上的高温。
[0062][0063]
在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，如图1、图2和图4所示，
还可以包括位于水汽清除层102远离聚酰亚胺层101一侧的氢气吸附层104，以通过氢气吸附层104吸附水汽清除层102与水汽反应生成的氢气产物或基板中的游离氢，防止氢气对后续在柔性基板上制作的显示器驱动层的特性造成影响。可选地，可通过磁控溅射或者化学反应沉积的方式形成氢气吸附层104。
[0064]
相关技术中均是在玻璃基板上直接形成聚酰亚胺层101，并采用紫外(uv)激光照射的方式将聚酰亚胺层101自玻璃基板上剥离掉，从而获得聚酰亚胺层101构成的柔性基板。然而紫外激光照射会使得聚酰亚胺层101变黄，基于此，为了防止聚酰亚胺层101因紫外激光照射而发黄，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，如图1、图2和图4所示，还可以设置位于聚酰亚胺层101远离阻隔层103一侧的剥离层105，该剥离层105位于柔性基板的最外侧(即最下侧)。在一些实施例中，可先在玻璃基板上依次沉积形成金属层(例如镍)和剥离层105(例如氧化硅)，然后在剥离层105上形成聚酰亚胺层101等。在需要将柔性基板自玻璃基板上剥离掉时，可采用水等催化物质迫使金属层和剥离层105之间发生界面分离，从而使得玻璃基板与金属层一起脱落，获得包括剥离层105的柔性基板。可选地，在剥离层105选用氧化硅时，因氧化硅的折射率低于聚酰亚胺层101的折射率，因此剥离层105还可以起到一定的增透作用。
[0065]
在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，为了提高柔性基板的光学特性，如图5至图16所示，聚酰亚胺层101可以包括第一聚酰亚胺层1011和第二聚酰亚胺层1012，阻隔层103包括第一阻隔层1031和第二阻隔层1032，其中，第一阻隔层1031位于第一聚酰亚胺层1011与第二聚酰亚胺层1012之间，第二阻隔层1032位于第二聚酰亚胺层1012远离第一阻隔层1031的一侧。
[0066]
本公开发现在将第一聚酰亚胺层1011自玻璃基板上剥离的过程中，第二聚酰亚胺层1012与第一阻隔层1031之间容易发生分离不良，致使完成剥离后无法获得包括第一聚酰亚胺层1011与第二聚酰亚胺层1012的叠层结构。基于此，为增强第二聚酰亚胺层1012与第一阻隔层1031之间的粘附力，如图5至图8所示，可以在第二聚酰亚胺层1012与第一阻隔层1031之间设置第一粘附层106，并使得第一粘附层106与第二聚酰亚胺层1012、第一阻隔层1031分别直接接触。可选地，第一粘附层106的材料可以为偶联改性剂或氧化铝，其中，通过偶联改性剂第二聚酰亚胺层1012与第一阻隔层1031之间形成化学键合，通过氧化铝可增强第一阻隔层1031的表面粘附力。在一些实施例中，偶联改性剂为含硅的烷氧基硅烷、含氨基的烷氧基硅烷化合物等，例如含硅的烷氧基硅烷为3-氨基丙基三乙氧基硅烷(gamma-aminopropyltriethoxy silane，γ-aps)，含氨基的烷氧基硅烷化合物可以为3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-(2-氨基乙基)氨基丙基三甲氧基硅烷、3-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷、2-氨基苯基三甲氧基硅烷、3-氨基苯基三甲氧基硅烷等。通过蒸汽方式可在第一阻隔层1031表面形成第一粘附层106，第一粘附层106的厚度可以小于100nm。
[0067]
在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，如图9至图16所示，还可以通过在第一聚酰亚胺层1011和第二聚酰亚胺层1012中均掺杂偶联改性剂的方式来增强第一聚酰亚胺层1011、以及第二聚酰亚胺层1012的粘附力，同时可在第一聚酰亚胺层1011远离第一阻隔层1013一侧增设剥离层105，剥离层105位于柔性基板的最外侧(即最下侧)，以便于实现第一聚酰亚胺层1011与玻璃基板的分离。剥离层105的材料可以为氧化硅，
在一些实施例中，可在玻璃基板上沉积氧化硅，在氧化硅的与玻璃基板之间设置可以气化的牺牲层材料(例如氢化非晶硅等)，并通过激光照射牺牲层剥离的方式去除玻璃基板。
[0068]
在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，如图17所示，第二聚酰亚胺层1012的材料可以包括偶联改性剂、以及第一聚酰亚胺层1011的材料，即相较于第一聚酰亚胺层1011，第二聚酰亚胺层1012中增加了偶联改性剂，这样就可以仅增大第二聚酰亚胺层1012的粘附力，而不改变第一聚酰亚胺层1011的粘附力，从而使得在剥离第一聚酰亚胺层1011的过程中，降低第二聚酰亚胺层1012与第一阻隔层1031之间发生界面分离的风险。
[0069]
在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述柔性基板中，在第一聚酰亚胺层1011不含偶联改性剂的情况下，如图18和图19所示，还可以在第一聚酰亚胺层1011远离所述第一阻隔层1031的一侧设置第二粘附层107，以通过第二粘附层107增强玻璃基板与第一聚酰亚胺层1011之间的附着力，避免第一聚酰亚胺层1011异常脱落。
[0070]
需要说明的是，在本公开中若仅需要解决第二聚酰亚胺层1012与第一阻隔层1031之间粘附力差的问题，则无需设置水汽清除层102、氢气吸附层104，如图20至图22所示。另外，在图5至图22中的“无”表示第一聚酰亚胺层1011、第二聚酰亚胺层1012不含偶联改性剂，“含”表示第一聚酰亚胺层1011、第二聚酰亚胺层1012包含偶联改性剂。
[0071]
基于同一发明构思，本公开实施例提供了一种上述柔性基板的制作方法，包括以下步骤：
[0072]
提供一个玻璃基板；
[0073]
在玻璃基板上形成层叠设置的聚酰亚胺层和水汽清除层，其中，水汽清除层位于聚酰亚胺层的至少一侧；
[0074]
去除玻璃基板，获得包括聚酰亚胺层和水汽清除层的柔性基板。
[0075]
在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述制作方法中，在提供一个玻璃基板之后，且在玻璃基板上形成层叠设置的聚酰亚胺层和水汽清除层之前，还可以执行以下步骤：在玻璃基板上依次形成金属层和剥离层。可选地，金属层的材料为镍，剥离层的材料为氧化硅，并可采用水使金属层与剥离层发生界面分离，获得包括剥离层、聚酰亚胺层和水汽清除层的柔性基板。
[0076]
基于同一发明构思，本公开实施例提供了一种显示基板，如图23所示，包括本公开实施例提供的上述柔性基板001，以及在柔性基板001上依次层叠设置的驱动电路层002、发光器件层003、封装层004、功能层(例如触控功能层)005等。由于该显示基板解决问题的原理与上述柔性基板解决问题的原理相似，因此，本公开实施例提供的该显示基板的实施可以参见本公开实施例提供的上述柔性基板的实施，重复之处不再赘述。
[0077]
在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，驱动电路层002可以包括晶体管和电容；发光器件层003可以包括层叠设置的阳极、发光功能层和阴极，且发光功能层包括但不限于空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、发光材料层、空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层；封装层004包括层叠设置的第一无机封装层、有机封装层和第二无机封装层。对于显示基板中其它必不可少的组成部分均为本领域的普通技术人员应该理解具有的，在此不做赘述，也不应作为对本公开的限制。
[0078]
基于同一发明构思，本公开实施例提供了一种显示装置，包括本公开实施例提供
的上述显示基板。由于该显示装置解决问题的原理与上述显示基板解决问题的原理相似，因此，本公开实施例提供的该显示装置的实施可以参见本公开实施例提供的上述显示基板的实施，重复之处不再赘述。
[0079]
在一些实施例中，本公开实施例提供的上述显示装置可以为：手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪、智能手表、健身腕带、个人数字助理等任何具有显示功能的产品或部件。该显示装置包括但不限于：射频单元、网络模块、音频输出&输入单元、传感器、显示单元、用户输入单元、接口单元、存储器、处理器、以及电源等部件。另外，本领域技术人员可以理解的是，上述结构并不构成对本公开实施例提供的上述显示装置的限定，换言之，在本公开实施例提供的上述显示装置中可以包括上述更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。
[0080]
尽管本公开已描述了优选实施例，但应当理解的是，本领域的技术人员可以对本公开实施例进行各种改动和变型而不脱离本公开实施例的精神和范围。这样，倘若本公开实施例的这些修改和变型属于本公开权利要求及其等同技术的范围之内，则本公开也意图包含这些改动和变型在内。