光刻机照明系统及光刻机的制作方法

技术特征：
1.一种光刻机照明系统，其特征在于，包括：密封模块，所述密封模块内设置有入射窗，所述入射窗可移动地设置在所述密封模块中；位移装置，所述位移装置与所述入射窗连接以带动所述入射窗沿设定方向移动；激光器，所述激光器与所述密封模块连接，所述激光器发出的激光经所述入射窗进入所述密封模块内。2.根据权利要求1所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述入射窗上设置有多个互不重叠的通光区域。3.根据权利要求2所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述入射窗设置为矩形入射窗。4.根据权利要求3所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述通光区域设置为矩形通光区域，多个所述矩形通光区域沿所述设定方向依次排列。5.根据权利要求1所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述位移装置包括：支架，所述支架上设置有第一弹性件和第二弹性件，所述入射窗被夹紧在所述第一弹性件和所述第二弹性件之间；驱动组件，所述驱动组件与所述第一弹性件或所述第二弹性件连接。6.根据权利要求5所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述驱动组件包括编码电机和丝杠，所述丝杠的一端与所述编码电机连接，所述丝杠的另一端与所述第二弹性件的靠近所述入射窗的一端连接以驱动所述第二弹性件伸缩运动。7.根据权利要求6所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述第二弹性件上沿径向伸出设置有连接杆，所述连接杆的端部滑动连接在所述丝杠上。8.根据权利要求7所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述第一弹性件和所述第二弹性件设置为波纹管。9.根据权利要求5至8任一项所述的光刻机照明系统，其特征在于，所述支架的底部设置有连接口，所述连接口位于所述入射窗的正下方，所述光刻机照明系统还包括与所述激光器连接的通光管，所述通光管的远离所述激光器的一端与所述连接口密封连接。10.一种光刻机，其特征在于，包括根据权利要求1至9任一项所述的光刻机照明系统。

技术总结
本发明公开了一种光刻机照明系统及光刻机，光刻机照明系统包括密封模块、位移装置和激光器，密封模块内设置有入射窗，入射窗可移动地设置在密封模块中；位移装置与入射窗连接以带动入射窗沿设定方向移动；激光器与密封模块连接，激光器发出的激光经入射窗进入密封模块内。当入射窗的部分区域由于激光的长时间照射产生缺陷时，位移装置可以带动入射窗移动，从而使入射窗的其他没有缺陷的区域移动至供激光通过的部位。由此，本发明提出的光刻机可以多次使用同一入射窗，无需频繁更换入射窗，延长了入射窗的使用寿命，且节约资源，解决了现有技术中需要频繁更换入射窗导致的浪费资源以及影响产品生产效率的问题。源以及影响产品生产效率的问题。源以及影响产品生产效率的问题。


技术研发人员：金成昱 金帅炯 梁贤石 丁明正 贺晓彬 刘强 刘金彪 白国斌
受保护的技术使用者：真芯（北京）半导体有限责任公司
技术研发日：2020.12.24
技术公布日：2022/6/28