一种靶材旋转检测装置的制作方法

1.本实用新型属于靶材检测技术领域，尤其涉及一种靶材旋转检测装置。


背景技术：

2.真空溅射镀膜生产线在单个生产周期内，随着靶材的消耗，需要定期更换靶材，而在先技术中的设备不支持靶材旋转状态下的检测。靶材在使用过程中处于旋转状态下，静态的线下检测无法完全满足检测需求，易出现静态检测合格而实际使用时出现漏气、漏电的情况。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本实用新型提供了一种靶材旋转检测装置，至少解决了在先技术中的设备无法在旋转过程中对靶材进行密封性和绝缘性检测的问题。
4.本技术实施例提供了一种靶材旋转检测装置，包括机架以及设于所述机架上的驱动组件、绝缘性检测组件和密封性检测组件；
5.所述机架包括基座和分别固定连接于所述基座的两个端板组件，两个所述端板组件相对的设于所述基座上，两个端板组件之间的空间用于放置靶材；
6.所述驱动组件固定连接于任一所述端板组件，所述驱动组件包括电机、按钮和控制电路，所述电机和所述按钮通过所述控制电路电性连接，所述按钮可发出点动的电信号并控制所述电机的点动；
7.所述绝缘性检测组件用于检测所述靶材的绝缘性；
8.所述密封性检测组件固定连接于和所述驱动组件相对的所述端板组件且能够连接于所述靶材的圆心，所述密封性检测组件用于检测所述靶材的密封性。
9.本实施例提供了一种在靶材旋转状态下对靶材进行密封性、绝缘性的检测的靶材检测装置，其能够模拟靶材的工作工况并对靶材进行检测，从而提高了检测的准确度。
10.在一实施例中，所述绝缘性检测组件包括设于所述基座上的绝缘表和多个表笔；
11.多个所述表笔中的两个分别连接于所述靶材的两端。
12.在一实施例中，多个所述表笔分为三个表笔检测组，每个所述表笔检测组由两个所述表笔组成；
13.第一个所述的表笔检测组分别连接于所述靶材的两端；
14.第二个所述的表笔检测组分别连接于所述靶材和任一所述端板组件；
15.第三个所述的表笔检测组分别连接于所述靶材和相应所述靶材的盖板。
16.在一实施例中，所述的绝缘性检测组件还包括设于两个所述端板组件内的绝缘底座。
17.本实施例提供了一种在旋转状态下检测靶材绝缘性的具体结构，除了能够检测靶材的绝缘性外，还能准确定位绝缘性异常的具体位置。
18.在一实施例中，所述密封性检测组件包括冷却水管以及和所述冷却水管相连通的
空压机、压力表；
19.所述冷却水管的一端固定连接于相应的所述端板组件且另一端和外接水源相连通；
20.所述冷却水管用于连通所述靶材并向所述靶材内充水，且所述空压机用于向所述冷却水管注入压缩充气。
21.在一实施例中，所述密封性检测组件还包括设于相应所述端板组件内的水密封环和真空密封环。
22.在一实施例中，所述密封性检测组件还包括设于所述冷却水管一端的靶材密封环。
23.本实施例提供了一种密封性检测组件的具体结构，以便于在靶材旋转时对靶材进行密封性检测。
24.在一实施例中，所述控制电路包括和外接电源三相电性连接的变频控制器，所述变频控制器和所述电机、所述按钮均电性连接。
25.在一实施例中，所述变频控制器和所述按钮之间设置有开关。
26.在一实施例中，所述端板组件包括两个并列设置的端板，所述绝缘性检测组件、所述密封性检测组件同时和两个相邻的所述端板相连；
27.所述驱动组件有两个，两个驱动组件分别固定连接于两个相邻的所述端板。
28.本技术针对在先技术中的设备无法在旋转过程中对靶材进行密封性和绝缘性检测的问题作出改进设计，具有以下有益效果：
29.1、设置驱动组件并以此带动靶材转动，同时在端板上设置绝缘性检测组件和密封性检测组件，以此实现对旋转中靶材的密封性和绝缘性检测；
30.2、设置按钮和控制电路，点动控制电机工作，使靶材旋转能受到工作人员的准确控制；
31.本技术结构简洁，便于操作，能够模拟靶材在实际使用中的旋转工况，并在旋转工况下对靶材进行密封性和绝缘性的检测，同时还具备靶材旋转的点动控制功能，使工作人员能够准确控制靶材的旋转和停止，实用性强。
附图说明
32.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
33.图1为本技术实施例提供的靶材旋转检测装置的立体示意图。
34.图2为图1所示的靶材旋转检测装置的俯视示意图。
35.图3为图1所示的靶材旋转检测装置的剖视示意图。
36.图4为图3所示的靶材旋转检测装置的a处局部放大示意图。
37.图5为图1所示的靶材旋转检测装置的绝缘性检测组件的组成示意图。
38.图6为图1所示的靶材旋转检测装置的密封性检测组件的组成示意图。
39.图7为图1所示的靶材旋转检测装置驱动组件的控制电路示意图。
40.图中标记的含义为：
41.1、机架；11、基座；12、端板组件；121、端板；
42.2、驱动组件；21、电机；22、按钮；23、变频控制器；24、开关；
43.3、绝缘性检测组件；31、绝缘表；32、表笔；33、绝缘底座；
44.4、密封性检测组件；41、冷却水管；42、空压机；43、压力表；44、水密封环；45、真空密封环；46、靶材密封环。
具体实施方式
45.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图即实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
46.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
47.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
48.为了说明本实用新型所述的技术方案，下面结合具体附图及实施例来进行说明。
49.本实施例提供一种靶材旋转检测装置，用于使靶材旋转并以此模拟靶材的工作状态，同时在靶材旋转的过程中对靶材进行绝缘性和密封性检测。
50.参考图1、图2，本实施例提供的靶材旋转检测装置包括机架1、驱动组件2、绝缘性检测组件3和密封性检测组件4。
51.机架1包括基座11和固定连接于基座11的两个端板组件12，每个端板组件12分别包括一个端板121，基座11用于为后续结构提供固定基础，两个端板121之间的空间用于放置靶材，两个端板121相对的设于基座11上，两个端板121之间的间距和靶材的长度相同，靶材可在两个端板121之间绕其轴线旋转。
52.驱动组件2用于带动靶材旋转，在使用时，靶材的一端卡装在驱动组件2上，驱动组件2固定连接于任一端板121，驱动组件2包括电机21、按钮22和控制电路，电机21和按钮22通过控制电路电性连接，按钮22由工作人员控制，工作人员按动按钮22可控制电机21启动并工作，当工作人员松开按钮22，则电机21停止工作，以此实现点动，具体的，当工作人员按动按钮22后，按钮22将控制电路接通，电机21通电并启动工作，电机21工作可带动靶材同步转动，当工作人员松开按钮22，按钮22复位并使控制电路断开，电机21断电并停止工作。
53.绝缘性检测组件3可以是常见的绝缘试验设备，例如电绝缘性能测试仪、绝缘状态检测仪等，绝缘性检测组件3用于检测靶材的绝缘性。
54.密封性检测组件4可以是常见的密封性检测设备，例如密封性测试仪、密封性水压检测设备等，密封性检测设备用于检测靶材的密封性。
55.密封性检测组件4和靶材连接处位于靶材端头的圆心处，使得靶材的旋转不会影
响密封性的检测。
56.可选的，绝缘性检测组件3和靶材连接处位于靶材端头的圆心处，以便于更好的在靶材旋转的过程中检测靶材的绝缘性。
57.参考图3，可选的，电机21的输出轴上固定有置于端板121外的固定座，靶材可卡装在固定座上，从而使得电机21启动能够带动靶材同步转动。
58.本实施例提供了一种在靶材旋转状态下对靶材进行密封性、绝缘性的检测的靶材检测装置，其能够模拟靶材的工作工况并在工作状态下对靶材进行检测，从而提高检测的准确度。
59.参考图3、图4、图6，在一实施例中，密封性检测组件4包括冷却水管41以及和冷却水管41相连通的空压机42、压力表43。
60.冷却水管41的一端固定连接于相应的端板121且另一端和外接水源相连通，外接水源可通过冷却水管41向靶材内充入水，外接水源可以是常见的水源，例如水泵或直接接入自来水，当靶材卡装在两个端板121之间后，冷却水管41于靶材一端的圆心处和靶材相连通。
61.空压机42用于向冷却水管41内注入加压空气，压力表43则用于检测冷却水管41内的压力变化，当靶材卡装于两个端板121之间后，冷却水管41和靶材连通并向靶材内充水，同时空压机42向冷却水管41注入压缩充气。
62.在检测靶材密封性时，需要通过空压机42向冷却水管41内充入6公斤压缩空气，并保持15分钟，同时观察压力表43的数值变化，若压力表43数值始终保持一致，则证明靶材密封性合格。
63.参考图4，可选的，密封性检测组件4还包括设于相应端板121内的水密封环44和真空密封环45，水密封环44位于端板121内且套设于冷却水管41外，真空密封环45位于端板121内且套设于冷却水管41外，水密封环44位于真空密封环45远离靶材的一侧。
64.参考图4，可选的，密封性检测组件4还包括设于冷却水管41一端的靶材密封环46，靶材密封环46位于冷却水管41朝向靶材的一端，靶材密封环46密封的转动连接于冷却水管41上，靶材密封环46可随靶材转动，当靶材安装在端板121之间后，靶材密封环46将靶材的一端密封使得水能通过冷却水管41进入靶材内且不会泄露。
65.本实施例提供了一种密封性检测组件4的具体结构，以便于在靶材旋转时对靶材进行密封性检测。
66.参考图5，在一实施例中，绝缘性检测组件3包括设于基座11上的绝缘表31和多个表笔32，多个表笔32中的两个分别连接于靶材的两端，绝缘表31通过表笔32确定靶材的电阻值，当靶材的电阻值小于等于200兆欧时，则证明靶材的绝缘性不合格，反之若靶材的电阻值超过200兆欧时，则证明靶材的绝缘性符合标准。
67.可选的，多个表笔32分为三个表笔检测组，每个表笔检测组由两个表笔32组成，而绝缘表31能分别处理三组表笔检测组检测的电阻值。
68.第一个表笔检测组分别连接于靶材的两端，即两个表笔32分别和靶材的两端接触，用于检测靶材的电阻值，第一个表笔检测组检测的电阻值称为第一电阻值。
69.第二个表笔检测组分别连接于靶材和任一端板121，用于检测靶材和端板121之间的电阻值，第二个表笔检测组检测的电阻值称为第二电阻值，当第一电阻值小于等于200兆
欧时，可通过第二电阻值确定不合格原因，若第二电阻值小于200兆欧，则表明第一电阻值的异常有可能由端板121的绝缘失效造成。
70.第三个表笔检测组分别连接于靶材和相应靶材的盖板，用于检测靶材和靶材盖板之间的电阻值，第三个表笔检测组检测的电阻值称为第三电阻值，当第一电阻值小于等于200兆欧时，可通过第三电阻值确定不合格原因，若第三电阻值小于200兆欧，则表明第一电阻值的异常有可能由靶材盖板的绝缘失效造成。
71.可选的，为保证端板121的绝缘性，每个端板121一端均固定连接有绝缘底座33，绝缘底座33固定连接于基座11。
72.本实施例提供了一种在旋转状态下检测靶材绝缘性的具体结构，除了能够检测靶材的绝缘性外，还能准确定位绝缘性异常的具体位置。
73.参考图7，在一实施例中，控制电路包括和外接电源三相电性连接的变频控制器23，变频控制器23和电机21、按钮22均电性连接，工作人员按动按钮22并使控制电路连通，此时在变频控制器23的作用下电机21启动并带动靶材同步转动；当工作人员松开按钮22，控制电路断开，电机21停止工作，靶材停止转动。
74.可选的，变频控制器23和按钮22之间设置有开关24，当开关24断开时，按钮22无法控制电机21的启停，此时只需将电源接通电机21即可工作。
75.参考图1，在一实施例中，端板组件12包括两个并列设置的端板121，此时本装置可同时对两个靶材进行检测，再此基础上，驱动组件2有两个，即两个相邻的端板121内均设有电机21，每个电机21均对应一个控制电路、一个按钮22，两个控制电路均和同一个电源电性连接。
76.绝缘性检测组件3可同时检测两个靶材的绝缘性，即每个靶材均对应三组表笔32，而六组表笔32可和同一个绝缘表31相连。
77.密封性检测组件4同时和两个相邻的端板121相连，即每个靶材均对应一个冷却水管41，两个冷却水管41和同一个空压机42相连通，两个冷却水管41上均连通有压力表43。
78.本技术针对在先技术中的设备无法在旋转过程中对靶材进行密封性和绝缘性检测的问题作出改进设计，具有以下有益效果：
79.1、设置驱动组件并以此带动靶材转动，同时在端板上设置绝缘性检测组件和密封性检测组件，以此实现对旋转中靶材的密封性和绝缘性检测；
80.2、设置按钮和控制电路，点动控制电机工作，使靶材旋转能受到工作人员的准确控制；
81.本技术结构简洁，便于操作，能够模拟靶材在实际使用中的旋转工况，并在旋转工况下对靶材进行密封性和绝缘性的检测，同时还具备靶材旋转的点动控制功能，使工作人员能够准确控制靶材的旋转和停止，实用性强。
82.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本实用新型的保护范围之内。