一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构。


背景技术：

2.目前，半导体晶圆生产过程中，需要对晶圆表面喷洒光刻胶，并通过带动晶圆旋转，使得晶圆表面的光刻胶涂抹均匀，而晶圆在旋转过程中光刻胶出现流动的情况部分光刻胶脱离晶圆需要对其进行收集，而此时便需要用到本装置；然而，就目前传统光刻胶收集杯而言，无法根据需求固定晶圆，使得在带动晶圆旋转的过程中，晶圆出现偏斜的情况，不仅无法对晶圆上的光刻胶进行涂匀还会对晶圆造成污染，使用不便捷，且现有的光刻胶收集杯在使用时，无法在固定晶圆的同时对晶圆底部起到防止污染的作用，在晶圆旋转时，无法自动对晶圆的侧边的光刻胶进行清理，多余的光刻胶在落入收集杯内部时，由于光刻胶本身具有的黏性容易出现凝固的现象，不便于后期再次利用，未设置相应的保持光刻胶活性的结构。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本发明提供一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构，其具有固定机构和调节机构，通过调节机构旋转使得固定机构可以根据不同型号的晶圆进行固定，使得在进行旋转时，防止晶圆产生偏斜，同时通过调节机构旋转，进而带动防护机构对晶圆底部进行防护防止光刻胶滴落时溅射到晶圆的背面，使用便捷。
4.本发明提供了一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构，具体包括：安装机构；
5.所述安装机构为光刻胶收集杯本体，且安装机构包括有：主体，主体为圆柱形结构，主体顶部为圆台形结构，且主体内部为空心状结构；搅拌件，搅拌件为圆柱形结构，搅拌件底部侧边设有矩形凸起，且搅拌件上的矩形凸起侧边为楔形结构，并且搅拌件安装在主体内部底端；清理机构，所述清理机构包括有：顶件，顶件为弧形结构，顶件上设有圆孔，且顶件安装在主体顶部；旋转机构，所述旋转机构包括有：旋转件，旋转件为圆柱形结构，旋转件上设有圆孔，旋转件上设有内槽，且旋转件安装在搅拌件顶部；防护机构，所述旋转机构顶部安装有防护机构；调节机构，所述旋转机构上安装有调节机构，且调节机构与防护机构相连接；固定机构，所述调节机构上安装有固定机构，且固定机构与旋转机构相连接。
6.可选地，所述安装机构还包括：
7.支撑架，支撑架为圆柱形结构，支撑架底部设有支撑脚，且支撑架安装在主体底部；底件，底件为圆柱形结构，底件上安装有电机，且底件安装在支撑架底部，并且底件上的电机与搅拌件相连接。
8.可选地，所述清理机构还包括：
9.导杆，导杆为侧边凸起的圆柱形结构，导杆安装在顶件上的圆孔内部，且导杆上的凸起通过弹簧与顶件侧边相连接；接触件，接触件为楔形结构，且接触件安装在导杆侧边。
10.可选地，所述旋转机构还包括：
11.稳定杆，稳定杆为圆柱形结构，且稳定杆安装在旋转件顶部两侧；卡槽，卡槽为矩形结构，且卡槽开设在旋转件内部；转动件，转动件为圆柱形结构，转动件上安装有齿轮，且转动件安装在旋转件上的内槽内部。
12.可选地，所述防护机构包括：
13.承载件，承载件为圆柱形结构，承载件上设有圆孔，且承载件上的圆孔内部安装有稳定杆；移动槽，移动槽为矩形结构，且移动槽开设在承载件内部。
14.可选地，所述防护机构还包括：
15.安装杆，安装杆为圆柱形结构，安装杆上设有螺纹，安装杆上安装有锥齿轮，且安装杆安装在移动槽内部；防护件，防护件为弧形结构，防护件底部设有矩形凸起，防护件上的矩形凸起上设有螺纹孔，且防护件通过底部矩形凸起安装在移动槽内部，并且防护件上矩形凸起的螺纹孔内部安装有安装杆。
16.可选地，所述调节机构包括：
17.调节件，调节件为顶部凸起的圆柱形结构，调节件底部安装有齿轮，调节件上安装有锥齿轮，调节件上安装有把手，调节件上设有矩形槽，调节件安装在旋转件上的圆孔内部，调节件安装在承载件上的圆孔内部，调节件底部的齿轮与转动件上的齿轮相啮合，且调节件上的锥齿轮与安装杆上的锥齿轮相啮合。
18.可选地，所述调节机构还包括：
19.卡位件，卡位件为楔形结构，卡位件侧边为弧形结构，且卡位件通过弹簧安装在调节件上的矩形槽内部，并且卡位件安装在卡槽内部；凸轮，凸轮安装在调节件顶部。
20.可选地，所述固定机构包括：
21.固定件，固定件为矩形结构，固定件上设有圆孔，且固定件上的圆孔内部安装有调节件；滑槽，滑槽为矩形结构，且滑槽开设在固定件内部顶端，并且滑槽内部安装有凸轮。
22.可选地，所述固定机构还包括：
23.滑杆，滑杆为圆柱形结构，且滑杆安装在滑槽内部；夹持件，夹持件为弧形结构，夹持件顶部设有弧形凸起，夹持件安装在滑槽内部，夹持件上的圆孔内部安装有滑杆，且夹持件之间通过滑杆上的弹簧相连接，并且夹持件侧边与凸轮相接触。
24.有益效果
25.根据本发明的各实施例的光刻胶收集杯，与传统光刻胶收集杯相比，可以在使用时根据需求固定不同型号的晶圆，从而使得在带动晶圆旋转的过程中，晶圆不会出现偏斜的情况，从而使得晶圆上的光刻胶更加均匀，使用便捷，并且通过调节机构带动旋转使得固定晶圆的同时带动防护机构工作，进而对晶圆底部起到防止污染的作用，在晶圆旋转时，通过清理机构自动对晶圆的侧边的光刻胶进行清理，多余的光刻胶在落入收集杯内部时，由于光刻胶本身具有的黏性容易出现凝固的现象，通过搅拌件对光刻胶进行搅拌，保持了光刻胶的活性，便于后期再次利用。
26.此外，通过设置的固定件和调节件，此处的固定件是安装在调节件上的，而调节件是安装在旋转件上的圆孔内部的，进而使得在使用时，通过旋转调节件上的把手，使得调节件带动顶部的凸轮旋转，而凸轮通过两侧与夹持件相接触，进而使得夹持件在滑槽内部移动并拉伸滑杆上的弹簧，同时调节件上的卡位件卡位在卡槽内部，而夹持件通过顶部的弧
形凸起与晶圆相接触，从而对不同型号的晶圆进行固定夹持。
27.此外，通过设置的防护件和安装杆，此处的防护件是用过底部矩形凸起安装在移动槽内部的，而安装杆是安装在移动槽内部的，进而使得在使用时，通过旋转调节件上的把手，使得调节件上的锥齿轮与安装杆上的锥齿轮旋转，从而使得安装杆带动防护件向两侧进行同步移动，而防护件设置为弧形结构，可以对晶圆的底部起到更好的防护的作用，防止在光刻胶溅落在晶圆的底部。
28.此外，通过设置的导杆和接触件，此处的导杆是安装在顶件上的圆孔内部的，而接触件是安装在导杆上的，进而使得在使用时，通过接触件与晶圆外侧相接触，并使得接触件带动导杆在顶件上的圆孔内部移动并拉伸导杆上的弹簧，从而可以根据晶圆大小的不同自动进行调节，而接触件设置为楔形结构可以更好的将晶圆侧边上的光刻胶进行刮除。
29.此外，通过设置的搅拌件，此处的搅拌件是与固定件上的电机相连接的，进而使得在使用时通过底件上的电机带动搅拌件旋转，使得搅拌件对落在主体底部的光刻胶进行搅拌，从而使得光刻胶保持一定的活性，而搅拌件侧边设置为楔形结构进而可以更好的主体内壁相接触，从而可以起到防止光刻胶与主体内壁相粘连。
附图说明
30.为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。
31.下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
32.在附图中：
33.图1示出了根据本发明的实施例的主视立体结构的示意图；
34.图2示出了根据本发明的实施例的仰视立体结构的示意图；
35.图3示出了根据本发明的实施例的清理机构立体结构的示意图；
36.图4示出了根据本发明的实施例的搅拌件立体结构的示意图；
37.图5示出了根据本发明的实施例的固定机构立体结构的示意图；
38.图6示出了根据本发明的实施例的调节机构和旋转机构分解立体结构的示意图；
39.图7示出了根据本发明的实施例的调节件机构分解立体结构的示意图；
40.图8示出了根据本发明的实施例的防护机构分解立体结构的示意图；
41.图9示出了根据本发明的实施例的旋转机构剖切立体结构的示意图；
42.图10示出了根据本发明的实施例的由图1引出的a部局部放大结构的示意图。
43.附图标记列表
44.1、安装机构；
45.101、主体；102、支撑架；103、底件；104、搅拌件；
46.2、清理机构；
47.201、顶件；202、导杆；203、接触件；
48.3、旋转机构；
49.301、旋转件；302、稳定杆；303、卡槽；304、转动件；
50.4、防护机构；
51.401、承载件；402、移动槽；403、安装杆；404、防护件；
52.5、调节机构；
53.501、调节件；502、卡位件；503、凸轮；
54.6、固定机构；
55.601、固定件；602、滑槽；603、滑杆；604、夹持件。
具体实施方式
56.为了使得本发明的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本发明的具体实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。
57.实施例：请参考图1至图10：
58.本发明提出了一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构，包括：安装机构1；
59.安装机构1为光刻胶收集杯本体，且安装机构1包括有：主体101，主体101为圆柱形结构，主体101顶部为圆台形结构，且主体101内部为空心状结构；此处的主体101是收集杯本体，顶部设置为圆台形结构可以使得晶圆在旋转时，将甩落到主体101内壁上的的光刻胶起到导向的作用，使得光刻胶导向流入到主体101底部；搅拌件104，搅拌件104为圆柱形结构，搅拌件104底部侧边设有矩形凸起，且搅拌件104上的矩形凸起侧边为楔形结构，并且搅拌件104安装在主体101内部底端；此处的搅拌件104是用来通过底件103上的电机带动旋转，进而使得搅拌件104对掉落在主体101底部光刻胶起到搅拌的作用，进而使得光刻胶保持一定的活性，便于再次利用，而搅拌件104侧边设置为楔形结构可以在与主体101内壁相接触时，起到清理主体101内壁的作用，防止光刻胶与主体101内壁相粘连；清理机构2，清理机构2包括有：顶件201，顶件201为弧形结构，顶件201上设有圆孔，且顶件201安装在主体101顶部；此处的顶件201使用来安装导杆202的；旋转机构3，旋转机构3包括有：旋转件301，旋转件301为圆柱形结构，旋转件301上设有圆孔，旋转件301上设有内槽，且旋转件301安装在搅拌件104顶部；此处的旋转件301是用来开设卡槽303的，并且还起到带动顶部各部分旋转的作用；防护机构4，旋转机构3顶部安装有防护机构4；调节机构5，旋转机构3上安装有调节机构5，且调节机构5与防护机构4相连接；固定机构6，调节机构5上安装有固定机构6，且固定机构6与旋转机构3相连接。
60.此外，根据本发明的实施例，如图2所示，安装机构1还包括：支撑架102，支撑架102为圆柱形结构，支撑架102底部设有支撑脚，且支撑架102安装在主体101底部；此处的支撑架102使用来对主体101起到承载支撑的作用的；底件103，底件103为圆柱形结构，底件103上安装有电机，且底件103安装在支撑架102底部，并且底件103上的电机与搅拌件104相连接；而此处的底件103是用来安装电机的，进而通过电机可以带动搅拌件104和旋转件301进行旋转。
61.此外，根据本发明的实施例，如图3所示，清理机构2还包括：导杆202，导杆202为侧边凸起的圆柱形结构，导杆202安装在顶件201上的圆孔内部，且导杆202上的凸起通过弹簧与顶件201侧边相连接；此处的导杆202使用来在顶件201上的圆孔内部移动并拉伸顶件201上的弹簧，从而可以自动适应不同型号的晶圆；接触件203，接触件203为楔形结构，且接触件203安装在导杆202侧边；此处的接触件203使用来通过设置为楔形结构，进而与晶圆外侧相接触，进而使得晶圆在旋转时将晶圆外侧的光刻胶进行刮除，起到清理的作用。
62.此外，根据本发明的实施例，如图6所示，旋转机构3还包括：稳定杆302，稳定杆302为圆柱形结构，且稳定杆302安装在旋转件301顶部两侧；此处的稳定杆302使用来连接旋转件301和承载件401以及固定件601的，进而对承载件401可以固定件601在旋转时起到辅助稳定的效果；卡槽303，卡槽303为矩形结构，且卡槽303开设在旋转件301内部；此次的卡槽303使用来镶嵌卡位件502的；转动件304，转动件304为圆柱形结构，转动件304上安装有齿轮，且转动件304安装在旋转件301上的内槽内部；转动件304使用来通过齿轮与调节件501上的齿轮相啮合，进而可以使得调节件501可以固定旋转一定的角度，并通过齿轮之间的啮合起到卡位的作用。
63.此外，根据本发明的实施例，如图7所示，防护机构4包括：承载件401，承载件401为圆柱形结构，承载件401上设有圆孔，且承载件401上的圆孔内部安装有稳定杆302；此处的承载件401使用来开设移动槽402的；移动槽402，移动槽402为矩形结构，且移动槽402开设在承载件401内部；此处的移动槽402是用来安装此处的安装杆403和防护件404的；安装杆403，安装杆403为圆柱形结构，安装杆403上设有螺纹，安装杆403上安装有锥齿轮，且安装杆403安装在移动槽402内部；此处的安装杆403使用来通过锥齿轮与调节件501上的锥齿轮相啮合，进而带动安装杆403旋转的；防护件404，防护件404为弧形结构，防护件404底部设有矩形凸起，防护件404上的矩形凸起上设有螺纹孔，且防护件404通过底部矩形凸起安装在移动槽402内部，并且防护件404上矩形凸起的螺纹孔内部安装有安装杆403；此处的防护件404使用来通过安装杆403旋转，进而使得防护件404通过底部矩形凸起在移动槽402内部移动，进而通过顶部的将晶圆的底部完全遮盖，防止底部的光刻胶溅射到晶圆的底部，起到对晶圆的底部防护的效果。
64.此外，根据本发明的实施例，如图8所示，调节机构5包括：调节件501，调节件501为顶部凸起的圆柱形结构，调节件501底部安装有齿轮，调节件501上安装有锥齿轮，调节件501上安装有把手，调节件501上设有矩形槽，调节件501安装在旋转件301上的圆孔内部，调节件501安装在承载件401上的圆孔内部，调节件501底部的齿轮与转动件304上的齿轮相啮合，且调节件501上的锥齿轮与安装杆403上的锥齿轮相啮合；此处的调节件501是用来通过旋转把手，进而带动锥齿轮和凸轮503旋转的；卡位件502，卡位件502为楔形结构，卡位件502侧边为弧形结构，且卡位件502通过弹簧安装在调节件501上的矩形槽内部，并且卡位件502安装在卡槽303内部；此处的卡位件502是用来在调节件501旋转时，卡位件502通过与旋转件301内壁相接触，进而使得卡位件502压缩内部的弹簧，并随着调节件501旋转卡入卡槽303内部的，而卡位件502设置为楔形结构可以使得在逆时针旋转调节件501时，此处的卡位件502可以脱离卡槽303，而旋转件301顺时针旋转时，可以通过卡位件502卡在卡槽303内部，从而可以使得旋转件301带动调节件501同步进行旋转；凸轮503，凸轮503安装在调节件501顶部；此处的凸轮503是用来通过两侧与夹持件604相接触，进而使得夹持件604在滑槽602内部移动并拉伸滑杆603上的弹簧，并通过顶部的弧形凸起对晶圆进行固定的，从而可以对根据需求对不同类型的晶圆进行固定。
65.此外，根据本发明的实施例，如图5所示，固定机构6包括：固定件601，固定件601为矩形结构，固定件601上设有圆孔，且固定件601上的圆孔内部安装有调节件501；此处的固定件601是用来开设滑槽602的；滑槽602，滑槽602为矩形结构，且滑槽602开设在固定件601内部顶端，并且滑槽602内部安装有凸轮503；此处的滑槽602是用来滑杆603和夹持件604
的；滑杆603，滑杆603为圆柱形结构，且滑杆603安装在滑槽602内部；此处的滑杆603是用来对夹持件604起到辅助固定并导向的效果；夹持件604，夹持件604为弧形结构，夹持件604顶部设有弧形凸起，夹持件604安装在滑槽602内部，夹持件604上的圆孔内部安装有滑杆603，且夹持件604之间通过滑杆603上的弹簧相连接，并且夹持件604侧边与凸轮503相接触；此处的夹持件604是用来通过与凸轮503两侧相接触，进而可以使得夹持件604在滑槽602内部移动并拉伸滑杆603上的弹簧，而夹持件604顶部设置为弧形结构使得在与晶圆接触时，可以更好的与晶圆相贴合的，从而起到对不同的晶圆进行固定的作用。
66.在另一实施例中，如图3所示，此处的导杆202可以替换为电动伸缩杆，进而可以在使用时，根据需求进行调节，使得接触件203更好的相接触，减小接触件203与晶圆之间的接触缝隙，从而在与晶圆接触过程中更好的将晶圆侧边的光刻胶进行刮除。
67.本实施例的具体使用方式与作用：本发明中，在使用本装置时，通过逆时针旋转调节件501上的把手，使得调节件501带动顶部的凸轮503旋转，而凸轮503通过两侧与夹持件604相接触，进而使得夹持件604在滑槽602内部移动并拉伸滑杆603上的弹簧，而卡位件502通过旋转同时压缩侧边的弹簧，将晶圆放置在调节件501顶部，再进行旋转调节件501，使得夹持件604上的弧形凸起与晶圆片侧边相接触，进而对晶圆进行固定，此时调节件501上的卡位件502卡位在卡槽303内部，而调节件501在旋转同时，调节件501上的锥齿轮与安装杆403上的锥齿轮旋转，从而使得安装杆403带动防护件404向两侧进行同步移动，而防护件404设置为弧形结构，可以对晶圆的底部起到更好的防护的作用，防止在光刻胶溅落在晶圆的底部，通过底件103上的电机顺时针进行旋转，此时卡位件502与卡槽303之间相卡合，使得旋转件301带动调节件501进行旋转，通过稳定杆302的作用，使得旋转件301带动承载件401和固定件601进行旋转，而此时接触件203与晶圆外侧相接触，并使得接触件203带动导杆202在顶件201上的圆孔内部移动并拉伸导杆202上的弹簧，从而可以根据晶圆大小的不同自动进行调节使得接触件203与晶圆外侧相贴合并将晶圆侧边的光刻胶进行刮除，而滴落在主体101内部的光刻胶通过与搅拌件104相接触，搅拌件104通过底件103上的电机带动旋转，使得搅拌件104对落在主体101底部的光刻胶进行搅拌，从而使得光刻胶保持一定的活性，而搅拌件104侧边设置为楔形结构进而可以更好的主体101内壁相接触，从而可以起到防止光刻胶与主体101内壁相粘连。
68.最后，需要说明的是，本发明在描述各个构件的位置及其之间的配合关系等时，通常会以一个/一对构件举例而言，然而本领域技术人员应该理解的是，这样的位置、配合关系等，同样适用于其他构件/其他成对的构件。
69.以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发明的保护范围由所附的权利要求确定。