用于改进光致抗蚀剂涂覆操作的系统、装置和方法与流程

技术特征：
1.一种涂覆系统，包括：器皿；柔性容器，位于所述器皿内，所述柔性容器包括出口端口，其中，所述柔性容器被配置为响应于所述器皿内的压力增加而收缩，并且所述柔性容器被配置为响应于收缩而通过所述出口端口输出涂覆成分；以及涂覆装置，用于从所述出口端口接收所述涂覆成分。2.根据权利要求1所述的涂覆系统，其中：所述涂覆成分是光致抗蚀剂。3.根据权利要求1所述的涂覆系统，还包括：中间贮存器，包括第一体积的所述涂覆成分，其中，第二体积的所述涂覆成分被施加到衬底，所述第一体积与所述第二体积之比至少为5:1。4.根据权利要求1所述的涂覆系统，还包括：控制器，用于控制所述器皿内的压力。5.根据权利要求1所述的涂覆系统，还包括：过滤器，位于所述柔性容器与分配喷嘴之间。6.根据权利要求5所述的涂覆系统，还包括：次级贮存器，位于所述柔性容器与所述分配喷嘴之间，所述次级贮存器的大小被设置以接收第一体积的所述涂覆成分。7.根据权利要求1所述的涂覆系统，其中：所述柔性容器包括：增强区域，所述增强区域具有内表面积并且连接至第一附接装置。8.根据权利要求7所述的涂覆系统，其中：所述柔性容器包括：柔性区域，所述柔性区域具有可变的内表面积并连接到所述增强区域，并且其中，所述增强区域、所述柔性区域、以及所述第一附接装置它们的内表面限定可变的容器体积。9.一种衬底的涂覆方法，包括：将加压气体引入加压体积中，该加压体积限定在柔性容器的外表面与压力器皿的内表面之间，其中，所述加压气体将迫使涂覆成分从所述柔性容器中排出并通过出口端口；以及将所述涂覆成分施加到衬底。10.一种制备涂覆成分的方法，包括：在处理周期内将涂覆成分保持在真空下，以使溶解在所述涂覆成分中的气体的体积降低至少20％，以获得经处理的涂覆成分；将第一体积的经处理的涂覆成分引入柔性容器中。

技术总结
本公开涉及用于改进光致抗蚀剂涂覆操作的系统、装置和方法。一种涂覆系统包括器皿、器皿内的柔性容器和涂覆装置。柔性容器包括出口端口，其中柔性容器被配置为响应于器皿内的压力增加而收缩。柔性容器被配置为响应于收缩通过出口端口输出涂覆成分。涂覆装置被配置为从出口端口接收涂覆成分。出口端口接收涂覆成分。出口端口接收涂覆成分。


技术研发人员：陈俊明 林建良 王俊翔 蔡任右
受保护的技术使用者：台积电（南京）有限公司
技术研发日：2021.02.02
技术公布日：2022/6/10