13族元素氮化物结晶层、自立基板及功能元件的制作方法

技术特征：
1.一种13族元素氮化物结晶层，其中，包含从氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶中选择的13族元素氮化物结晶，且具有上表面以及底面，所述13族元素氮化物结晶层的特征在于，在将所述13族元素氮化物结晶层沿着与所述上表面垂直的方向切割得到的截面中利用阴极发光进行观测时，高亮度层和低亮度层交替存在，将所述高亮度层的厚度设为1时，所述低亮度层的厚度为3以上10以下。2.根据权利要求1所述的13族元素氮化物结晶层，其特征在于，相邻的一个所述高亮度层和一个所述低亮度层的合计厚度为4μm以下。3.根据权利要求1或2所述的13族元素氮化物结晶层，其特征在于，具有朝向与所述上表面交叉的方向延伸的低亮度带。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的13族元素氮化物结晶层，其特征在于，相邻的一个所述高亮度层和一个所述低亮度层的合计厚度的最大值与最小值之间的比率为1.8以下。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的13族元素氮化物结晶层，其特征在于，所述13族元素氮化物结晶为氮化镓系氮化物。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的13族元素氮化物结晶层，其特征在于，所述上表面为大致c面。7.一种自立基板，其特征在于，包括权利要求1～6中的任一项所述的13族元素氮化物结晶层。8.一种功能元件，其特征在于，具有：权利要求7所述的自立基板、以及在所述13族元素氮化物结晶层上所设置的功能层。9.根据权利要求8所述的功能元件，其特征在于，所述功能层的功能为发光功能、整流功能或功率控制功能。10.一种复合基板，其特征在于，具备：支撑基板、以及在所述支撑基板上所设置的权利要求1～6中的任一项所述的13族元素氮化物结晶层。11.一种功能元件，其特征在于，具有：权利要求10所述的复合基板、以及在所述13族元素氮化物结晶层上所设置的功能层。12.根据权利要求11所述的功能元件，其特征在于，所述功能层的功能为发光功能、整流功能或功率控制功能。

技术总结
本发明提供能够减少13族元素氮化物结晶层的翘曲这样的厚度方向上的微结构。13族元素氮化物结晶层13包含从氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶中选择的13族元素氮化物结晶，且具有上表面以及底面。在将13族元素氮化物结晶层13沿着与上表面垂直的方向T切割得到的截面中利用阴极发光进行观测时，高亮度层5和低亮度层6交替存在，将高亮度层5的厚度tb设为1时，低亮度层6的厚度td为3以上10以下。低亮度层6的厚度td为3以上10以下。低亮度层6的厚度td为3以上10以下。


技术研发人员：野口卓 平尾崇行 矶田佳范 内川哲哉
受保护的技术使用者：日本碍子株式会社
技术研发日：2020.07.15
技术公布日：2022/6/21