用于静电卡盘的螺旋多相电极的制作方法

技术特征：
1.一种静电卡盘，其包括以螺旋图案形成于表面上的多个电极，其中所述多个电极中的每一者相互交错且所述多个电极中的每一者围绕所述表面的中心。2.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中所述螺旋图案经配置以避开形成于所述表面中的一或多个孔。3.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中所述多个电极中的每一者连接到经配置以提供不同相位的电力的不同电路。4.根据权利要求1或3所述的静电卡盘，其中所述多个电极中的每一者在所述表面的周长处具有起点。5.根据权利要求1、2或3所述的静电卡盘，其中所述多个电极包含至少三个电极。6.一种制造静电卡盘的方法，其包括：确定图案，可按所述图案在表面上提供彼此相互交错的多个电极，使得每一电极从起点延伸到终点，每一电极围绕所述表面的中心，及根据所述图案在所述表面上提供所述多个电极。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述确定所述图案包括使用算法以基于所述表面及提供于所述表面上的任何开口的尺寸来确定所述图案。8.根据权利要求6所述的方法，其中所述图案经配置以避开形成于所述表面中的一或多个开口。9.根据权利要求6到8中任一权利要求所述的方法，其中在所述表面上提供所述多个电极包括使用光刻来界定所述电极中的每一者。10.根据权利要求6到8中任一权利要求所述的方法，其进一步包括将所述多个电极中的每一者连接到不同电路，所述电路中的每一者经配置以提供具有不同于其他所述电路的相位的电力。

技术总结
本申请案涉及用于静电卡盘的螺旋多相电极。静电卡盘包含各自具有围绕所述静电卡盘的表面的中心的螺旋形状的多个电极，以提供多相静电卡盘。各电极可连接到不同相位的电力。所述螺旋形状可各自相互避开以及避开所述静电卡盘中的所述表面中的孔或开口。所述螺旋形状可使用处理器用算法确定。这些静电卡盘可包含三个或更多个电极。制造所述静电卡盘的方法包含确定所述电极中的每一者的形状及提供所述电极中的每一者。电极中的每一者。电极中的每一者。


技术研发人员：陈俊泓 J
受保护的技术使用者：恩特格里斯公司
技术研发日：2021.12.14
技术公布日：2022/6/16