一种自动化两段式下料机构的制作方法

1.本实用新型涉及一种下料机构，具体涉及一种自动化两段式下料机构。


背景技术：

2.单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料，单晶硅在制造后需要进行清洗，在清洗过程中如果直接将硅片插入到放置篮中，会导致插入困难，人工难以操作，需要现将硅片插入一个比较好插入的插齿条中，再通过机械结构将硅片从插齿条中再固定到放置篮中，但是现有的机构结构复杂。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种自动化两段式下料机构。
4.本实用新型的技术方案如下：
5.一种自动化两段式下料机构，其特征在于：包括底板(201)，所述底板(201)上设置有导轨固定板(202)，所述导轨固定板(202)中间设置有丝杆机构(204)，所述导轨固定板(202)两侧设置有导轨(2021)，所述导轨(2021)上设置有上下分布的第一滑块(2022)、第二滑块(2023)，所述第一滑块(2022)连接有第一滑板(203)，所述第二滑块(2023)连接有第二滑板(205)，所述丝杆机构(204)驱动端连接所述第一滑板(203)；
6.所述第一滑板(203)通过第一托杆(2033)连接有一组导向板(2034)，所述导向板(2034)上连接有插齿条(2035)，所述硅片(100)插入到所述插齿条(2035)中；
7.所述第二滑板(205)通过第二托杆(2059)连接有底部托架(20510)，所述底部托架(20510)上设置有放置篮(20511)，所述放置篮(20511)两侧设置有用于卡合所述硅片(100)的凹槽；
8.所述导向板(2034)位于所述放置篮(20511)内；
9.所述第一滑板(203)的侧面连接有第二侧板(2039)，所述第二侧板(2039)上转动连接有第一连杆(20310)的一端，所述第二滑板(205)的侧面设置有第四侧板(2054)，所述第四侧板(2054)上转动连接有第二连杆(2055)，所述第一连杆(20310)和第二连杆(2055)的另一端通过转轴连接，其所述转轴的一端设置有轴承(2056)；
10.所述导轨固定板(202)的一侧还设置有改变所述第一连杆(20310)和第二连杆(2055)角度的运动轨迹板(2024)，所述轴承(2056)卡合至所述运动轨迹板(2024)上。
11.进一步的，所述第一滑板(203)的另一侧面连接有第一侧板(2036)，所述第一侧板(2036)上设置有带动通孔的锁紧块(2038)，所述锁紧块(2038)外侧设置有第一传感器(2037)，所述第二滑板(205)的另一侧面设置有第三侧板(2051)，所述第三侧板(2051)上设置有气缸(2052)，所述气缸(2052)的驱动端位于导向座(2053)中且可伸入到所述锁紧块(2038)的通孔中。
12.进一步的，所述第一滑板(203)连接有水平设置的中间拉臂(2031)，所述中间拉臂(2031)端部连接有竖直设置的中间顶升架(2032)，所述中间顶升架(2032)底部连接有水平
设置的第一托杆(2033)。
13.进一步的，所述第二滑板(205)两侧均设置有水平设置的侧边拉臂(2057)，所述侧边拉臂(2057)端部连接有竖直设置的侧顶升架(2058)，所述侧顶升架(2058)底部连接有水平设置的第二托杆(2059)。
14.进一步的，所述运动轨迹板(2024)包括了相互连接且平滑过渡的第一水平部(20241)、曲线部(20242)、第二水平部(20243)。
15.进一步的，所述第二水平部(20243)的位置高于所述第一水平部(20241)。
16.借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
17.本装置下料机构通过一个丝杆机构配合巧妙的连杆结构实现了两段式升降，能够满足硅片的上料和固定的操作。
18.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某个实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
20.图1是本实用新型下料机构第一状态的结构示意图一；
21.图2是本实用新型下料机构第一状态的结构示意图二；
22.图3是本实用新型下料机构第二状态的结构示意图一；
23.图4是本实用新型下料机构第二状态的结构示意图二；
24.图5是本实用新型下料机构第三状态的结构示意图一；
25.图6是本实用新型下料机构第三状态的结构示意图二；
26.201-底板；
27.202-导轨固定板；2021-导轨；2022-第一滑块；2023-第二滑块；2024-运动轨迹板；20241-第一水平部；20242-曲线部；20243-第二水平部；
28.203-第一滑板；2031-中间拉臂；2032-中间顶升架；2033-第一托杆；2034-导向板；2035-插齿条；2036-第一侧板；2037-第一传感器；2038-锁紧块；2039-第二侧板；20310-第一连杆；
29.204-丝杆机构；
30.205-第二滑板；2051-第三侧板；2052-气缸；2053-导向座；2054-第四侧板；2055-第二连杆；2056-轴承；2057-侧边拉臂；2058-侧顶升架；2059-第二托杆；20510-底部托架；20511-放置篮。
具体实施方式
31.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
32.参见图1-图6，本实用新型一较佳实施例所述的一种自动化两段式下料机构，包括底板201，底板201上设置有导轨固定板202，导轨固定板202中间设置有丝杆机构204，导轨固定板202两侧设置有导轨2021，导轨2021上设置有上下分布的第一滑块2022、第二滑块2023，第一滑块2022连接有第一滑板203，第二滑块2023连接有第二滑板205，丝杆机构204驱动端连接第一滑板203。丝杆机构204主要起到驱动第一滑板203的作用。
33.第一滑板203连接有水平设置的中间拉臂2031，中间拉臂2031端部连接有竖直设置的中间顶升架2032，中间顶升架2032底部连接有水平设置的第一托杆2033，第一托杆2033连接有一组导向板2034。导向板2034上连接有插齿条2035，硅片100插入到插齿条2035中，插齿条2035的数量为三个，能够让硅片插入其中。
34.第二滑板205两侧均设置有水平设置的侧边拉臂2057，侧边拉臂2057端部连接有竖直设置的侧顶升架2058，侧顶升架2058底部连接有水平设置的第二托杆2059，第二托杆2059连接有底部托架20510，底部托架20510上设置有放置篮20511，放置篮20511两侧设置有用于卡合硅片100的凹槽。
35.导向板2034位于放置篮20511内，实际上导向板2034能够在放置篮20511的内部上下移动，可以实现插齿条2035和凹槽相互对应，硅片同时插入到两者中，形成更好的固定，对应清洗。
36.第一滑板203的侧面连接有第二侧板2039，第二侧板2039上转动连接有第一连杆20310的一端，第二滑板205的侧面设置有第四侧板2054，第四侧板2054上转动连接有第二连杆2055，第一连杆20310和第二连杆2055的另一端通过转轴连接，其转轴的一端设置有轴承2056。导轨固定板202的一侧还设置有运动轨迹板2024，轴承2056卡合至运动轨迹板2024上，运动轨迹板2024包括了相互连接且平滑过渡的第一水平部20241、曲线部20242、第二水平部20243，第二水平部20243的位置高于第一水平部20241。
37.第一滑板203的另一侧面连接有第一侧板2036，第一侧板2036上设置有带动通孔的锁紧块2038，锁紧块2038外侧设置有第一传感器2037，第二滑板205的另一侧面设置有第三侧板2051，第三侧板2051上设置有气缸2052，气缸2052的驱动端位于导向座2053中且可伸入到锁紧块2038的通孔中。
38.下料机构的结构设计，通过一个丝杆驱动机构，实现了下料机构两段式移动操作。具体原理为：
39.参见图1-2，为下料机构的第一状态，该状态中，第一滑板203位于最上部，第一连杆20310和第二连杆2055的角度最大，轴承2056位于第一水平部20241上，通过丝杆机构204的驱动，第一滑板203向下移动，轴承2056从第一水平部20241开始向曲线部20242移动，第一连杆20310和第二连杆2055的角度变小，导向板2034位于放置篮20511上方。
40.在该状态中，人工插入硅片到插齿条中。
41.参见图3-4，为下料机构的第二状态，该状态过程中，第一滑板203已经紧贴第二滑板205，第一连杆20310和第二连杆2055的角度最小，轴承2056刚位于第二水平部20243上，第一传感器2037被遮挡，气缸2052锁紧到锁紧块2038中，导向板2034位于放置篮20511内。
42.参见图5-6，为下料机构的第三状态，该状态过程中，第一滑板203和第二滑板205已经锁死连接，轴承2056位于第二水平部20243上，导向板2034位于放置篮20511内，硅片同时被插齿条2035和凹槽卡合。丝杆机构204能够实现第一滑板203和第二滑板205同步向下
移动。
43.该机构这样设置的目的是为了，能够让导向板2034位于放置篮20511上方的时候，人工更好插入硅片，而硅片被放置篮20511内部，则是更好固定硅片。
44.本实用新型的工作原理如下：
45.下料机构中，第一滑板处于最高位，人工将硅片进行上料，上料完成后，下料机构的丝杆机构204开始运动，将第一滑板向下移动，实现第一滑板和第二滑板的固定，同时硅片被放置篮固定好，并移动到下部清洗箱内部。
46.本装置具有如下优点：
47.本装置下料机构通过一个丝杆机构配合巧妙的连杆结构实现了两段式升降，能够满足硅片的上料和固定的操作。
48.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。