激光器芯片的自动化测试装置的制作方法

技术特征：
1.一种激光器芯片的自动化测试装置，其特征在于，包括：基板（21）、安装于基板（21）上表面的测试台（22）、安装于基板（21）外侧的驱动支架（23）和安装于驱动支架（23）上并位于测试台（22）上方的测试探针组件（24），所述测试探针组件（24）包括：与驱动支架（23）连接的本体（1）、支撑板（2）、用于与待测试芯片接触的探针（51）和动点接触探头（31），所述支撑板（2）一端安装有一悬臂（4），另一端安装有所述动点接触探头（31），所述本体（1）下端面一侧设置有一位于动点接触探头（31）上部并与其对应的静点接触探头（32），所述悬臂（4）远离支撑板（2）一端固定有一安装有所述探针（51）的探针座（5），所述探针座（5）包括基座（52）和夹片（53），所述探针（51）位于基座（52）和夹片（53）之间，所述探针（51）与支撑板（2）的夹角为30
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；一转接座（6）安装于支撑板（2）中部的上表面，此转接座（6）前侧和后侧分别具有前挡板（61）和后挡板（62），此前挡板（61）和后挡板（62）上均开有一第一通孔（7）和位于第一通孔（7）两侧的2个导向凹槽（8），一第一销轴（9）两端分别位于前挡板（61）和后挡板（62）各自的第一通孔（7）内；位于本体（1）下端面另一侧的下凸块（10）上平行设置有第二销轴（11）、第三销轴（12），此第二销轴（11）、第三销轴（12）位于第一销轴（9）上方并位于其两侧，且第二销轴（11）、第三销轴（12）各自两端均从下凸块（10）前后侧延伸出，第一轴承（13）和第二轴承（14）分别套接于第二销轴（11）两端并位于下凸块（10）前后两侧，第三轴承（15）和第四轴承（16）分别套接于第三销轴（12）两端并位于下凸块（10）前后两侧；所述第一轴承（13）、第三轴承（15）和第二轴承（14）、第四轴承（16）分别位于下凸块（10）与前挡板（61）和后挡板（62）之间，位于下凸块（10）的竖向通孔（17）内的第一弹性件（18）一端与第一销轴（9）位于前挡板（61）和后挡板（62）之间的中间区域连接，另一端与位于本体（1）内并位于第二销轴（11）、第三销轴（12）上方的第四销轴（19）连接，所述第一弹性件（18）处于拉伸状态，从而将第一轴承（13）、第二轴承（14）、第三轴承（15）和第四轴承（16）各自的动圈与第一销轴（9）侧表面压持接触；位于第一销轴（9）右侧的支撑板（2）部分、悬臂（4）、探针座（5）和探针（51）的质心力矩大于位于第一销轴（9）左侧的支撑板（2）剩余部分、动点接触探头（31）的质心力矩。2.根据权利要求1所述的激光器芯片的自动化测试装置，其特征在于：所述夹片（53）通过调节螺母（54）连接到基座（52）上。3.根据权利要求1或2所述的激光器芯片的自动化测试装置，其特征在于：所述基座（52）和夹片（53）与探针（51）接触的表面至少一个开有一供探针（51）嵌入的v形凹槽（55）。4.根据权利要求1所述的激光器芯片的自动化测试装置，其特征在于：所述驱动支架（23）进一步包括两个平行设置的立杆（231）、连接于两个立杆（231）上端之间的安装板（232）和连接于两个立杆（231）下端之间的连接板（233），2个所述测试探针组件（24）分别安装于安装板（232）两端的上表面上。

技术总结
本发明公开一种激光器芯片的自动化测试装置，其测试探针组件包括：与驱动支架连接的本体、支撑板、用于与待测试芯片接触的探针和动点接触探头，所述支撑板一端安装有一悬臂，另一端安装有所述动点接触探头，所述本体下端面一侧设置有一位于动点接触探头上部并与其对应的静点接触探头，所述悬臂远离支撑板一端固定有一安装有所述探针的探针座，所述探针座包括基座和夹片，所述探针位于基座和夹片之间，所述探针与支撑板的夹角为30


技术研发人员：黄建军 吴永红 赵山 胡海洋
受保护的技术使用者：苏州联讯仪器有限公司
技术研发日：2021.07.28
技术公布日：2022/6/28