一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置及其方法与流程

技术特征：
1.一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，包括过滤箱(1)、制备罐(2)，其特征在于,还包括：滑动连接在所述过滤箱(1)内壁的框架(104)、支撑杆(1102)；喷头(1104)，固定连接在所述支撑杆(1102)上；过滤网(105)，固定连接在所述框架(104)底部；加热箱(3)，固定安装在所述过滤箱(1)底部；压缩机(9)、抽水泵(5)，均固定安装在所述制备罐(2)外壁两侧，所述压缩机(9)与制备罐(2)顶部通过导管二(901)相连，且压缩机(9)与所述加热箱(3)通过导管三(902)相连；第二泄压阀(903)，连接在所述导管二(901)上，其中，所述制备罐(2)底部内壁设有喷气嘴(802)，所述加热箱(3)与喷气嘴(802)通过导管一(8)相连，所述导管一(8)上连接有第一泄压阀(801)；潜水泵(4)，设置在所述过滤箱(1)内，且潜水泵(4)的输出端与所述制备罐(2)相连；导热管(503)，设置在所述制备罐(2)外壁与内壁之间，所述抽水泵(5)两端分别与加热箱(3)、导热管(503)相连，所述导热管(503)的出水端与加热箱(3)通过管道五(504)相连；支撑架(6)，固定连接在所述制备罐(2)顶部；筒体(601)，转动连接在所述制备罐(2)顶部，且筒体(601)上固定连接有第一连接杆(603)；转轴一(602)，转动连接在所述支撑架(6)上，且转轴一(602)外壁固定连接有第二连接杆(606)，所述第二连接杆(606)与第一连接杆(603)上均固定连接有拨板(604)，且第一连接杆(603)上固定连接有刮板(605)，其中，所述支撑架(6)上设有用于驱动筒体(601)、转轴一(602)转动的驱动部一，所述过滤箱(1)内设有用于驱动支撑杆(1102)移动的驱动部二；喷水嘴(1001)，固定连接在所述拨板(604)上，所述喷水嘴(1001)通过导管四(10)与抽水泵(5)相连；导管五(1105)，固定连接在所述过滤箱(1)底部内壁，所述导管五(1105)其一端与喷头(1104)相连，另一端与抽水泵(5)相连，所述导管五(1105)与导管四(10)上均设有控制开启或关闭的控制阀。2.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，所述潜水泵(4)固定安装在过滤箱(1)底部内壁，所述潜水泵(4)的输入端固定连接有管道一(401)，所述潜水泵(4)的输出端与制备罐(2)通过管道二(402)相连。3.根据权利要求2所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，所述过滤箱(1)上固定连接有四组进料管(101)，四组所述进料管(101)上均连接有电磁阀一(102)，所述过滤箱(1)外壁固定安装有控制器(103)。4.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，所述抽水泵(5)的输入端通过管道三(501)与加热箱(3)相连，所述抽水泵(5)的输出端通过管道四(502)与导热管(503)相连通，所述导管四(10)其一端与管道四(502)相连，另一端与喷水嘴(1001)相连，所述导管五(1105)其一端与喷头(1104)相连，另一端与管道四(502)相连。5.根据权利要求4所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在
于，控制所述导管四(10)、导管五(1105)开启或关闭的控制阀包括电磁阀二(1002)，所述电磁阀二(1002)连接在导管四(10)、导管五(1105)上。6.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，驱动所述支撑杆(1102)移动的驱动部二包括往复丝杆(11)，以及位于导管五(1105)内，并固定连接在所述往复丝杆(11)外壁上的叶轮二(1101)，所述过滤箱(1)内壁固定连接有导向杆(1103)所述支撑杆(1102)滑动连接在导向杆(1103)上，且与所述往复丝杆(11)螺纹相连。7.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，驱动所述筒体(601)、转轴一(602)转动的驱动部一包括转轴二(7)，以及位于管道四(502)内，并固定连接在所述转轴二(7)外壁上的叶轮一(701)，所述转轴二(7)转动连接在支撑架(6)上，所述转轴二(7)通过传动组(702)与筒体(601)、转轴一(602)相连。8.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，所述过滤箱(1)通过导管六(12)与加热箱(3)相连，所述导管六(12)上连接有电磁阀三(1201)。9.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，所述制备罐(2)底部内壁呈向上内凹设置，所述制备罐(2)底部固定连接有排料管(201)，所述排料管(201)上连接有阀门开关(202)。10.一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备方法，采用权利要求1-9任一项所述的一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，其特征在于，采用以下步骤操作：步骤一：通过控制器(103)、电磁阀一(102)按照不同的配比，使得磷酸、硝酸、醋酸和水达到合适的比例；步骤二：通过过滤网(105)，能够过滤掉磷酸、硝酸、醋酸和水中的杂质，并通过潜水泵(4)能够向制备罐(2)内输送混合液；步骤三：通过抽水泵(5)向导热管(503)内循环供热水对制备罐(2)进行加热，并通过热量传递给混合液，使得混合液温度提升；步骤四：通过驱动部一驱动筒体(601)、转轴一(602)带动两组拨板(604)同步且相反转动，使得对制备罐(2)内的混合液进行混合搅拌；步骤五：加热箱(3)内的气体经过导管一(8)输送进喷气嘴(802)内喷出，使得向制备罐(2)内通入气体；步骤六：高铝硅蚀刻液制备完成后，通过排料管(201)排出制备罐(2)；步骤七：通过抽水泵(5)向喷水嘴(1001)内供水喷出，并配合驱动部一驱动筒体(601)、转轴一(602)带动刮板(605)、喷水嘴(1001)转动对制备罐(2)；步骤八：通过抽水泵(5)向喷头(1104)内供水喷出，并配合驱动部二驱动支撑杆(1102)带动喷头(1104)往复移动。

技术总结
本发明公开了一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置及其方法，属于玻璃化学蚀刻技术领域。一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置，包括过滤箱、制备罐，还包括：滑动连接在所述过滤箱内壁的框架、支撑杆；喷头，固定连接在所述支撑杆上；过滤网，固定连接在所述框架底部；加热箱，固定安装在所述过滤箱底部；本发明，可在对高铝硅蚀刻液进行调配时，提高混合液混合搅拌的均匀性，以及能够达到对混合液混合搅拌时产生的有害气体进行收集利用，从而减少有害气体的排放，提高了装置的环保效果，并且能够在高铝硅蚀刻液制备完成后对制备罐内壁进行自动冲洗清洁，以及对吸附堵塞在过滤网缝隙内的颗粒物杂质进行反冲洗清理。在过滤网缝隙内的颗粒物杂质进行反冲洗清理。在过滤网缝隙内的颗粒物杂质进行反冲洗清理。


技术研发人员：张云生 卢德福 郑楚健
受保护的技术使用者：广西乐苏科技有限公司
技术研发日：2022.03.31
技术公布日：2022/6/10