太阳能电池、太阳能电池模块以及太阳能电池的制造方法与流程

1.本发明涉及太阳能电池、太阳能电池模块以及太阳能电池的制造方法。


背景技术：

2.作为光电转换效率比较高的太阳能电池，公知有具有被称为perc(passibated emitter and rear cell)的构造的太阳能电池。perc型太阳能电池通过在半导体基板的背面(靠与受光面相反一侧的面)上形成钝化膜，而抑制所生成的载流子在半导体基板的背面处复合而能够获得比较高的光电转换率。在perc型太阳能电池中，需要在钝化膜上形成开口，经由从半导体基板的开口暴露的部分(基底区域)获取电力。因此，perc型太阳能电池具有收集电极，该收集电极覆盖钝化膜的背面侧处，被填充于开口的内部并与半导体基板连接。
3.通常，在perc型太阳能电池中，收集电极通过与半导体基板合金化而具有更多的空穴，收集电极由能够形成抑制载流子复合的bsf(back surface field)并以铝为主成分的导电膏(铝膏)形成。然而，仅仅是铝膏的话，电阻容易变大，因此公知有利用以银粒子为主体的导电膏(银膏)在钝化膜的非开口区域设置电阻比较小的连接电极的结构(例如参照专利文献1)。
4.专利文献1：日本特许第6525583号公报
5.在通常的perc型太阳能电池中，如专利文献1所记载那样，靠表面侧的连接电极与靠背面侧的连接电极配置为在俯视时重叠。在将多个这种太阳能电池连接而形成太阳能电池模块的情况下，一个太阳能电池的靠表面侧的连接电极与邻接的太阳能电池的靠背面侧的连接电极之间由被称为互连器的导电部件连接。另一方面，还公知有单环构造的太阳能电池模块，该太阳能电池模块将表背的连接电极配置于相反一侧的端部区域，将向一个太阳能电池的靠表侧的连接电极直接连接邻接的太阳能电池的靠背侧的连接电极，由此使连接电极在表面上不暴露地提高总光电转换效率。然而，在上述那样的perc型太阳能电池中，在设置有靠背面侧的连接电极的区域处，由于无法在钝化膜上设置用于集电的开口，所以形成有集电效率较低的区域，因此无法充分提高光电转换效率。


技术实现要素：

6.为此，本发明的课题在于提供光电转换效率较高的太阳能电池、太阳能电池模块以及太阳能电池的制造方法。
7.本发明的一个方式的太阳能电池具备：半导体基板，其形成为板状，具有第一主表面和第二主表面，并具有多个基底区域，上述多个基底区域在上述第二主表面上在其整个长度上以分别沿着第一方向的方式相互隔开间隔而平行地配置；多个第一收集电极，其配置于上述半导体基板的上述第一主表面，并沿上述第一方向延伸；第一连接电极，其配置于上述半导体基板的上述第一主表面的在上述第一方向上的一个端部区域，并以将上述多个第一收集电极连接的方式沿与上述第一方向交叉的第二方向延伸；钝化层，其被层叠于上
述半导体基板的上述第二主表面，并形成有使上述基底区域分别暴露的多个连接开口；多个第二连接电极，其以在沿上述第一方向观察时与上述连接开口不重叠的方式沿上述第二方向排列地层叠于在上述钝化层的上述第一方向上靠与上述第一连接电极相反一侧的端部区域；以及第二收集电极，其跨在上述连接开口内暴露的上述基底区域、上述钝化层以及上述第二连接电极配置，并使上述第二连接电极的中央部暴露。
8.在本发明的太阳能电池中，也可以上述第二收集电极在上述第一方向上的两端部处使上述钝化层的端部暴露。
9.在本发明的太阳能电池中，也可以上述第二收集电极在上述半导体基板的在上述第一方向上的两端部处选择性地包覆上述连接开口。
10.在本发明的太阳能电池中，也可以上述第二连接电极包括多个银粒子和粘合剂，上述第二收集电极包含多个铝粒子和粘合剂。
11.本发明的其他方式的太阳能电池模块具备多个上述太阳能电池，上述太阳能电池的上述第一连接电极与其他上述太阳能电池的上述第二连接电极直接连接。
12.本发明的其他方式的太阳能电池的制造方法具备：在具有第一主表面和第二主表面的半导体基板的上述第二主表面上层叠钝化层的工序；在上述半导体基板的上述第一主表面上配置沿第一方向延伸的多个第一收集电极的工序；在上述半导体基板的上述第一主表面的在上述第一方向上的一个端部区域处，配置以将上述多个第一收集电极连接的方式沿与上述第一方向交叉的第二方向延伸的第一连接电极的工序；通过照射激光而在上述钝化层上形成多个连接开口的工序，上述多个连接开口在上述半导体基板的整个长度上以分别沿着上述第一方向的方式相互隔开间隔而平行地配置；在上述钝化层的上述第一方向上靠与上述第一连接电极相反一侧的端部区域处，以在沿上述第一方向观察时与上述连接开口不重叠的方式沿上述第二方向排列地配置多个第二连接电极的工序；以及跨在上述连接开口内暴露的上述半导体基板、上述钝化层以及上述第二连接电极配置使上述第二连接电极的中央部暴露的第二收集电极的工序。
13.根据本发明，能够提供光电转换效率较高的太阳能电池、太阳能电池模块以及太阳能电池的制造方法。
附图说明
14.图1是本发明的第一实施方式的太阳能电池的俯视图。
15.图2是图1的太阳能电池的后视图。
16.图3是图1的太阳能电池的a-a线剖视图。
17.图4是图1的太阳能电池的b-b线剖视图。
18.图5是表示图1的太阳能电池的制造方法的步骤的流程图。
19.图6是具备图1的太阳能电池的太阳能电池模块的俯视图。
20.图7是图6的太阳能电池模块的剖视图。
21.图8是本发明的第二实施方式的太阳能电池的后视图。
具体实施方式
22.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。应予说明，为了便于理解，也有时
省略阴影线、部件附图标记等，但在这种情况下，参照其他附图。另外，为了便于理解，调整附图中的各种部件的尺寸以便容易观察。
23.＜太阳能电池＞
24.在图1～图4中示出了本发明的第一实施方式的太阳能电池1。图1是太阳能电池的俯视图1，图2是太阳能电池1的后视图(表示从图1状态沿上限方向翻转后的状态)，图3是太阳能电池1的图1中的a-a线剖视图，图4是太阳能电池1的图1中的b-b线剖视图。
25.本实施方式的太阳能电池1具备：板状的半导体基板10，其具有第一主表面(受光面)和第二主表面(背面)；多个第一收集电极20，其配置于半导体基板10的第一主表面；第一连接电极30，其配置于半导体基板10的第一主表面；抗反射层40，其覆盖半导体基板10的第一主表面的在第一收集电极20间的区域；钝化层50，其层叠于半导体基板10的第二主表面；多个第二连接电极60，其配置于钝化层50的背面；以及第二收集电极70，其配置于钝化层50的背面。此外，在图1和图2中，为了便于理解，对于第一收集电极20、第一连接电极30以及第二收集电极70标注了阴影线。
26.半导体基板10具有：基材层11，其显示为第一导电型；发射极层12，其形成于第一主表面侧处，并显示为与第一导电型不同的第二导电型；以及多个基底区域13，其配置于第二主表面侧处。半导体基板10能够由构成基材层11的材料构成，能够由显示为第一导电型的基材形成。
27.基材层11(半导体基板10的基材)例如能够由含有硼、镓等的多晶硅基板或者单晶硅基板构成。
28.发射极层12形成于半导体基板10的第一主表面整体。发射极层12在自身与基材层11之间形成供载流子穿过的pn结。由此，发射极层12携带与载流子相对应的电荷。
29.发射极层12能够通过在半导体基板10的基材的第一主表面的表层上掺杂例如磷等掺杂剂而形成。具体而言，发射极层12能够通过热扩散使掺杂剂扩散至距离晶硅基板的表面几μm的厚度区域而形成。另外，发射极层12也可以通过在晶硅基板的表面上成膜出具有5nm以上且20nm以下左右的厚度的非晶硅层等而形成。
30.基底区域13显示为比基材层11强的第一导电型，形成携带与发射极层12相反电荷的被称为bsf(背面场：back surface field)的电场。由此，基底区域13通过吸引多数载流子并将少数载流子向发射极层12侧赶回而使载流子寿命增大。
31.基底区域13在半导体基板10的第二主表面上以分别横穿半导体基板10的方式在半导体基板10的整个长度上沿第一方向以线状延伸，并相互隔开间隔而平行地配置。优选为，基底区域13在半导体基板10的第二主表面整体上配置成以既定的间隔排列的条纹状。此外，“线状”并不限定于以既定的宽度连续延伸，也可以例如为虚线状乃至点线状等具有间断的形状。另外，基底区域13的宽度可以为既定，也可以例如具有作为圆、椭圆等的集合而形成的宽度反复变化的形状。
32.基底区域13能够形成为使后述的成为第二收集电极70的主体的金属在半导体基板10的基材的第二主表面的表层上扩散而合金化的区域，例如可以由硅化铝形成。
33.第一收集电极20是为了从发射极层12集电而设置的所谓指形电极，并形成为在半导体基板10的第一主表面上分别沿第一方向延伸的细线状。第一收集电极20优选为隔开既定的间隔而相互平行地配置。为了提高集电效率，第一收集电极20优选形成为在俯视时与
基底区域13交替配置。第一收集电极20能够通过印刷和烧制导电膏而形成，为了减小电阻，优选由包含银粒子和粘合剂的银膏形成。
34.由于阻碍光向半导体基板10射入，所以希望第一收集电极20在能够确保导电性的范围内尽可能减小宽度。具体而言，第一收集电极20的宽度优选为30μm以上且100μm以下。
35.第一连接电极30以将第一收集电极20连接的方式沿与第一方向交叉的第二方向延伸地形成于半导体基板10的第一主表面的在第一方向上的一个端部区域。第一连接电极30使各第一收集电极20所收集的电流汇流，第一连接电极30与邻接的太阳能电池1或者外部的电路连接。因此，第一连接电极30形成为宽度大于第一收集电极20的带状。第一连接电极30优选形成为以与全部第一收集电极20连接的方式沿第二方向横穿半导体基板10。第一连接电极30例如能够通过印刷和烧制银膏等导电膏而形成，优选为在成型第一收集电极20时与第一收集电极20形成为一体。
36.抗反射层40抑制光在太阳能电池1的表面上的反射，使向太阳能电池1的内部射入的光量增大。抗反射层40例如能够由氮化硅构成。具体而言，通过在半导体基板10的表面上实施氮化处理，能够使半导体基板10的表面氮化而改性为抗反射层40。另外，通过印刷和烧制电膏而在形成有抗反射层40的半导体基板10的表面上形成第一收集电极20和第一连接电极30，由此第一收集电极20和第一连接电极30贯穿抗反射层40，从而能够在未形成有第一收集电极20和第一连接电极30的部分处残留抗反射层40。
37.钝化层50通过化学方式终止半导体基板10的第二两主表面的表面的缺陷能级而抑制载流子的复合。钝化层能够由氮化硅形成，也可以构成为在氮化硅的薄膜的背面侧处进一步层叠用于提高自身与第二收集电极70之间的粘合性的氧化铝的薄膜。
38.钝化层50具有多个连接开口51，该多个连接开口51分别形成为使基底区域13暴露。因此，连接开口51与各基底区域13相对应，分别以沿第一方向横穿半导体基板10的方式以线状延伸，并相互平行地配设。因此，与基底区域13的形状相同，连接开口51的形状并不限定于连续的线状，也可以例如为虚线状乃至点线状等具有间断的线状。另外，连接开口51的宽度可以为既定，也可以例如具有作为圆、椭圆等的集合而形成的宽度反复变化的形状。
39.如之后详细说明那样，连接开口51能够通过激光照射等将在半导体基板10的第二两主表面整体上层叠的钝化层50的局部去除而形成。
40.在沿第一方向观察时，第二连接电极60以与连接开口51不重叠的方式沿第二方向排列地层叠于钝化层50的在第一方向上的与第一连接电极30相反一侧的端部区域。该多个第二连接电极60是通过从现有的太阳能电池中的单一的连接电极(母线)中去除与基底区域13重叠的区域而将连接电极分割为多个而成的部分。能够通过增大第二连接电极60的在第一方向上的宽度而弥补因去除第二连接电极60的基底区域13部分而产生的电阻的增加。
41.在俯视时，第二连接电极60与第一连接电极30不重叠。即，在半导体基板10的配设有第二连接电极60那侧的端部区域的表面侧处未配置有第一连接电极30，而配设有第一收集电极20，在其背面侧处形成有基底区域13。由此，太阳能电池1在配设有第二连接电极60那侧的端部区域处也进行光电转换。
42.第二连接电极60能够通过印刷和烧制导电膏而形成。第二连接电极60优选为包含银粒子和粘合剂，并使用导电性优异的银膏而形成。优选为在第二连接电极60与连接开口51之间设置裕量，从而即便导电膏的印刷存在误差，也使第二连接电极60与连接开口51不
重叠。
43.第二收集电极70跨在连接开口51内暴露的基底区域13、钝化层50以及第二连接电极60层叠，并使第二连接电极60的中央部暴露。该第二收集电极70将半导体基板10的基底区域13与第二连接电极60之间连接。第二收集电极70大范围地覆盖钝化层50的背面，由此能够减小基底区域13与第二连接电极60之间的电阻并使第二收集电极70不易剥离。
44.其中，第二收集电极70优选为在第一方向上的两端部处使钝化层50的端部暴露。通过第二收集电极70使钝化层50的端部暴露，从而能够减小第二收集电极70与第一收集电极20之间短路或者第二收集电极70与第一连接电极30之间短路的风险。更优选为，第二收集电极70在半导体基板10的两端部处选择性地包覆连接开口51。由此，能够减小第二收集电极70与第一收集电极20之间短路或者第二收集电极70与第一连接电极30之间短路的风险并且也能从半导体基板10的在第一方向上的端部集电。
45.第二收集电极70的与第二连接电极60重叠的宽度优选为在第二连接电极60的靠上述第一连接电极30那侧(在第一方向上直至半导体基板10的端部为止的距离较大那侧)处最大。由此，第二连接电极60与第二收集电极70之间的接合面积在第二收集电极70的电流密度较大那侧处变得更大，因此能够减小电流在第二收集电极70内流动的距离较大的部分的电阻，从而能够更高效地集电。
46.第二收集电极70能够通过印刷和烧制导电膏而形成。第二收集电极70优选为将能够通过在半导体基板10的基材上扩散来增大第一导电性从而形成基底区域的金属作为主体。具体而言，第二收集电极70优选使用包含铝粒子和粘合剂的铝膏而形成。
47.太阳能电池1能够在配设有第二连接电极60的端部区域也形成有基底区域13，能够也将在半导体基板10的第二连接电极60的表面侧区域生成的电力回收。因此，太阳能电池1的光电转换效率较高。另外，太阳能电池1的第二连接电极60配置于连接开口51之间，因此能够通过增大第二连接电极60的在第一方向上的宽度而不降低光电转换效率地减小电阻。
48.＜太阳能电池的制造方法＞
49.太阳能电池1能够通过本发明的太阳能电池的制造方法而制造。以下，参照图5并举太阳能电池1的制造为例对本发明的太阳能电池的制造方法的一个实施方式进行说明。
50.太阳能电池1能够通过如下制造方法而制造，该制造方法具备：在半导体基板10上形成发射极层12的工序(步骤s1：发射极层形成工序)；在半导体基板10上层叠抗反射层40的工序(步骤s2：抗反射层层叠工序)；在半导体基板10的第二主表面上层叠钝化层50的工序(步骤s3：钝化层层叠工序)；在半导体基板10的第一主表面上配置第一收集电极20的工序(步骤s4：第一收集电极层叠工序)；在半导体基板10的第一主表面上配置第一连接电极30的工序(步骤s5：第一连接电极层叠工序)；通过照射激光而在钝化层50上形成连接开口51的工序(步骤s6：连接开口形成工序)；在钝化层50上配置第二连接电极60的工序(步骤s7：第二连接电极层叠工序)；以及跨在连接开口51内暴露的半导体基板10、钝化层50以及第二连接电极60地配置第二收集电极70的工序(步骤s8：第二收集电极层叠工序)。此外，一部分工序能够改变其顺序或与其他工序同时进行。
51.(发射极层形成工序)
52.在步骤s1的发射极层形成工序中，在半导体基板10的基材的表面上，通过掺杂显
现与基材不同的导电性的掺杂剂而形成发射极层12。另外，在发射极层形成工序中，也可以通过利用成膜技术在半导体基板10的基材的表面上层叠具有与基材不同的导电性的材料的层而形成发射极层12。
53.(抗反射层层叠工序)
54.在步骤s2的抗反射层层叠工序中，能够通过进行半导体基板10的氮化而形成抗反射层40。另外，也可以通过在半导体基板10的表面上层叠形成抗反射层40的材料而形成抗反射层40。
55.(钝化层层叠工序)
56.在步骤s3的钝化层层叠工序中，能够通过公知的成膜技术在半导体基板10的第二主表面上层叠钝化层50。
57.(第一收集电极层叠工序)
58.在步骤s4的第一收集电极层叠工序中，通过印刷和烧制导电膏而在半导体基板10的第一主表面上形成第一收集电极20。作为导电膏的印刷方法，例如能够采用丝网印刷。
59.(第一连接电极层叠工序)
60.在步骤s5的第一连接电极层叠工序中，通过印刷和烧制导电膏而在半导体基板10的第一主表面上形成第一连接电极30，该第一连接电极30以将第一收集电极20连接的方式沿第二方向延伸。该第一连接电极层叠工序优选为与步骤s4的第一收集电极层叠工序同时进行。即，优选为将导电膏以包含第一收集电极20和第一连接电极30的图案印刷、烧制于半导体基板10的表面，由此将第一收集电极20和第一连接电极30形成为一体。
61.(连接开口形成工序)
62.在步骤s6的连接开口形成工序中，通过照射激光将钝化层50局部去除，由此能够形成连接开口51。在将激光沿第一方向扫描而形成条纹状的连接开口51的情况下，通常，激光照射位置的在第一方向上的精度低于在第二方向上的精度。然而，在太阳能电池1中，连接开口51在第一方向上连续并在半导体基板10的整个长度上形成，因此无需考虑激光照射的在第一方向上的精度。该连接开口51也可以为间断地照射激光脉冲而成的点线状。在该情况下，构成点线的点彼此的间隔由脉冲周期和激光扫描速度决定，例如能够形成为0.1mm以上且1mm以下。
63.(第二连接电极层叠工序)
64.在步骤s7的第二连接电极层叠工序中，通过印刷和烧制电阻较小的导电膏，在钝化层50的在第一方向上靠与第一连接电极30相反一侧的端部区域，以在沿第一方向观察时与连接开口51不重叠的方式沿第二方向排列而层叠多个第二连接电极60。在前述的连接开口51为点线状的情况下，与连接开口51为连续线的情况相同，也是第二连接电极60配置为与形成有连接开口51线的线状～带状的区域不重叠，没有在点线的点与点之间配置第二连接电极60。无法严格地控制点线中的各点的位置(激光脉冲的时机)，在技术上难以与印版匹配，并且优点也较少。虽能够通过降低激光扫描速度而提高点的位置精度，但生产性较差而成本增加。通过形成为点线状，从而一个激光脉冲形成一个开口，因此容易控制激光对半导体基板10的影响。
65.(第二收集电极层叠工序)
66.在步骤s8的第二收集电极层叠工序中，通过印刷和烧制与基底区域13之间的连接
性优异的导电膏，从而跨在连接开口51内暴露的半导体基板10(即基底区域13)、钝化层50以及第二连接电极60地将第二收集电极70层叠成使第二连接电极60的中央部暴露。从材料使用效率和两电极间的连接阻力的观点出发，第二连接电极60与第二收集电极70的层叠宽度优选为0.05mm以上且0.4mm以下。第二收集电极70优选为使为了分离各个太阳能电池1而切断半导体基板10的区域(分离后的太阳能电池1的半导体基板10的在第一方向上的两端部)的至少除连接开口51的附近区域以外的部分暴露。这样一来，能够利用第二收集电极70完全包覆连接开口51，并最小限度地形成包覆端部附近的第二收集电极70。
67.在烧制被印刷的导电膏时，导电膏的金属向半导体基板10的从连接开口51暴露的区域扩散而合金化。由于利用铝膏形成第二收集电极70，从而能够将半导体基板10的第二主表面局部改性为硅化铝而形成基底区域13。
68.＜太阳能电池模块＞
69.接着，参照图6和图7对使用了太阳能电池1的太阳能电池模块100进行说明。太阳能电池模块100为本发明的太阳能电池模块的一个实施方式。
70.太阳能电池模块100具备多个图1～图4的太阳能电池1。太阳能电池模块100具备：分别将多个太阳能电池1连接而形成的多个太阳能电池串110；配置于太阳能电池串110的表面侧处的表侧保护部件120；配置于太阳能电池串110的背面侧处的背侧保护部件130；被填充于表侧保护部件120与背侧保护部件130间的间隙的密封材料140；以及将太阳能电池串间连接的连接部件150。
71.太阳能电池串110是将多个太阳能电池1以使第一方向上的端部重叠的单环方式连接而成的。在太阳能电池串110中，在互相邻接的两个太阳能电池1间，在一个太阳能电池1的第一连接电极30上，使用导电性粘合剂、焊料等连接材料99直接连接另一个太阳能电池1的第二连接电极60。若在形成太阳能电池串110时以ag为主材料的连接材料99与基底区域13直接接触，则有时暗电流增加而性能降低，因此优选连接开口51由第二收集电极70完全覆盖。另外，即便是在第一连接电极30上的连接材料99溢出而到达至相反一侧的主表面的情况下，也由于若不接触第二收集电极70则不短路，所以优选第一连接电极30的靠背面侧的端部区域处的第二收集电极70的包覆面积尽可能小。
72.在太阳能电池串110中，太阳能电池1在设置有阻碍光向半导体基板10射入的第一连接电极30的端部区域处重叠有助于其他太阳能电池1的光电转换的相反一侧的端部区域。因此，太阳能电池串110的整个面有助于光电转换。尤其是，太阳能电池串110通过使用在半导体基板10的背面侧处设置有第二连接电极60的区域也均匀地配设有基底区域13的太阳能电池1而不存在光电转换效率较低的部分，因此光电转换效率较高。
73.表侧保护部件120通过借助密封材料140覆盖太阳能电池串110即太阳能电池1的第一主表面而保护太阳能电池1。表侧保护部件120能够由板状或者片状的材料形成，优选在透光性和耐候性方面优异。具体而言，作为表侧保护部件120的材质，能够例举有丙烯酸树脂或聚碳酸酯树脂等透明树脂、玻璃等。另外，为了抑制光的反射，表侧保护部件120的表面也可以被加工成凹凸状或由抗反射涂层包覆。
74.背侧保护部件130借助密封材料140覆盖太阳能电池串110的背面，保护太阳能电池1。与表侧保护部件120相同，背侧保护部件130能够由板状或者片状的材料形成，优选在防水性方面优异。具体而言，作为背侧保护部件130，例如适当使用了聚对苯二甲酸(pet)、
聚乙烯(pe)、烯烃系树脂、含氟树脂、硅树脂等树脂薄膜与铝箔等金属箔的层叠体。
75.密封材料140密封而保护太阳能电池串110即太阳能电池1，因此密封材料140夹设于太阳能电池1的靠受光侧的面与表侧保护部件120之间、以及太阳能电池1的靠背侧的面与背侧保护部件130之间。
76.密封材料140将太阳能电池串110与表侧保护部件120、背侧保护部件130粘合，并且消除太阳能电池串110四周的间隙，由此保护太阳能电池1。因此，作为密封材料140，例如适当使用了乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(eva)、乙烯/α-烯烃共聚物、乙烯/醋酸乙烯酯/异氰脲酸三烯丙酯(evat)、聚乙烯醇缩丁醛(pvb)、丙烯酸树脂、聚氨酯树脂或者有机硅树脂等具有透光性的热塑性树脂。
77.连接部件150将太阳能电池串110的一端的太阳能电池1的第一连接电极30间与太阳能电池串110的另一端的太阳能电池1的第二连接电极60间分别连接。连接部件150从表侧保护部件120和背侧保护部件130之间起向外侧延伸突出，以能够与太阳能电池模块100的外部的电路连接。
78.太阳能电池模块100具备使用了光电转换效率较高的太阳能电池1的太阳能电池串110，因此光电转换效率较高。
79.接着，在图8中示出了本发明的第二实施方式的太阳能电池1a。图8的太阳能电池1a能够替换图1的太阳能电池1而使用于图7的太阳能电池模块100。对于图8的太阳能电池1a中的与图1的太阳能电池1相同的结构元件标注相同的附图标记并省略重叠说明。
80.图8的太阳能电池1a具备平面形状与图1的太阳能电池1的第二收集电极70不同的第二收集电极70a。即，图8的太阳能电池1a是将图1的太阳能电池1的第二收集电极70替换为平面形状不同的第二收集电极70a而成的。
81.第二收集电极70a被选择性地层叠成覆盖在连接开口51内暴露的基底区域13、第二连接电极60以及钝化层50的第二连接电极60附近区域。考虑到制造误差，第二收集电极70a的覆盖基底区域13的部分以使连接开口51内的基底区域13不暴露的程度覆盖钝化层50的连接开口51附近区域。
82.太阳能电池1a能够从未配置有背面侧的第二收集电极70a的部分获取光，因此能够根据使用环境而提高输出。另外，由于形成第二收集电极70a的材料的使用量比较少，所以能够廉价地提供太阳能电池1a。
83.以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，能够进行各种变更和变形。
84.附图标记说明：
85.1、1a
…
太阳能电池；10
…
半导体基板；11
…
基材层；12
…
发射极层；13
…
基底区域；20
…
第一收集电极；30
…
第一连接电极；40
…
抗反射层；50
…
钝化层；51
…
连接开口；60
…
第二连接电极；70、70a
…
第二收集电极；100
…
太阳能电池模块；110
…
太阳能电池串；120
…
表侧保护部件；130
…
背侧保护部件；140
…
密封材料；150
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连接部件。