一种掩模工艺中新型转盘装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种掩模转盘相关技术领域，具体涉及一种掩模工艺中新型转盘装置。


背景技术：

2.掩模是现在一种高新生产工艺，主要应用于光刻工艺当中，通过在掩模上承载需要雕刻的图形，通过光线照射将图形投影在光刻胶上，掩模直接决定光刻的质量。
3.掩模制作时需要进行实时的调节，以此保证将团准确的在掩模版上展示出来，但是现在大多使工作头进行自动调节来图案画在掩模上，这种方式不够便捷，调节范围有限。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是，提供一种掩模工艺中新型转盘装置，使其通过电机、支撑柱和滑轨等部件，能够有效的解决上述的掩模制作时需要进行实时的调节，以此保证将团准确的在掩模版上展示出来，但是现在大多使工作头进行自动调节来图案画在掩模上，这种方式不够便捷，调节范围有限的问题。
5.本实用新型解决技术问题采用的技术方案是：一种掩模工艺中新型转盘装置，包括转环，所述转环的正下方设立有两个滑轨，所述转环外壁均匀转动连接有三个辅助立柱，所述转环与滑轨相对的侧壁固定连接有从动齿轮，所述从动齿轮的一侧啮合连接有驱动齿轮，所述转环内放置有掩模，所述转环内壁固定连接有橡胶垫。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述滑轨内滑动连接有滑块，其中一个所述辅助立柱底端固定连接有衔接板，且衔接板两端底部侧壁与滑轨内的滑块拆卸连接，所述滑轨一端上方设立有放置板，且放置板与滑块拆卸连接，通过滑轨能够带动转环移动，从而带动掩模移动，增加调节性能。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述驱动齿轮底部设立有电机，所述电机通过螺丝拆卸连接在放置板顶部侧壁上，所述电机的输出端固定连接在驱动齿轮底部侧壁中间，用电机带动驱动齿轮转动，以此带动从动齿轮转动，从而带动转环转动，以此带动掩模转动，从而进行灵活的调节，提高画图的稳定性。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述辅助立柱的顶端且与转环相对的侧壁开设有转槽，所述转槽的底部侧壁均匀转动连接有支撑滚珠，所述转槽顶部侧壁均匀固定连接有限位柱，且在转环顶部侧壁开设有活动槽，所述限位柱与活动槽均为“t”形结构，所述限位柱底部侧壁且靠近两端位置均转动连接有滚轮，通过支撑滚珠、限位柱和活动槽，能够对转环进行限位，使转环转动的更加的稳定，避免产生偏差。
9.本实用新型具有以下优点：通过电机带动驱动齿轮转动，以此带动从动齿轮转动，从而带动转环转动，以此带动掩模转动，从而进行灵活的调节，提高画图的稳定性；为保证设备运行稳定，设立支撑滚珠、限位柱和活动槽，能够对转环进行限位，使转环转动的更加的稳定，避免产生偏差；通过滑轨能够带动转环移动，从而带动掩模移动，增加调节性能。
附图说明
10.图1是本实用新型一优选实施例的立体结构示意图；
11.图2是本实用新型一优选实施例的转环平面结构示意图；
12.图3是本实用新型一优选实施例的从动齿轮与驱动齿轮连接结构示意图；
13.图4是本实用新型一优选实施例的图2中a处放大结构示意图。
14.附图标记说明：1、转环；2、从动齿轮；3、辅助立柱；4、驱动齿轮；5、电机；6、放置板；7、滑轨；8、转槽；9、支撑滚珠；10、橡胶垫；11、限位柱；12、活动槽。
具体实施方式
15.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
18.请结合参阅图1-3，本实用新型一种掩模工艺中新型转盘装置，包括转环1，转环1的正下方设立有两个滑轨7，通过滑轨7引导转环1移动，以此对转环1进行位移调节，提高实用性能，滑轨7的驱动为气缸，因其为现有技术，因此本技术文件没有进行过多的赘述，转环1外壁均匀转动连接有三个辅助立柱3，通过三个辅助立柱3能够对转环1提供稳定的支撑，且转环1进行顺畅的转动功能，转环1与滑轨7相对的侧壁固定连接有从动齿轮2，从动齿轮2的一侧啮合连接有驱动齿轮4，经由驱动齿轮4能够带动从动齿轮2转动，从而带动转环1转动，实现转动位移调节的功能，转环1内放置有掩模，转环1内壁固定连接有橡胶垫10，橡胶垫10能够避免对掩模造成损伤。
19.其中，两个滑轨7内滑动连接有滑块，其中一个辅助立柱3底端固定连接有衔接板，且衔接板两端底部侧壁与滑轨7内的滑块拆卸连接，通过滑块带动辅助立柱3移动，滑轨7一端上方设立有放置板6，且放置板6与滑块拆卸连接，与放置板6连接的滑块同时也与另外两个辅助立柱3底端连接，保证放置板6与转环1同步移动，以此保证部件之间连接的稳定性。
20.其中，驱动齿轮4通过底部侧壁中间与电机5连接，通过电机5能够使驱动齿轮4转动，从而带动从动齿轮2和转环1转动，电机5通过螺丝拆卸连接在放置板6顶部侧壁上，在放置板6移动时能带动电机5同步移动，保证驱动齿轮4与从动齿轮2连接的稳定。
21.其中，辅助立柱3的顶端且与转环1相对的侧壁开设有转槽8，转槽8能够保证转环1顺利的转动，同时使转环1稳定的连接在辅助立柱3上，转槽8的底部侧壁均匀转动连接有支撑滚珠9，通过支撑滚珠9能够对转环1和从动齿轮2进行支撑，同时避免影响转环1的正常转
动，转槽8顶部侧壁均匀固定连接有限位柱11，且在转环1顶部侧壁开设有活动槽12，通过限位柱11和活动槽12能够对转环1进行有效的限位，同时保证转环1顺利的转动，限位柱11与活动槽12均为“t”形结构，限位柱11底部侧壁且靠近两端位置均转动连接有滚轮，滚轮能够辅助转环1的转动，避免限位柱11与活动槽12摩擦过大而导致转环1不能顺畅的转动。
22.具体的，本实用新型使用时，将掩模放置进转环1内，在转环1内侧底边沿设立有托板，保证掩模放置的稳定，经由橡胶垫10能够加强掩模放置的稳定，同时避免对掩模造成磨损，需要移动时启动滑轨7即可，然后根据需要驱动电机5带动驱动齿轮4转动，从而驱动从动齿轮2转动，以此带动连接在转环1内的掩模转动，增加调节方式，从而提高在掩模上制图的准确性。
23.以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
24.本实用新型中其他未详述部分均属于现有技术，故在此不再赘述。
25.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。