激光器老化拷机装置的制作方法

1.本技术涉及激光技术领域，尤其涉及一种激光器拷机装置。


背景技术：

2.半导体激光器在通讯、军事、医疗等领域越来越广泛，半导体激光器制造过程中需要对半导体激光器的可靠性和使用寿命进行老化测试，即，让半导体激光器加速老化，通过老化测试获取相关技术参数。
3.老化测试是利用电应力或者电应力与热应力同时作用下，通过激光老化拷机装置获取半导体激光器发射出激光的相关技术参数，将半导体激光器潜在的缺陷提前暴露出来，进而改进半导体激光器的工艺或者优化半导体激光器的性能。
4.目前，小中功率半导体激光器在老化测试过程中，需要通过光纤对待测激光进行传输，并通过光纤准直器对光纤端面的激光进行扩束、平行实现准直，避免激光发散造成损耗，之后激光进入激光老化拷机装置中进行测量。当前激光器老化拷机装置的光纤准直器难以自由调节准直透镜的工作距离，导致入射激光器老化拷机装置中的待测激光在入射前不易实现准直，影响半导体激光器的老化测试。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供一种激光器老化拷机装置，旨在解决激光器老化拷机装置中光纤准直器难以自由调节准直透镜的工作距离。
6.本技术实施例提供一种激光器老化拷机装置，包括：
7.底座；
8.收光组件，和所述底座连接，所述收光组件内设有空腔，所述收光组件设有分别与所述空腔连通的通光孔和监控孔，所述收光组件设有光电监测探头，所述光电监测探头通过所述监控孔插入所述空腔；
9.准直组件，包括调节镜筒和准直镜筒，所述调节镜筒与所述准直镜筒沿所述准直镜筒的轴向分布，所述调节镜筒与所述准直镜筒沿所述准直镜筒的轴向活动连接，所述准直镜筒内设有沿其轴向延伸第一通孔，所述调节镜筒内设有沿其轴向延伸的第二通孔，所述第二通孔内设有准直透镜；所述第一通孔与所述第二通孔连通；所述调节镜筒插入所述通光孔以使所述第二通孔与所述空腔连通。
10.可选地，所述收光组件包括收光座和吸光座，所述收光座或所述吸光座设置在所述底座上，所述收光座内设有所述空腔，所述通光孔和所述监控孔分别设置在所述收光座，所述空腔内壁与所述通光孔相对的一侧开设有开口，所述吸光座与所述收光座连接以封闭所述开口。
11.可选地，所述空腔内表面的形状包括圆柱形，所述圆柱形沿着所述通光孔的轴向延伸。
12.可选地，所述吸光座朝向所述收光座的一面设有锥形凸起。
13.可选地，所述第二通孔中设有抵接部和第一限位件，所述抵接部和所述第一限位件沿着所述第二通孔的轴向分布于所述准直透镜的两侧，所述第一限位件和所述准直镜筒沿着所述准直镜筒的轴向或径向活动连接。
14.可选地，所述底座还设有限位座，所述限位座开设有沿着所述准直镜筒轴向延伸的限位槽，所述限位座设有覆盖所述限位槽的第二限位件。
15.可选地，所述底座还设置有风机，所述风机的出风侧朝向所述限位座。
16.可选地，所述收光座的内壁中设有第一散热管路，所述第一散热管路包括第一进口和第一出口；所述吸光座中设有第二散热管路，所述第二散热管路包括第二进口和第二出口；所述第二出口与所述第一进口连通。
17.可选地，所述底座或所述收光组件设有支撑件，所述支撑件位于所述收光组件的通光孔一侧，所述准直镜筒支撑于所述支撑件上。
18.可选地，所述支撑件朝向所述准直镜筒的一侧开设有沿所述准直镜筒轴向延伸的支撑槽，所述准直镜筒支撑于所述支撑槽的至少部分内表面上。
19.本技术实施例提供的激光器老化拷机装置，包括底座；和底座连接的收光组件，收光组件内设有空腔，收光组件设有分别与空腔连通的通光孔和监控孔，待检测的激光自激光器发射通过通光孔射入空腔中，监控孔中插入检测激光的装置，收光组件包括光电监测探头，光电监测探头通过监控孔插入空腔，以对射入光电监测探头上的激光进行检测；准直组件，包括调节镜筒和准直镜筒，调节镜筒与准直镜筒沿准直镜筒的轴向分布，以使激光可依次进入准直镜筒和调节镜筒，调节镜筒与准直镜筒沿准直镜筒的轴向活动连接，以使得调节镜筒与准直镜筒沿准直镜筒的轴向位置可调节；通过自由调节调节镜筒与准直镜筒沿准直镜筒的轴向位置，进而改变准直透镜的工作距离，以使激光平行准直。
附图说明
20.下面结合附图，通过对本技术的具体实施方式详细描述，将使本技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
21.图1为本技术实施例提供的激光器老化拷机装置示意图；
22.图2为本技术实施例提供的激光器老化拷机装置的剖视图；
23.图3为本技术实施例提供的准直组件示意图；
24.图4为本技术实施例提供的准直组件局部剖视图；
25.激光器老化拷机装置100；底座1；收光组件2；收光座21；吸光座22；空腔3；通光孔4；监控孔5；光电监测探头6；准直组件7；调节镜筒71；准直镜筒72；第一通孔8；第二通孔9；准直透镜10；锥形凸起11；抵接部12；第一限位件13；限位座14；限位槽15；第二限位件16；风机17；第二散热管路18；第二进口181；第二出口182；支撑件19；支撑槽191。
具体实施方式
26.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
27.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
28.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
29.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
31.本技术实施例提供一种激光老化拷机装置100。以下分别进行详细说明。
32.图1为本技术实施例提供的激光器老化拷机装置示意图；图2为本技术实施例提供的激光器老化拷机装置的剖视图。首先，如图1和图2所示本技术实施例提供一种激光老化拷机装置100，包括：
33.底座1，起到承重和支撑作用。
34.收光组件2，和底座1连接，收光组件2内设有空腔3，收光组件2设有分别与空腔3连通的通光孔4和监控孔5，待检测的激光自激光器发射通过通光孔4射入空腔3中，监控孔5中插入检测激光的装置，以在激光器的老化测试过程中对激光进行检测，收光组件2设有光电监测探头，光电监测探头为检测激光装置的一种，光电监测探头通过监控孔5插入空腔3，以对射入光电监测探头上的激光进行检测。
35.图3为本技术实施例提供的准直组件示意图；图4为本技术实施例提供的准直组件局部剖视图。如图3和图4所示，准直组件7，包括调节镜筒71和准直镜筒72，调节镜筒71与准直镜筒72沿准直镜筒72的轴向分布，以使激光可依次进入准直镜筒72和调节镜筒71，调节镜筒71与准直镜筒72沿准直镜筒72的轴向活动连接，以使得调节镜筒71与准直镜筒72沿准
直镜筒72的轴向位置可调节。
36.准直镜筒72内设有沿其轴向延伸第一通孔8，第一通孔8作为与激光器连接的光纤插入的通道，第一通孔8还用于激光在准直镜筒72中传播的通道，调节镜筒71内设有沿其轴向延伸的第二通孔9，作为激光在调节镜筒71中传播的通道，第二通孔9内设有准直透镜10，用于将发散的激光实现平行准直；第一通孔8与第二通孔9连通，以使激光可顺利从准直镜筒72中射入调节镜筒71。同时，可自由调节调节镜筒71与准直镜筒72沿准直镜筒72的轴向位置，进而改变准直透镜 10的工作距离，以使激光平行准直。
37.调节镜筒71插入通光孔4以使第二通孔9与空腔3连通，使得经过平行准直的激光射入空腔3，以实现在激光器老化测试过程中光电检测探头6对激光器发射出激光的检测。
38.具体的，首先对准直组件7进行调试，将准直组件7从收光组件2中拆卸下来，通过调节准直镜筒72和调节镜筒71之间在调节镜筒71轴向方向的相对位置，改变准直透镜10的工作距离，通过实际通光测试后，当发散的光在光斑卡或者光屏上显示为准直的光束，表明激光光束的质量被提高，此时可固定准直镜筒72 和调节镜筒71之间的相对位置，之后将准直组件7安装至收光组件2。
39.在激光器的老化测试的过程中，激光器与光纤的一端连接，光纤的另一端插入准直组件7中准直镜筒72的第一通孔8，光纤的另一端还可通过法兰座与准直镜筒72连接，法兰座的中心孔与第一通孔8连通，激光器发射出的激光经过光纤传播，依次经过第一通孔8和第二通孔9，射入空腔3中，然后通过光电检测探头6对激光进行检测，进而完成激光器的老化测试。
40.可选地，如图1和图2所示，收光组件2包括收光座21和吸光座22，收光座21 或吸光座22设置在底座1上，收光座21内设有空腔3，吸光座22用于反射从准直组件7射进来的激光，反射的激光照射到空腔3的内表面，通光孔4和监控孔5分别设置在收光座21，通光孔4用于连接光电检测探头6，光电检测探头6插入监控孔5设在空腔3的内表面，便于测量反射的激光，空腔3内壁与通光孔4相对的一侧开设有开口，吸光座22与收光座21连接以封闭开口，避免外界光源干扰，以及激光的泄露造成危险。
41.其中，当收光座21设置在底座1上时，吸光座22直接与收光座21连接；当吸光座22设置在底座1上时，收光座21直接与吸光座22连接。
42.具体的，收光座21与吸光座22可通过螺丝连接在一起。控制电路板(继电器和报警电路)设置在收光座21上，通过电路控制系统接入外接的控制器中，可以实现实时监控和报警的作用。
43.可选地，如图2所示，空腔3内表面的形状包括圆柱形，圆柱形沿着所述通光孔4的轴向延伸，此时激光经过反射后照射在空腔3内表面不会在某一点汇聚，避免造成局部温度过高，对空腔3内表面造成破坏；此外空腔3内表面围合形成的形状可为圆柱形，圆柱形对称方式为轴对称，此时监控孔5的位置开设可以更加灵活。
44.其中，监控孔5开设在空腔3内表面圆柱形的侧面。
45.具体的，光电检测探头6插入监控孔5中，pd(photo-diode,光电二极管)和 pcb(printed circuit board，印制电路板)组成光电监测模块，以接收一部分空腔 3内表面的激光，判断激光的信号，从而监控整个激光器老化过程中的激光参数。
46.可选地，吸光座22朝向收光座21的一面设有锥形凸起11，用于增大对激光的反射
面积，避免激光在吸光座22的某一点汇聚，避免造成吸光座22局部温度过高，对吸光座22内壁造成破坏，此外，反射面积增大同时也增大了反射至收光座21中空腔3内表面的激光，使得对激光的检测更加灵敏。
47.其中，锥型凸起包括三棱锥形凸起11、四棱锥形凸起11、多棱锥形凸起11 及圆锥形凸起11等。
48.具体的，锥形凸起11朝向收光座21的顶点可位于通光孔4的中轴线上。
49.可选地，第二通孔9中设有抵接部12和第一限位件13，抵接部12和第一限位件13沿着第二通孔9的轴向分布于准直透镜10的两侧，第一限位件13和准直镜筒72沿着准直镜筒72的轴向或径向活动连接，抵接部12和第一限位件13相互配合，与准直透镜10相抵接，限制准直透镜10在第二通孔9的轴向的位移，此外，第一限位件13与准直镜筒72活动连接可便于跟换不同规格的准直透镜10。
50.其中，第一限位件13和准直镜筒72沿着准直镜筒72的轴向或径向的活动连接方式可为滑动连接或可拆卸连接。
51.具体的，第一限位件13和准直镜筒72可通过滑轨沿着准直镜筒72的轴向或径向滑动连接；或者，第一限位件13和准直镜筒72可与准直镜筒72沿着准直镜筒72的轴向或径向螺纹连接。当无法通过调节准直透镜10的工作距离来对激光进行平行准直时，可通过更换准直透镜10的型号来实现平行准直。
52.可选地，底座1还设有限位座14，限位座14开设有沿着准直镜筒72轴向延伸的限位槽15，限位座14设有覆盖限位槽15的第二限位件16，限位槽15和第二限位件16使用配合用于对光纤进行限位，避免光纤在老化测试过程中发生移动或松动，可通过固定光纤进而固定激光在空腔3中传播的方向。
53.其中，第二限位件16的一端可与限位座14转动连接，第二限位件16相对的另一端可与限位座14可拆卸连接。
54.具体的，第二限位件16相对的另一端可与限位座14通过螺纹连接进而锁紧光纤，或者跳线，比如d80或者sma905跳线，需要更换不同的跳线时，打开第二限位件16，将跳线放入限位槽15中，关闭第二限位件16，锁紧第二限位件16。限位槽15可为v型槽。
55.可选地，底座1还设置有风机17，风机17的出风侧朝向限位座14，用于降低限位座14和第二限位件16的温度，避免限位座14和第二限位件16温度过高产生形变，进而改变激光在空腔3中传播的方向，此外，还能减缓限位座14和第二限位件16的氧化。
56.其中，风机17应相邻限位座14设置，用于提高对限位座14和第二限位件16 降温效果。
57.具体的，风机17可为轴流式风机17、离心式风机17等。
58.可选地，收光座21的内壁中设有第一散热管路，第一散热管路包括第一进口和第一出口，第一进口作为散热液体的进口，第一出口作为散热液体的出口，第一散热管路用于对收光座21中空腔3的内表面进行散热，以及避免在老化测试过程中收光座21中空腔3的内表面发生大的变形，影响对激光的测量。
59.其中，收光座21的内壁位于收光座21的外表面和收光座21中空腔3的内表面之间。
60.具体的，第一散热管路可将冷却水作为散热液体来带走收光座21内表面的热量，第一散热管路可为围绕空腔3内表面的螺旋管路。
61.可选地，如图2所示，吸光座22中设有第二散热管路18，第二散热管路18 包括第二进口181和第二出口182，第二进口181作为散热液体的进口，第二出口 182作为散热液体的出口，第二散热管路18用于带走吸光座22因为激光直接照射产生的大量热量，避免吸光座22温度过高产生形变影响对激光的反射，进而影响测量。
62.其中，第二散热管路18设置在靠近收光座21一侧。
63.具体的，散热液体可为冷凝水。
64.可选地，第二出口182与第一进口连通，用于将第一散热管路和第二散热管路18相连通，简化对收光座21和吸光座22进行降温的步骤。
65.其中，吸光座22中第二散热管路18流出的冷凝水从第二出口182流入第一进口，继续在收光座21中的第一散热管路中流动，最后从第一出口中流出。
66.具体的，第二出口182与第一进口可通过管道连通。
67.可选地，底座1或收光组件2设有支撑件19，支撑件19位于收光组件2的通光孔4一侧，准直镜筒72支撑于支撑件19上，支撑件19用于支撑和定位准直镜筒72 相对通光孔4径向方向的位置。
68.其中，支撑件19与收光组件2相邻设置。
69.具体的，当激光老化拷机装置100中设置有限位座14时，支撑件19设置在限位座14和收光组件2之间。
70.可选地，支撑件19朝向准直镜筒72的一侧开设有沿准直镜筒72轴向延伸的支撑槽191，准直镜筒72支撑于支撑槽191的至少部分内表面上，用于加大和准直镜筒72的接触面积，对准直镜筒72进行散热，以及避免准直镜筒72在测量过程中在发生通光孔4径向方向的位移。
71.其中，支撑槽191在支撑准直镜筒72时可部分内表面相接触，也可全部内表面相接触。
72.具体的，支撑槽191可为弧形凹槽。
73.在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
74.以上对本技术实施例所提供的一种激光器老化拷机装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例的技术方案的范围。