净化系统的制作方法

1.本发明涉及在隔离器、rabs、无菌室等、附随于它们的通行间、通行厢等室内产生净化用雾来进行净化的净化系统。


背景技术：

2.在制造药品或食品等的制造现场或者手术室等医疗现场，维持室内的无菌状态是重要的。尤其在药品制造的作业室即无菌室的净化中，需要完成符合gmp(good manufacturing practice：生产质量管理规范)的高度的净化验证。
3.近年来，要求无菌环境的作业室(以下称为净化对象室)的净化中广泛采用过氧化氢气体。该过氧化氢气体具有高效的灭菌效果，便宜且容易获得，并且作为最终分解成氧和水的环保的净化气体是有效的。
4.需要说明的是，下述专利文献1中示出了过氧化氢气体的净化效果基于在净化对象部位的表面上冷凝的过氧化氢液的冷凝膜。因此，为了实现净化对象室的净化效果的完美，只要使过氧化氢气体的供给量变多而使产生的过氧化氢液的冷凝膜变厚或为高浓度即可。
5.然而，在向净化对象室供给过量的过氧化氢气体时，发生过度的冷凝，产生在净化对象室的内部设置的各种制造设备、精密测定仪器或者净化对象室的壁面等被产生的高浓度的过氧化氢液的冷凝膜腐蚀这样的不良情况。并且，在基于过氧化氢气体进行的净化之后，进行用洁净空气将在净化对象室的内部残留的过氧化氢气体、冷凝膜除去的通风。但是，在供给了过量的过氧化氢气体的情况下，存在将在净化对象室的壁面等上产生的高浓度的过氧化氢液的冷凝膜除去的通风需要很多时间这样的问题。
6.另一方面，在向净化对象室供给的过氧化氢气体的量较少时，冷凝变得不充分，存在无法获得充分的净化效果这样的问题。根据这样的情况，考虑取代过氧化氢气体而将过氧化氢液以雾的状态(以下称为“过氧化氢雾”)向净化对象室供给。
7.在先技术文献
8.专利文献
9.专利文献1：日本特公昭61-4543号公报


技术实现要素：

10.发明要解决的课题
11.但是，过氧化氢雾是液体的微粒子，因此与气体的过氧化氢气体相比分散/扩散的性质较弱。即，在向净化对象室供给了认为适量的少量的过氧化氢雾的情况下，存在难以在净化对象室的内部均匀地分散/扩散而产生未净化的部分这样的问题。另一方面，在向净化对象室供给了过量的过氧化氢雾的情况下，大粒的粒子产生而下落到净化对象室的地板面上并产生结露。产生了这种结露的结果是存在净化对象室的壁面等被腐蚀这样的问题。并且，在该情况下还存在将结露除去的通风需要很多时间这样的问题。
12.因此，针对上述的诸多问题，本发明的目的在于提供一种净化系统，通过使向净化对象室的内部供给的过氧化氢雾进一步细微化并分散/扩散而能够利用对于净化对象室的适量的过氧化氢雾的供给来实现完美的净化效果，并且缩短通风等的作业时间来实现净化作业的效率化。
13.用于解决课题的手段
14.在解决上述课题时，本发明者们发现了能够使基于超声波的声流作用于向净化对象室的内部供给的过氧化氢雾而进一步细微化，并且能够利用基于声辐射压的按压来使过氧化氢雾分散/扩散，从而完成了本发明。
15.即，根据技术方案1的记载，本发明的净化系统(100～500)的特征在于，具备：雾产生单元(m1～m11)，使净化液雾化并产生净化用雾；雾放出口(x1～x4)，向净化对象室(r1～r4)的内部放出所述净化用雾；及雾分散/扩散单元(d1～d5)，使放出的所述净化用雾分散/扩散，所述雾放出口在所述净化对象室的内部侧壁面上开口而向所述净化对象室的内部放出所述净化用雾，所述雾分散/扩散单元具备在所述净化对象室的内部侧壁面的所述雾放出口的下部附近或雾放出方向的侧面附近配置的振动盘，使该振动盘进行超声波振动而从盘面沿垂直方向产生基于超声波的声流，使对从所述雾放出口放出的所述净化用雾从后方或侧面由声辐射压产生的按压间歇工作或强弱工作，从而使该净化用雾遍及所述净化对象室的内部整个区域分散/扩散。
16.并且，根据技术方案2的记载，在技术方案1所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述雾产生单元具备贮存净化液并经由净化液供给配管(ll2)进行供给的净化液供给装置(20)和产生压缩空气并经由空气供给配管(al2)进行供给的压缩空气供给装置(10)，由供给的净化液和压缩空气产生所述净化用雾。
17.并且，根据技术方案3的记载，在技术方案1所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述雾产生单元由一次雾产生单元(m1、m3、m4、m7)和二次雾产生单元(m2、m5、m6、m8～m11)构成，所述一次雾产生单元具备贮存净化液并经由净化液供给配管(ll1、ll3～ll5)进行供给的净化液供给装置(20)和产生压缩空气并经由空气供给配管(al1、al3～al5)进行供给的压缩空气供给装置(10)，由供给的净化液和压缩空气产生一次雾，并经由一次雾供给配管(ml1～ml4)而向所述二次雾产生单元供给，所述二次雾产生单元具备将供给的所述一次雾气液分离的一次雾接受器(mr1～mr5)和超声波雾化装置(a1～a5)，将气液分离的净化液转换成细微地雾化的二次雾并向所述雾放出口供给，所述雾放出口将所述二次雾作为所述净化用雾而向所述净化对象室的内部放出。
18.并且，根据技术方案4的记载，在技术方案1～3中任一个所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，向所述净化对象室的内部供给的所述净化用雾通过由所述振动盘产生的超声波振动而进一步细微化。
19.并且，根据技术方案5的记载，在技术方案3所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，对于多个净化对象室，共有具备所述净化液供给装置和所述压缩空气供给装置的所述一次雾产生单元，对于各净化对象室，分别具备所述二次雾产生单元、所述雾放出口和所述雾分散/扩散单元。
20.并且，根据技术方案6的记载，在技术方案5所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述净化液供给装置、所述压缩空气供给装置和所述一次雾产生单元经由所述一
次雾供给配管而配置于与净化对象室分隔的位置，所述二次雾产生单元经由所述一次雾供给配管而配置于对应的净化对象室的附近或室内，从而对于净化对象室，所述一次雾供给配管的输送距离比对应的所述净化液供给配管的输送距离长。
21.并且，根据技术方案7的记载，在技术方案3、5及6中任一个所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述超声波雾化装置具备压电振动器(a1-3、a2-3)和多孔振动板(a1-2、a2-2)，该多孔振动板以贯通表面和背面的方式设置有使通过该压电振动器的振动而气液分离的净化液雾化的多个细微孔，将所述多孔振动板的表面作为所述雾放出口而朝向所述净化对象室的内部配置，将背面朝向所述一次雾接受器的内部配置，供给到所述一次雾接受器的一次雾从所述一次雾供给配管朝向所述多孔振动板的背面喷出并气液分离，分离的净化液在从该多孔振动板的背面向表面移动时雾化并以该表面为所述雾放出口而向所述净化对象室的内部放出。
22.并且，根据技术方案8的记载，在技术方案3、5及6中任一个所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述超声波雾化装置具备压电振动器(a1-3、a2-3)和多孔振动板(a1-2、a2-2)，该多孔振动板以贯通表面和背面的方式设置有使通过该压电振动器的振动而气液分离的净化液雾化的多个细微孔，将所述多孔振动板的表面作为所述雾放出口而朝向所述净化对象室的内部配置，将背面朝向在所述一次雾接受器的内部下端部设置的存液处(mr1-2、mr2-2)配置，供给到所述一次雾接受器的一次雾从所述一次雾供给配管向所述一次雾接受器的内部放出并气液分离，分离的净化液在回收到该一次雾接受器的所述存液处之后，在从所述多孔振动板的背面向表面移动时雾化并以该表面为所述雾放出口而向所述净化对象室的内部放出。
23.发明效果
24.根据上述结构，本发明的净化系统具备雾产生单元、雾放出口和雾分散/扩散单元。雾产生单元使净化液雾化并产生净化用雾。雾放出口在净化对象室的内部侧壁面上开口而向净化对象室的内部放出净化用雾。雾分散/扩散单元使净化对象室的内部侧壁面的雾放出口的下部附近或雾放出方向的侧面附近具备的振动盘进行超声波振动而产生声流，使对从雾放出口放出的净化用雾从后方或侧面由声辐射压产生的按压间歇工作或强弱工作。由此，能够使该净化用雾遍及净化对象室的内部整个区域分散/扩散。
25.并且，根据上述结构，雾产生单元具备净化液供给装置和压缩空气供给装置。净化液供给装置贮存净化液并经由净化液供给配管进行供给。压缩空气供给装置产生压缩空气并经由空气供给配管进行供给。在此，雾产生单元用供给的净化液和压缩空气产生净化用雾。由此，能够更具体地发挥上述作用效果。
26.并且，根据上述结构，净化系统由一次雾产生单元和二次雾产生单元构成。一次雾产生单元具备净化液供给装置和压缩空气供给装置。净化液供给装置经由净化液供给配管而供给贮存的净化液。压缩空气供给装置经由空气供给配管而供给产生的压缩空气。在此，一次雾产生单元用供给的净化液和压缩空气产生一次雾，经由一次雾供给配管而向二次雾产生单元供给。
27.二次雾产生单元具备一次雾接受器和超声波雾化装置。一次雾接受器将供给的一次雾气液分离。超声波雾化装置将气液分离的净化液转换成细微地雾化的二次雾并向雾放出口供给。雾放出口将二次雾作为净化用雾而向净化对象室的内部放出。由此，能够更有效
地发挥上述作用效果。
28.并且，根据上述结构，向净化对象室的内部供给的净化用雾通过由振动盘产生的超声波振动而进一步细微化。由此，能够更有效地发挥上述作用效果。
29.并且，根据上述结构，净化系统对于多个净化对象室，共有具备净化液供给装置和压缩空气供给装置的一次雾产生单元。另一方面，对于各净化对象室，分别具备二次雾产生单元、雾放出口和雾分散/扩散单元。
30.并且，根据上述结构，净化液供给装置、压缩空气供给装置和一次雾产生单元经由一次雾供给配管而配置于与净化对象室分隔的位置。另一方面，二次雾产生单元经由一次雾供给配管而配置于对应的净化对象室的附近或室内。由此，对于净化对象室，一次雾供给配管的输送距离比对应的净化液供给配管的输送距离长。
31.并且，根据上述结构，超声波雾化装置具备压电振动器和多孔振动板，该多孔振动板以贯通表面和背面的方式设置有使通过该压电振动器的振动而气液分离的净化液雾化的多个细微孔。并且，将多孔振动板的表面作为雾放出口而朝向净化对象室的内部配置，将背面朝向一次雾接受器的内部配置。在该状态下，供给到一次雾接受器的一次雾从一次雾供给配管朝向多孔振动板的背面喷出并气液分离。分离的净化液在从多孔振动板的背面向表面移动时雾化并以该表面为雾放出口而向净化对象室的内部放出。
32.并且，根据上述结构，超声波雾化装置具备压电振动器和多孔振动板，该多孔振动板以贯通表面和背面的方式设置有使通过该压电振动器的振动而气液分离的净化液雾化的多个细微孔。并且，将多孔振动板的表面作为雾放出口而朝向净化对象室的内部配置，将背面朝向在所述一次雾接受器的内部下端部设置的存液处配置。在该状态下，供给到一次雾接受器的一次雾从一次雾供给配管向一次雾接受器的内部放出并气液分离，分离的净化液在回收到一次雾接受器的存液处之后，在从多孔振动板的背面向表面移动时雾化并以该表面为雾放出口而向净化对象室的内部放出。
33.因此，根据本发明，能够提供一种净化系统，通过使向净化对象室的内部供给的过氧化氢雾进一步细微化并分散/扩散而能够利用对于净化对象室的适量的过氧化氢雾的供给来实现完美的净化效果，并且缩短通风等的作业时间来实现净化作业的效率化。
附图说明
34.图1是表示本发明的净化系统的第一实施方式的概略结构图。
35.图2是第一实施方式中使用的二次雾产生装置的外观立体图。
36.图3是表示图2的二次雾产生装置的构造的图，(a)是从净化对象室侧观察的主视图，(b)是从右侧面观察的截面图。
37.图4是第一实施方式中使用的雾分散/扩散装置的外观立体图。
38.图5是表示图1的净化系统中的过氧化氢雾的分散/扩散的状态的形象图。
39.图6是表示本发明的净化系统的第二实施方式的概略结构图。
40.图7是表示本发明的净化系统的第三实施方式的概略结构图，(a)是俯视图。
41.图8是表示本发明的净化系统的第三实施方式的概略结构图，(b)是主视图。
42.图9是表示本发明的净化系统的第三实施方式的概略结构图，(c)是侧视图。
43.图10是表示本发明的净化系统的第四实施方式的概略结构图。
44.图11是表示第四实施方式中二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第一例的立体图。
45.图12是图11的二次雾产生装置的从净化对象室内的侧面观察的右侧视图。
46.图13是图11的二次雾产生装置的从净化对象室内的正面观察的截面图。
47.图14是表示第四实施方式中二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第二例的立体图。
48.图15是表示第四实施方式中二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第三例的立体图。
49.图16是表示第四实施方式中二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第四例的立体图。
50.图17是表示图10的净化系统中的过氧化氢雾的分散/扩散的状态的形象图。
51.图18是表示本发明的净化系统的第五实施方式的概略结构图。
具体实施方式
52.在本发明中，“雾”在广义上进行解释，包括细微化并在空气中漂浮的净化剂的液滴的状态、净化剂的气体和液滴混合的状态、净化剂在气体与液滴之间反复进行冷凝和蒸发的相变的状态等。并且，关于粒径，也在广义上解释为包括根据情况细分的雾/烟雾/液滴等。
53.因此，在本发明的雾中，包括根据情况称为雾(有时定义为10μm以下)或烟雾(有时定义为5μm以下)的雾及具有超过以上的粒径的雾。需要说明的是，在本发明中，认为通过超声波振动的作用，即使是雾/烟雾/液滴等3μm～10μm或超过以上的液滴，也均匀化成3μm以下的超细微粒子而发挥高度的净化效果。
54.以下，基于各实施方式来说明本发明的净化系统。需要说明的是，本发明并不限定于下述示出的各实施方式。
55.《第一实施方式》
56.在本第一实施方式中，说明对于一室的净化对象室而配置了本发明的净化系统的情况。并且，在本第一实施方式中，说明将一次雾产生单元及二次雾产生单元并用为过氧化氢雾产生单元并将细微地雾化的二次雾作为净化用雾而向净化对象室的内部放出的情况。
57.图1是表示本发明的净化系统的第一实施方式的概略结构图。在图1中，将一台隔离器(容积：4m3)设为净化对象室，通过一组过氧化氢雾产生装置(在本第一实施方式中为一次雾产生装置与二次雾产生装置的组合)来放出净化用雾。并且，省略了隔离器的内部的装置、例如循环风扇、hepa过滤器、整流板等，仅记载了净化对象空间。需要说明的是，在本第一实施方式中，将隔离器设为净化对象室，不过并不限于此，也可以为rabs、无菌室、通行间、通行厢等，还可以为这些的组合。并且，净化对象室的数目也可以由一室变为多室。
58.在图1中，配置于净化对象室r1的净化系统100具备一次雾产生装置m1、二次雾产生装置m2、雾放出口x1及雾分散/扩散装置d1。
59.一次雾产生装置m1具有空气压缩机(ca)10、过氧化氢液罐(l)20及产生一次雾的喷射器e1。
60.空气压缩机10作为用于产生压缩空气的压缩空气产生单元起作用，该压缩空气作
为用于输送过氧化氢液的载气。需要说明的是，在本第一实施方式中，该空气压缩机10配置于从净化对象室r1远离的位置。
61.过氧化氢液罐20作为用于贮存过氧化氢液的净化液供给单元起作用，该过氧化氢液是作为净化用雾的过氧化氢雾的产生源。需要说明的是，在本第一实施方式中，该过氧化氢液罐20配置于从净化对象室r1远离的位置且空气压缩机10的附近。在此，过氧化氢液罐20中贮存的过氧化氢液的浓度并未特别限定，不过一般考虑到危险物等的处理而优选使用30～35重量％的过氧化氢液。并且，过氧化氢液罐20具备对内部的过氧化氢液的剩余量进行检测的称重器(ws)21和对剩余量进行控制的控制装置(未图示)。
62.喷射器e1将过氧化氢液气液混合到压缩空气中并产生一次雾。该喷射器e1配置于从净化对象室r1远离的位置且空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近。
63.并且，在图1中，净化系统100具备将空气压缩机10与喷射器e1连通的空气供给配管al1、将过氧化氢液罐20与喷射器e1连通的净化液供给配管ll1、将喷射器e1与二次雾产生装置m2连通的一次雾供给配管ml1。
64.空气供给配管al1将空气压缩机10的喷出口与喷射器e1的驱动流路(未图示)连通。在空气供给配管al1的管路中分别设置有对压缩空气的供给进行控制的开闭阀(未图示)。在此，关于空气供给配管al1的材质及管径，并未特别限定，不过一般优选为内径1～10mm的不锈钢管。需要说明的是，虽然图1中没有示出，不过也可以在空气压缩机10与空气供给配管al1之间的管路中设置空气干燥器、空气调节器、自动排水器、油雾分离器、其他的过滤器等。
65.净化液供给配管ll1将过氧化氢液罐20的供给口与喷射器e1的吸入流路(未图示)连通。在净化液供给配管ll1的管路中分别设置有对过氧化氢液的供给进行控制的管泵p1。在此，关于净化液供给配管ll1的材质及管径，只要能够使用于过氧化氢液即可，并未特别限定，不过一般优选为内径1～10mm的不锈钢管。
66.一次雾供给配管ml1将喷射器e1的喷出流路与具备超声波雾化装置(后述)的二次雾产生装置m2连通。一次雾供给配管ml1从空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近到在净化对象室r1的里壁面的上部中央配置的二次雾产生装置m2的位置为止配管较长的距离。在此，关于一次雾供给配管ml1的材质及管径，优选能够长距离输送每单位时间所需要的量的过氧化氢雾，一般优选为内径1～10mm的不锈钢管。
67.如由图1可知的那样，一次雾供给配管ml1的输送距离为比空气供给配管al1的输送距离或净化液供给配管ll1的输送距离长的距离。基于该一次雾供给配管ml1的一次雾的输送距离并未特别限定，不过通常能够输送3～100m程度。另一方面，空气供给配管al1的输送距离或净化液供给配管ll1的输送距离能够变短。
68.在本第一实施方式中，一次雾是压缩空气与过氧化氢液的混合气液，处于密度较高的状态，输送速度也较快，因此一次雾供给配管ml1能够使用小口径的配管。因此，能够在净化对象室r1中配置较长的距离的一次雾供给配管ml1。由此，不需要大口径的管道等大规模的设备。
69.并且，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，因此不需要为了防止冷凝而对一次雾供给配管ml1进行保温。因此，即使是在净化对象室r1中配置较长的距离的配管的情况，也不需要防止冷凝的加热器等大规模的设备。
70.如此，通过使净化液供给配管ll1的输送距离变短，能够准确地掌握向喷射器e1的过氧化氢液的供给量。由此，能够准确地掌握向二次雾产生装置m2供给的过氧化氢液的量，向净化对象室r1放出的过氧化氢雾的量变得明确。另一方面，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，不会冷凝，因此能够使一次雾供给配管ml1的输送距离变长并将过氧化氢液准确地输送至远处。而且，能够通过压缩空气将一次雾供给配管ml1中的过氧化氢液完全输送，因此不会在配管中残留死液。
71.二次雾产生装置m2配置于净化对象室r1的里壁面的上部中央(外壁侧)，经由在净化对象室r1的内壁侧开口的雾放出口x1而向净化对象室r1的内部放出二次雾。并且，二次雾产生装置m2由雾接受器和超声波雾化装置构成，接受从喷射器e1输送来的包含过氧化氢液的一次雾并转换成二次雾。关于雾接受器和超声波雾化装置的构造和功能，后文叙述。
72.雾分散/扩散装置d1以左右对称且沿着里壁面在横向上较长的方式配置于在净化对象室r1的里壁面的上部中央开口的雾放出口x1的正下方，使从二次雾产生装置m2向净化对象室r1的内部放出的过氧化氢雾(二次雾)在净化对象室r1的内部均匀地分散/扩散。关于该雾分散/扩散装置d1的构造和功能，后文叙述。
73.如此，二次雾产生装置m2及雾分散/扩散装置d1优选配置于净化对象室r1的上部。过氧化氢雾虽说是细微的雾，但也是液滴，因此能够利用基于自重的下落来实现向下方的均匀的分散/扩散。
74.需要说明的是，雾分散/扩散装置d1的位置并不限定于雾放出口x1的正下方，只要是雾放出口x1的下部附近即可。与雾放出口x1的距离并未特别限定，例如可以为0～800mm，优选为0～300mm。通过雾分散/扩散装置d1处于雾放出口x1的下部附近(包括正下方)，向净化对象室r1的内部放出并具有因重力而向下方下落的倾向的过氧化氢雾能够更高效地分散/扩散。
75.需要说明的是，在本第一实施方式中，二次雾产生装置m2和雾分散/扩散装置d1配置于净化对象室r1的里壁面的上部中央。需要说明的是，二次雾产生装置m2及雾分散/扩散装置d1的位置并不限于此，也可以配置于其他的壁面。在该情况下，也优选配置于考虑了向净化对象室r1的内部的过氧化氢雾的均匀的分散/扩散的位置。需要说明的是，关于其他的配置，在后述的第三实施方式中进行说明。
76.并且，在净化对象室的容积较大的情况下，配置多个过氧化氢雾产生装置及附随的多个雾分散/扩散装置。由此，能够实现向净化对象室的内部的过氧化氢雾的均匀的分散/扩散，净化效率变高。
77.接着，对二次雾产生装置m2进行说明。图2是本第一实施方式中使用的二次雾产生装置的外观立体图。在图2中，二次雾产生装置m2由雾接受器mr1和超声波雾化装置a1构成并产生二次雾。雾接受器mr1接受从喷射器e1输送来的包含过氧化氢液的一次雾并进行气液分离。并且，该雾接受器mr1将气液分离的过氧化氢液向超声波雾化装置a1供给，并且将气液分离的空气向外部放出。在雾接受器mr1的正面设有雾放出口x1。
78.超声波雾化装置a1从雾接受器mr1接受气液分离的过氧化氢液，产生细微的过氧化氢雾(二次雾)并向净化对象室r1的内部放出。需要说明的是，在本第一实施方式中，超声波雾化装置a1的振动盘(后述)兼作雾放出口x1。
79.在此，说明本第一实施方式中使用的二次雾产生装置m2的一例。图3示出了二次雾
产生装置的构造。(a)是从净化对象室侧观察的主视图，(b)是从右侧面观察的截面图。
80.雾接受器mr1构成正面内部为半纺锤形的截面的内部空间s1，与半纺锤形的宽度收敛的正面下端部对应地开口于外壁面的开口部s1-2处安装有超声波雾化装置a1。该内部空间s1的下端部为了具有气液分离的少量的净化液的存液处mr1-2的功能而宽度收敛。并且，一次雾供给配管ml1的末端朝向雾接受器mr1的内部与雾接受器mr1的背面下端部(与超声波雾化装置a1相对的位置)连通。在雾接受器mr1的背面内部的上端部开设有空气排出口mr1-3。需要说明的是，在该空气排出口mr1-3的路径上也可以设置用于分解过氧化氢的过滤器mh1。并且，在雾接受器mr1的内部中央的一次雾供给配管ml1的末端与空气排出口mr1-3之间设有挡板mr1-4。
81.超声波雾化装置a1由以贯通表面和背面的方式设置有使气液分离的净化液(过氧化氢液)雾化的多个细微孔(未图示)的大致圆板状的多孔振动板a1-2、使该多孔振动板a1-2进行膜振动的形成为大致圆环板状的压电振动器a1-3、对该压电振动器a1-3的振动进行控制的控制装置(未图示)构成。多孔振动板a1-2以覆盖压电振动器a1-3的内孔部的方式与压电振动器a1-3贴合。
82.并且，多孔振动板a1将其表面朝向净化对象室的内部安装，将背面朝向雾接受器mr1的内部安装，多孔振动板a1-2的多个细微孔使净化对象室的内部与雾接受器mr1的内部贯通。在本第一实施方式中，多孔振动板a1-2的表面兼作雾放出口x1。需要说明的是，在图3中，配设成从多孔振动板a1-2的表面朝向水平方向放出过氧化氢雾，不过并不限于此，也可以朝向下方或者根据配设位置而朝向上方放出。
83.在该状态下，一次雾经由一次雾供给配管ml1而向雾接受器mr1的内部放出。在雾接受器mr1的内部，多孔振动板a1-2的背面和一次雾供给配管ml1的末端相对。由此，放出的一次雾直接向多孔振动板a1-2的背面喷出并气液分离。该气液分离的净化液经过进行超声波振动的多孔振动板a1-2的多个细微孔而成为细微的二次雾(过氧化氢雾)，向净化对象室的内部放出，发挥净化效果。需要说明的是，虽然有时在多孔振动板a1-2的背面处气液分离的净化液的一部分保留在存液处mr1-2，但是这些是极少量，经过多孔振动板a1-2的多个细微孔而成为细微的二次雾，向净化对象室的内部放出。另一方面，气液分离的空气从空气排出口mr1-3向外部放出。
84.如此，能够将向超声波雾化装置a1供给的净化液的量高精度地控制成必要最小限度，因此即使是对于多个净化对象室而按各室设置了较长的距离的配管的情况，也能够避免净化液的残留并进行高效的净化。而且，如此能够按各室供给准确的量的过氧化氢雾，因此不会净化液不足而超声波雾化装置a1的核心部即超声波振动器发生故障。并且，能够以必要最小限度的净化液的量获得充分的净化效果，能够实现净化液的高效利用。
85.在此，多孔振动板a1-2的细微孔的孔径及孔数并未特别限定，只要能够确保超声波雾化效果和过氧化氢雾的充分的供给量即可。需要说明的是，通常具有4～11μm程度的孔径，不过若选择比细菌的孢子的尺寸小(例如0.5～3μm程度)的孔径，则发挥过滤器效果而净化液不会因细菌而污染。
86.接着，说明使如此放出的过氧化氢雾在净化对象室的内部分散/扩散的雾分散/扩散装置d1。图4是本第一实施方式中使用的雾分散/扩散装置的外观立体图。在图4中，雾分散/扩散装置d1具有超声波振动盘d1a。超声波振动盘d1a配置成对从超声波雾化装置a1放
出的过氧化氢雾从放出方向的下部后方作用基于超声波振动的声辐射压(参照图1)。
87.在此，说明超声波振动盘d1a的构造和作用。在图4中，超声波振动盘d1a具备基盘和多个送波器。在本第一实施方式中，使用基盘u1，作为送波器，使用超声波发送器u1a。在本第一实施方式中，将105个超声波发送器u1a以使它们的振动面的送波方向(图示正面稍偏左方向)统一的方式配置在基盘u1的盘上。需要说明的是，超声波发送器的个数并未特别限定。
88.在本第一实施方式中，使用了超定向性的超声波发送器u1a。具体而言，使用了发送频率40khz附近的超声波的频率调制方式的超声波发送器(dc12v、50ma)。需要说明的是，关于超声波发送器的种类、大小和构造、输出等，并未特别限定。并且，在本发明中，关于超声波振动盘，并不限于超声波发送器，关于超声波的产生机构、频率范围及输出等，并未特别限定。
89.在本第一实施方式中，通过使多个(105个)超声波发送器u1a的振动面的送波方向统一并且使这些送波器以同相位进行工作，各超声波发送器u1a的正面方向的超声波相互加强，并且各超声波发送器u1a的横向的超声波相互抵消。其结果是，在配置于基盘u1的超声波发送器u1a进行超声波振动时，产生从各振动面沿垂直方向在空气中行进的定向性强的声流。需要说明的是，在本第一实施方式中，重要的是通过控制装置(未图示)对超声波发送器u1a的频率、输出、发送时间进行控制，并且使超声波的发送间歇工作或强弱工作，从而使作用于过氧化氢雾的基于声辐射压的按压变化(详细情况后述)。
90.接着，说明使用本第一实施方式的净化系统100来对净化对象室r1进行净化的净化方法。在此，将图2和图3中说明的二次雾产生装置m2及图4中说明的雾分散/扩散装置d1配置于净化对象室r1的里壁面的上部中央(参照图1)。
91.在本第一实施方式中，首先，算出每单位时间应向净化对象室r1放出的过氧化氢雾的量。根据该净化用雾放出量来算出从过氧化氢液罐20经由净化液供给配管ll1向与净化对象室r1对应的喷射器e1供给的过氧化氢液的量。需要说明的是，净化前的净化对象室r1优选使用温度调节器及湿度调节器来预先设定成预定的条件。
92.接着，开始净化操作。首先，打开空气供给配管al1的开闭阀(未图示)，从空气压缩机10经由空气供给配管al1向喷射器e1的驱动流路供给压缩空气。在此，向喷射器e1供给的压缩空气并未特别限定，不过分别优选喷出压力为0.05mpa以上，空气流量为0.5～20nl/min。该空气流量只要根据向净化对象室r1供给的过氧化氢液的浓度和量及到净化对象室r1的距离来适当设定即可。
93.接着，使净化液供给配管ll1的管泵p1工作，从过氧化氢液罐20经由净化液供给配管ll1向喷射器e1的吸入流路供给过氧化氢液。需要说明的是，该过氧化氢液的供给量对应于针对喷射器e1如上述那样计算的量。在此，向喷射器e1供给的过氧化氢液的浓度并未特别限定，不过一般可以直接使用流通的30～35重量％的过氧化氢液，或者也可以将上述浓度的过氧化氢液浓缩或稀释来使用。并且，向喷射器e1供给的过氧化氢液也可以分别将流量调整成0.5～10g/min。
94.需要说明的是，通过过氧化氢液的量为上述范围，且通过压缩空气的量为上述范围，能够经由一次雾供给配管ml1将混合了过氧化氢液的一次雾输送较长的距离。
95.通过上述的操作，在喷射器e1中过氧化氢液和压缩空气进行一次雾化，从喷射器
e1的喷出流路经由一次雾供给配管ml1而向构成二次雾产生装置m2的雾接受器mr1供给。
96.在雾接受器mr1中，一次雾进行气液分离而将过氧化氢液与空气分离。在雾接受器mr1中气液分离的过氧化氢液从雾接受器mr1向净化对象室r1的内部的超声波雾化装置a1供给。需要说明的是，如上述那样超声波雾化装置a1的多孔振动板a1-2兼作雾放出口x1。在该阶段中，超声波雾化装置a1的压电振动器a1-3开始工作。由此，在超声波雾化装置a1中产生的细微的过氧化氢雾向净化对象室r1的内部放出。此时，过氧化氢雾从在净化对象室r1的里壁面的上部中央开口的雾放出口x1与里壁面垂直地沿水平方向放出。
97.在此，通过雾分散/扩散装置d1具有的控制装置(未图示)，超声波振动盘d1a的工作根据预定的程序而变化。即，使对过氧化氢雾从下部后方进行作用的声辐射压的输出变化为来进行间歇工作，或者变化为来进行强弱工作。同时，也进行发送时间/停止时间的调整。由此，基于声辐射压的按压一边变化一边作用于从净化对象室r1的里壁面的上部中央与里壁面垂直地沿水平方向放出的过氧化氢雾。由此，过氧化氢雾的分散方向和扩散方向根据预定的程序而变化。
98.图5是表示本第一实施方式的净化系统中的过氧化氢雾的分散/扩散的状态的形象图。在图5中，首先从二次雾产生装置m2的超声波雾化装置a1放出的过氧化氢雾(h2o
2-mist)通过雾分散/扩散装置d1的超声波振动盘d1a的变化的工作而沿净化对象室r1的水平方向均匀地分散/扩散。并且，此时，过氧化氢液雾通过声辐射压的作用而进一步细微化，向净化对象室r1的内部分散/扩散。
99.接着，通过超声波振动盘d1a的变化的工作而沿净化对象室r1的水平方向均匀地分散/扩散的过氧化氢雾为由非常细微的液滴构成的雾，由于自重而缓慢地下落。因此，过氧化氢雾在净化对象室r1的垂直方向上也均匀地分散/扩散。
100.需要说明的是，在本第一实施方式中，认为通过基于超声波振动的声辐射压的作用，进一步促进过氧化氢液雾的细微化，即使是雾/烟雾/液滴等3μm～10μm或者超过以上的液滴，也均匀化成3μm以下的超细微粒子而发挥高度的净化效果。并且，认为过氧化氢雾因超声波振动的作用而细微化，粒径变小，表面积变大，因此雾的蒸发效率变高，反复进行蒸发和冷凝。并且，由于是高度细微化的雾，所以在净化对象室r1的内壁面上形成均匀且薄层的冷凝膜。由此，认为在净化对象室r1的内部过氧化氢的3μm以下的超细微粒子和过氧化氢气体一边进行相变一边共存而出现高度的净化环境。
101.如此，一边以预定的时间放出过氧化氢雾一边使声辐射压进行作用。在经过了预定的时间的阶段，使净化液供给配管ll1的管泵p1停止，停止过氧化氢液的供给。在该阶段中，处于经由空气供给配管al1向喷射器e1供给压缩空气的状态，将一次雾供给配管ml1中的剩余的过氧化氢液全部传送到雾接受器mr1。由此，对于净化对象室r1，分别准确地放出预定量的过氧化氢雾。在向超声波雾化装置a1供给的过氧化氢液全部雾化的阶段，超声波雾化装置a1及雾分散/扩散装置d1停止工作。
102.接着，关闭空气供给配管al1的开闭阀，停止压缩空气的供给。然后，将室内的过氧化氢雾排出，对室内进行通风，结束净化操作。需要说明的是，上述各操作优选通过基于微型计算机的自动控制来进行。
103.如此，通过在净化对象室r1的内壁面上以均匀且薄层的方式形成的冷凝膜反复进行再蒸发和冷凝，能够提高净化雾中的净化剂浓度，且能够用少量的净化剂来进行高效率
的净化。并且，在能够用少量的净化剂来高效地净化的同时能够防止结露，因此净化后的通风的效率也提高，也能够实现净化操作的短时间化。
104.在此，在本第一实施方式中，确认了超细微的过氧化氢雾在水平方向及垂直方向上均匀地分散/扩散的状态。具体而言，对于本第一实施方式的净化对象室r1即隔离器(容积：w3
×
1d
×
1.3h＝4m3)，在图1所示的位置配置了一台二次雾产生装置m2及一台雾分散/扩散装置d1。将此时的净化基准设为15g/m3来进行计划，将从一组过氧化氢雾产生装置(在本第一实施方式中为一次雾产生装置m1与二次雾产生装置m2的组合)向净化对象室r1的内部放出的过氧化氢液(35重量％)的量设为2g/min并投入30分钟。
105.并且，在隔离器的底壁面的要点位置设置多个冷凝传感器sdm(本发明者开发的，详细情况参照日本专利第3809176号)，测定冷凝膜的厚度并确认sdv值(确认形成对于净化最佳的冷凝膜的值)。其结果是，确认了过氧化氢雾能够充分地达成基于二次雾产生装置m2和雾分散/扩散装置d1的作用的沿水平方向及垂直方向的分散/扩散。另一方面，作为比较例，使雾分散/扩散装置d1的工作停止而只进行过氧化氢雾从二次雾产生装置m2的放出，结果是沿水平方向的分散/扩散不充分，确认到多个无法进行充分的净化的部位。并且，在处于从二次雾产生装置m2的放出方向上的底壁面确认到局部的冷凝。
106.《第二实施方式》
107.在本第二实施方式中，说明与上述第一实施方式一样对于一室的净化对象室而配置了本发明的净化系统的情况。需要说明的是，在本第二实施方式中，说明仅使用单一的雾产生单元来作为过氧化氢雾产生单元并将细微的雾作为净化用雾而向净化对象室的内部放出的情况。
108.在本第二实施方式中，未使用上述第一实施方式中使用的二次雾产生装置m2(包括超声波雾化装置a1)，将过氧化氢液直接雾化并向净化对象室的内部放出。因此，优选缩小产生的雾的粒径。需要说明的是，作为雾产生装置，只要能够使液状的过氧化氢液成为细微的雾即可，其构造可以为任意构造。
109.例如，可以为使液体直接雾化的单流体喷雾嘴、压电高压喷射装置、浸渍型超声波雾化装置、圆盘型雾化装置、圆盘网型雾化装置等。并且，也可以为用高压空气等使液体雾化的喷射器、双流体喷雾嘴等。需要说明的是，在本第二实施方式中，使用利用高压空气使净化剂雾化的喷射器来进行说明。
110.图6是表示本发明的净化系统的第二实施方式的概略结构图。在图2中，与上述第一实施方式一样将一台隔离器(容积：4m3)设为净化对象室，通过过氧化氢雾产生装置(在本实施方式中仅使用单一的雾产生装置)来放出净化用雾。并且，省略了隔离器的内部的装置，例如循环风扇、hepa过滤器、整流板等，仅记载了净化对象空间。
111.在图6中，配置于净化对象室r2的净化系统200具备雾产生装置m3、雾放出口x2及雾分散/扩散装置d2。
112.雾产生装置m3具有空气压缩机10、过氧化氢液罐20及产生雾的喷射器e2。
113.空气压缩机10及过氧化氢液罐20的构成和构造与上述第一实施方式相同，在此省略说明。喷射器e2与上述第一实施方式不同，配置于净化对象室r2的里壁面的上部中央(外壁侧)，经由在净化对象室r2的内壁侧开口的雾放出口x2而向净化对象室r2的内部放出雾。
114.并且，在图6中，净化系统200具备将空气压缩机10与喷射器e2连通的空气供给配
管al2、将过氧化氢液罐20与喷射器e2连通的净化液供给配管ll2。需要说明的是，空气供给配管al2及净化液供给配管ll2的构成和构造与上述第一实施方式相同，在此省略说明。
115.雾分散/扩散装置d2以左右对称且沿着里壁面在横向上较长的方式配置于在净化对象室r2的里壁面的上部中央开口的雾放出口x2的正下方，使从雾产生装置m3向净化对象室r2的内部放出的过氧化氢雾在净化对象室r2的内部均匀地分散/扩散。关于该雾分散/扩散装置d2的构造和功能，与上述第一实施方式相同，在此省略说明。
116.如此，雾产生装置m3及雾分散/扩散装置d2优选配置于净化对象室r2的上部。过氧化氢雾虽说是细微的雾，但也是液滴，因此能够利用基于自重的下落来实现向下方的均匀的分散/扩散。
117.需要说明的是，雾分散/扩散装置d2的位置并不限定于雾放出口x2的正下方，只要是雾放出口x2的下部附近即可。与雾放出口x2的距离并未特别限定，例如可以为0～800mm，优选为0～300mm。通过雾分散/扩散装置d2处于雾放出口x2的下部附近(包括正下方)，向净化对象室r2的内部放出并具有因重力而向下方下落的倾向的过氧化氢雾能够更高效地分散/扩散。
118.需要说明的是，在本第二实施方式中，雾产生装置m3和雾分散/扩散装置d2配置于净化对象室r2的里壁面的上部中央。需要说明的是，雾产生装置m3及雾分散/扩散装置d2的位置并不限于此，也可以配置于其他的壁面。在该情况下，也优选配置于考虑了向净化对象室r2的内部的过氧化氢雾的均匀的分散/扩散的位置。
119.并且，在净化对象室的容积较大的情况下，配置多个过氧化氢雾产生装置及附随的多个雾分散/扩散装置。由此，能够实现向净化对象室的内部的过氧化氢雾的均匀的分散/扩散，净化效率变高。
120.在本第二实施方式中，也与上述第一实施方式一样雾分散/扩散装置d2的超声波振动盘配置成对从喷射器e2放出的过氧化氢雾从放出方向的下部后方作用基于超声波振动的声辐射压(参照图6)。因此，本第二实施方式中的过氧化氢雾的控制方法与上述第一实施方式相同，在此省略说明。并且，表示本第二实施方式中的过氧化氢雾的分散/扩散的状态的形象图也与上述第一实施方式相同(参照图5)。
121.《第三实施方式》
122.在本第三实施方式中，说明对于容积较大的一室的净化对象室而配置了本发明的净化系统的情况。并且，在本第三实施方式中，说明将一台一次雾产生单元及两台二次雾产生单元并用为过氧化氢雾产生单元并将细微地雾化的二次雾作为净化用雾而从两处向净化对象室的内部放出的情况。
123.图7是表示本发明的净化系统的第三实施方式的概略结构图的(a)俯视图。并且，图8是概略结构图的(b)主视图，通过局部断裂线示出了室内的状态。同样，图9是概略结构图的(c)侧视图，通过局部断裂线示出了室内的状态。在图7～9中，将一台隔离器(容积：8m3)设为净化对象室，通过过氧化氢雾产生装置(在本第三实施方式中为一台一次雾产生装置与两台二次雾产生装置的组合)来放出净化用雾。并且，省略了隔离器的内部的装置，例如循环风扇、hepa过滤器、整流板等，仅记载了净化对象空间。
124.在图7～9中，配置于净化对象室r3的净化系统300具备一台一次雾产生装置m4、两台二次雾产生装置m5、m6、两个雾放出口x3、x4及两台雾分散/扩散装置d3、d4。
125.一次雾产生装置m4具有空气压缩机10、过氧化氢液罐20及产生一次雾的两台喷射器e3、e4。
126.空气压缩机10、过氧化氢液罐20及两台喷射器e3、e4的构成和构造与上述第一实施方式相同，在此省略说明。需要说明的是，两台喷射器e3、e4分别向两台二次雾产生装置m5、m6供给一次雾。并且，两台喷射器e3、e4配置于从净化对象室r3远离的位置且空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近。
127.并且，在图7～9中，净化系统300具备将空气压缩机10与两台喷射器e3、e4分别连通的两根空气供给配管al3、al4、将过氧化氢液罐20与两台喷射器e3、e4分别连通的两根净化液供给配管ll3、ll4、及将两台喷射器e3、e4与二次雾产生装置m5、m6分别连通的两根一次雾供给配管ml2、ml3。需要说明的是，两根空气供给配管al3、al4、两根净化液供给配管ll3、ll4及两根一次雾供给配管ml2、ml3的构成和构造与上述第一实施方式相同，在此省略说明。
128.如由图7～9可知的那样，两根一次雾供给配管ml2、ml3的输送距离为比两根空气供给配管al3、al4的输送距离或两根净化液供给配管ll3、ll4的输送距离长的距离。基于所述两根一次雾供给配管ml2、ml3的一次雾的输送距离并未特别限定，不过通常能够输送3～100m程度。另一方面，两根空气供给配管al3、al4的输送距离或两根净化液供给配管ll3、ll4的输送距离能够变短。
129.在本第三实施方式中，一次雾是压缩空气与过氧化氢液的混合气液，处于密度较高的状态，输送速度也较快，因此两根一次雾供给配管ml2、ml3能够使用小口径的配管。因此，能够在净化对象室r3中配置较长的距离的一次雾供给配管ml2、ml3。由此，不需要大口径的管道等大规模的设备。
130.并且，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，因此不需要为了防止冷凝而对两根一次雾供给配管ml2、ml3分别进行保温。因此，即使是在净化对象室r3中配置较长的距离的配管的情况，也不需要防止冷凝的加热器等大规模的设备。
131.如此，通过使两根净化液供给配管ll3、ll4的输送距离变短，能够准确地掌握向两台喷射器e3、e4的过氧化氢液的供给量。由此，能够准确地掌握向两台二次雾产生装置m5、m6分别供给的过氧化氢液的量，向净化对象室r3放出的过氧化氢雾的量变得明确。另一方面，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，不会冷凝，因此能够使两根一次雾供给配管ml2、ml3的输送距离变长并将过氧化氢液准确地输送至远处。而且，能够通过压缩空气将两根一次雾供给配管ml2、ml3中的过氧化氢液分别完全输送，因此不会在配管中残留死液。
132.需要说明的是，在本第三实施方式中，两台雾分散/扩散装置d3、d4分别以在横向上较长的方式配置于在净化对象室r3的侧壁面的上部角部的对角位置开口的雾放出口x3、x4的雾放出方向的侧壁面下部附近壁面，使从一次雾产生装置m4向净化对象室r3的内部放出的过氧化氢雾(二次雾)在净化对象室r3的内部均匀地分散/扩散。关于所述两台雾分散/扩散装置d3、d4的构造和功能，与上述第一实施方式相同，在此省略说明。
133.需要说明的是，在本第三实施方式中，也通过两台雾分散/扩散装置d3、d4具有的控制装置(未图示)，各超声波振动盘的工作根据预定的程序而变化。即，使对过氧化氢雾从下部侧面进行作用的声辐射压的输出变化为来进行间歇工作，或者变化为
来进行强弱工作。同时，也进行发送时间/停止时间的调整。由此，基于声辐射压的按压一边变化一边作用于从净化对象室r3的侧壁面的上方角部沿着侧壁面向水平方向放出的过氧化氢雾。由此，过氧化氢雾的分散方向和扩散方向根据预定的程序而变化。
134.如此，两台二次雾产生装置m5、m6及两台雾分散/扩散装置d3、d4优选配置于净化对象室r3的上部的对角位置。过氧化氢雾虽说是细微的雾，但也是液滴，因此能够利用基于自重的下落来实现向下方的均匀的分散/扩散。
135.需要说明的是，两台雾分散/扩散装置d3、d4的位置只要是分别对应的雾放出口x3、x4的雾放出方向的侧壁面下部附近即可，并未特别限定。需要说明的是，与雾放出口x3、x4的横向的距离(沿放出方向的距离)优选未较大地分离。另一方面，与雾放出口x3、x4的下方距离例如可以为0～800mm，优选为0～300mm。通过两台雾分散/扩散装置d3、d4处于雾放出口x3、x4的雾放出方向的下部附近(包括正下方)，向净化对象室r3的内部放出并具有因重力而向下方下落的倾向的过氧化氢雾能够更高效地分散/扩散。
136.《第四实施方式》
137.在本第四实施方式中，说明与上述第一实施方式一样对于一室的净化对象室而配置了本发明的净化系统的情况。并且，在本第四实施方式中，与上述第一实施方式一样将一次雾产生单元及二次雾产生单元并用为过氧化氢雾产生单元，将细微地雾化的二次雾作为净化用雾而向净化对象室的内部放出。需要说明的是，在本第四实施方式中，过氧化氢雾产生装置和雾分散/扩散装置的配置与上述第一实施方式不同。
138.图10是表示本发明的净化系统的第四实施方式的概略结构图。在图10中，与上述第一实施方式一样将一台隔离器(容积：4m3)设为净化对象室，通过一组过氧化氢雾产生装置(在本第四实施方式中为一次雾产生装置及二次雾产生装置的组合)来放出净化用雾。并且，省略了隔离器的内部的装置、例如循环风扇、hepa过滤器、整流板等，仅记载了净化对象空间。
139.在图10中，配置于净化对象室r4的净化系统400具备一次雾产生装置m7、二次雾产生装置m8及雾分散/扩散装置d5。一次雾产生装置m7具有空气压缩机10、过氧化氢液罐20及产生一次雾的喷射器e5。需要说明的是，在图10中，净化对象室r4具有一台一次雾产生装置m7、一台二次雾产生装置m8及两台一对雾分散/扩散装置d5a、d5b。
140.空气压缩机10、过氧化氢液罐20及喷射器e5的构成和构造与上述第一实施方式相同，在此省略说明。并且，在图10中，净化系统400具备将空气压缩机10与喷射器e5连通的空气供给配管al5、将过氧化氢液罐20与喷射器e5连通的净化液供给配管ll5。需要说明的是，空气供给配管al5及净化液供给配管ll5的构成和构造与上述第一实施方式相同，在此省略说明。
141.二次雾产生装置m8由雾接受器和超声波雾化装置构成，接受从喷射器e5输送来的包含过氧化氢液的一次雾并转换成二次雾，向净化对象室r4的内部放出。关于雾接受器和超声波雾化装置的构造和功能，后文叙述。并且，雾分散/扩散装置d5(在图10中称为“d5a及d5b”)对称地配置于二次雾产生装置m8的左右，使从二次雾产生装置m8向净化对象室r4的内部放出的过氧化氢雾(二次雾)在净化对象室r4的内部均匀地分散/扩散。关于该雾分散/扩散装置d5的构造和功能，后文叙述。
142.在本第四实施方式的图10中，二次雾产生装置m8及雾分散/扩散装置d5配置于净
化对象室r4的一壁面的上部中央。需要说明的是，二次雾产生装置m8及雾分散/扩散装置d5的位置并不限于此，也可以配置于其他的壁面。在该情况下，也优选配置于考虑了向净化对象室r4的内部的过氧化氢雾的均匀的分散/扩散的位置。
143.一次雾供给配管ml4将喷射器e5的喷出流路与构成超声波雾化装置a2的雾接受器mr2连通。一次雾供给配管ml4从空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近到在净化对象室r4的一壁面的上部中央配置的二次雾产生装置m8的位置为止配管较长的距离。在此，关于一次雾供给配管ml4的材质和管径及输送距离等，与上述第一实施方式相同。
144.接着，说明二次雾产生装置m8及雾分散/扩散装置d5。图11是表示本第四实施方式中二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第一例的立体图。首先，对二次雾产生装置m8进行说明。需要说明的是，关于雾分散/扩散装置d5，后文叙述。
145.在图11中，二次雾产生装置m8由雾接受器mr2和两台超声波雾化装置a2(1)、a2(2)构成，作为二次雾产生单元起作用。雾接受器mr2作为接受从喷射器e5输送来的包含过氧化氢液的一次雾并进行气液分离的一次雾接受器起作用。并且，该雾接受器mr2将气液分离的过氧化氢液向超声波雾化装置a2(1)、a2(2)供给，并且将气液分离的空气向外部放出。
146.超声波雾化装置a2(1)、a2(2)在二次雾产生装置m8的相对的两个面(在图10中为左右两侧面)上分别各设置一台。这些超声波雾化装置a2(1)、a2(2)接受从雾接受器mr2气液分离的过氧化氢液，产生细微的过氧化氢雾(二次雾)并向净化对象室r4的内部放出。需要说明的是，超声波雾化装置a2(1)、a2(2)从配置的面沿垂直方向(沿着图10的里壁面的水平且左右两方向)放出过氧化氢雾。
147.在此，说明本第四实施方式中使用的二次雾产生装置m8的一例。图12是本第四实施方式中使用的二次雾产生装置的从净化对象室内的侧面观察的右侧视图。图13是本第四实施方式中使用的二次雾产生装置的从净化对象室内的正面观察的截面图。
148.在图12及图13中，雾接受器mr2构成侧面内部为半纺锤形的截面的两个内部空间s2(1)、s2(2)，与半纺锤形的宽度收敛的侧面下端部对应地在外壁面上开口的开口部s2-2(1)、s2-2(2)处安装有超声波雾化装置a2(1)、a2(2)。该内部空间的下端部为了具有气液分离的少量的净化液的存液处mr2-2(1)、mr2-2(2)的功能而宽度收敛。并且，一次雾供给配管ml4的末端朝向雾接受器mr2的内部与雾接受器mr2的背面中央部(与超声波雾化装置a2相对的位置)连通，在内部分成左右两个方向而变成ml4(1)、ml4(2)，分别朝向超声波雾化装置a2(1)、a2(2)的背面(净化对象室的外部)开口。
149.在雾接受器mr2的两个内部空间s2(1)、s2(2)的背面的上端部开设有空气排出口mr2-3(1)、mr2-3(2)。需要说明的是，在该空气排出口mr2-3(1)、mr2-3(2)的路径上也可以设置用于分解过氧化氢的过滤器mh2。并且，在雾接受器mr2的两个内部空间s2(1)、s2(2)的一次雾供给配管ml4的末端ml4(1)、ml4(2)与空气排出口mr2-3(1)、mr2-3(2)之间分别设有挡板mr2-4(1)、mr2-4(2)。
150.超声波雾化装置a2(1)、a2(2)由以贯通表面和背面的方式设置有使气液分离的净化液(过氧化氢液)雾化的多个细微孔(图示为形象图)的大致圆板状的多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)、使该多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)进行膜振动的形成为大致圆环板状的压电振动器a2-3(1)、a2-3(2)、对该压电振动器a2-3(1)、a2-3(2)的振动进行控制的控制装置(未图示)构成。多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)以覆盖压电振动器a2-3(1)、a2-3(2)的内孔部
的方式与压电振动器a2-3(1)、a2-3(2)贴合。
151.并且，多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)将其表面朝向净化对象室的内部安装，将背面朝向雾接受器mr2的内部空间s2(1)、s2(2)的存液处mr2-2(1)、mr2-2(2)安装。由此，多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)的多个细微孔使净化对象室r4的内部与雾接受器mr2的内部空间s2(1)、s2(2)贯通。需要说明的是，在图11中，配置成从超声波雾化装置a2(1)、a2(2)的多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)的表面沿着水平方向且雾分散/扩散装置d5a、d5b的表面放出过氧化氢雾。
152.在该状态下，一次雾经由一次雾供给配管ml4的末端ml4(1)、ml4(2)而向雾接受器mr2的内部放出。在雾接受器mr1的内部，多孔振动板a1-2(1)、a1-2(2)的背面和一次雾供给配管ml4的末端ml4(1)、ml4(2)相对。由此，放出的一次雾直接向多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)的背面喷出并气液分离。
153.该气液分离的净化液经过进行超声波振动的多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)的多个细微孔而变成细微的过氧化氢雾(二次雾)，向净化对象室r4的内部放出。需要说明的是，虽然有时在多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)的背面处气液分离的净化液的一部分保留在存液处mr2-2(1)、mr2-2(2)，但是这些是极少量，经过多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)的多个细微孔而变成细微的二次雾，向净化对象室的内部放出。另一方面，气液分离的空气从空气排出口mr2-3(1)、mr2-3(2)向外部放出。需要说明的是，关于多孔振动板a2-2(1)、a2-2(2)的细微孔的孔径及孔数等，与上述第一实施方式相同，省略说明。
154.接着，说明使如此放出的过氧化氢雾在净化对象室的内部分散/扩散的雾分散/扩散装置d5a、d5b。在图11中，以二次雾产生装置m8为中央，在其左右配置有两台一对雾分散/扩散装置d5a、d5b。两台雾分散/扩散装置d5a、d5b分别具有同样的超声波振动盘d5-2a、d5-2b。
155.一个超声波振动盘d5-2a配置成对从超声波雾化装置a2(1)沿水平且图示右方向放出的过氧化氢雾从放出方向的侧面作用基于超声波振动的声辐射压。并且，另一个超声波振动盘d5-2b配置成对从超声波雾化装置a2(2)沿水平且图示左方向放出的过氧化氢雾从放出方向的侧面作用基于超声波振动的声辐射压。需要说明的是，关于超声波振动盘d5-2a、d5-2b的构造和作用，与上述第一实施方式相同，省略说明。
156.并且，二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合并不限于上述的例子(图11)，以下说明其他的例子。图14是表示二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第二例的立体图。在图14中，对于二次雾产生装置m9，在图示右侧配置有一台雾分散/扩散装置d6。二次雾产生装置m9由雾接受器mr3和一台超声波雾化装置a3构成，作为二次雾产生单元起作用。需要说明的是，雾接受器mr3的构造和作用与上述的雾接受器mr2大致相同。并且，超声波雾化装置a3的构造和作用与上述的超声波雾化装置a2(1)相同。
157.雾分散/扩散装置d6具有与上述的雾分散/扩散装置d5a相同的超声波振动盘d6-2。超声波振动盘d6-2配置成对从超声波雾化装置a3沿水平且图示右方向放出的过氧化氢雾从放出方向的侧面作用基于超声波振动的声辐射压。需要说明的是，关于超声波振动盘d6-2的构造和作用，与上述第一实施方式相同，省略说明。
158.如此，在图14中，仅在二次雾产生装置m9的一个面上配置有雾分散/扩散装置d6。因此，二次雾产生装置m9及雾分散/扩散装置d6优选配置于上部角部，而不是配置于净化对
象室的壁面的上部中央。需要说明的是，在该情况下，也通过控制装置(未图示)对超声波振动盘d6-2的超声波发送器u6-2的频率、输出、发送时间进行控制，并且使超声波的发送进行间歇工作或强弱工作，由此使作用于过氧化氢雾的基于声辐射压的按压变化。
159.并且，图15是表示二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第三例的立体图。在图15中，对于二次雾产生装置m10，雾分散/扩散装置d7(在图15中称为“d7a、d7b、d7c、d7d”)在二次雾产生装置m10的左右对称处各配置了两台。
160.需要说明的是，在二次雾产生装置m10的图示右侧，将雾分散/扩散装置d7a、d7c在图示上下配置成以使各面稍微相对的方式倾斜。另一方面，在二次雾产生装置m10的图示左侧，将雾分散/扩散装置d7b、d7d在图示上下配置成以使各面稍微相对的方式倾斜。
161.二次雾产生装置m10由雾接受器mr4和两台超声波雾化装置a4(1)、a4(2)构成，作为二次雾产生单元起作用。需要说明的是，雾接受器mr4及超声波雾化装置a4(1)、a4(2)的构造和作用与上述的雾接受器mr2及超声波雾化装置a2(1)、a2(2)相同。
162.雾分散/扩散装置d7a～d7d具有与上述的雾分散/扩散装置d5a、d5b相同的超声波振动盘d7-2a～d7-2d。需要说明的是，关于超声波振动盘d7-2a～d7-2d的构造和作用，与上述第一实施方式相同，省略说明。
163.这些超声波振动盘d7-2a～d7-2d分别配置成使基于超声波振动的声辐射压作用于从超声波雾化装置a4(1)、a4(2)沿水平且图示左右两方向(沿着净化对象室的壁面的方向)放出的过氧化氢雾。需要说明的是，超声波振动盘d7-2a、d7-2c配置成使基于超声波振动的声辐射压以从由超声波雾化装置a4(1)向图示右方向放出的过氧化氢雾的横向的上下具有一些角度地夹着过氧化氢雾的方式进行作用。由此，过氧化氢雾从上下方向受到声辐射压的作用，更高效地提高定向性，能够快速送至远处。
164.同样，超声波振动盘d7-2b、d7-2d配置成使基于超声波振动的声辐射压以从由超声波雾化装置a4(2)向图示左方向放出的过氧化氢雾的横向的上下具有一些角度地夹着过氧化氢雾的方式进行作用。由此，过氧化氢雾从上下及横向受到声辐射压的作用，更高效地提高定向性，能够快速送至远处。
165.如此，在图15中，在二次雾产生装置m10的左右两方向以具有角度的方式配置了四台雾分散/扩散装置d7a～d7d。因此，二次雾产生装置m10及雾分散/扩散装置d7a～d7d优选配置于净化对象室的壁面的上部中央。需要说明的是，在该情况下，也通过控制装置(未图示)对超声波振动盘d7-2a～d7-2d的超声波发送器u7-2a～u7-2d的频率、输出、发送时间进行控制，并且使超声波的发送进行间歇工作或强弱工作，由此使作用于过氧化氢雾的基于声辐射压的按压变化。
166.并且，图16是表示二次雾产生装置与雾分散/扩散装置的组合的第四例的立体图。在图16中，对于二次雾产生装置m11，雾分散/扩散装置d8(在图16中称为“d8a、d8b、d8c、d8d”)在二次雾产生装置m11的左右对称处各配置了两台。左右的各两台以背靠背的状态配置。具体而言，图16的二次雾产生装置m11及雾分散/扩散装置d8a～d8d具有与使图11的二次雾产生装置m8及雾分散/扩散装置d5a、d5b形成为两台背靠背的状态的构造相同的构造。
167.二次雾产生装置m11由两台雾接受器mr5(1)、mr5(2)和四台超声波雾化装置a5(1)～a5(4)(在图16中a5(3)和a5(4)处于a5(1)和a5(2)的背面，没有显示)构成，作为二次雾产生单元起作用。需要说明的是，雾接受器mr5(1)、mr5(2)及超声波雾化装置a5(1)～a5(4)的
构造和作用与上述的雾接受器mr2及超声波雾化装置a2(1)、a2(2)相同。
168.雾分散/扩散装置d8a～d8d具有与上述的雾分散/扩散装置d5a、d5b相同的超声波振动盘d8-2a～d8-2d。需要说明的是，关于超声波振动盘d8-2a～d8-2d的构造和作用，与上述第一实施方式相同，省略说明。
169.这些超声波振动盘d8-2a～d8-2d分别配置成对从超声波雾化装置a5(1)～a5(4))沿水平且图示左右两方向放出的过氧化氢雾作用基于超声波振动的声辐射压。需要说明的是，超声波振动盘d8-2a配置成从由超声波雾化装置a5(1)向图示表面侧右方向放出的过氧化氢雾的横向作用基于超声波振动的声辐射压。并且，超声波振动盘d8-2b配置成从由超声波雾化装置a5(2)向图示表面侧左方向放出的过氧化氢雾的横向作用基于超声波振动的声辐射压。
170.另一方面，超声波振动盘d8-2c配置成从由超声波雾化装置a5(3)(在图16中处于a5(1)的背面，没有显示)向图示背面侧右方向放出的过氧化氢雾的横向作用基于超声波振动的声辐射压。并且，超声波振动盘d8-2d配置成从由超声波雾化装置a5(4)(在图16中处于a5(2)的背面，没有显示)向图示背面侧左方向放出的过氧化氢雾的横向作用基于超声波振动的声辐射压。
171.如此，在图16中，在二次雾产生装置m11的左右两方向分别背靠背地配置有四台雾分散/扩散装置d8a～d8d。因此，二次雾产生装置m11及雾分散/扩散装置d8a～d8d相比配置于净化对象室的壁面的上部中央，更优选配置于顶面壁的中央附近。由此，从二次雾产生装置m11放出的四支过氧化氢雾从净化对象室的中央向四方整个区域均匀地分散/扩散。需要说明的是，在该情况下，也通过控制装置(未图示)对超声波振动盘d8-2a～d8-2d的超声波发送器u8-2a～u8-2d的频率、输出、发送时间进行控制，并且使超声波的发送进行间歇工作或强弱工作，由此使作用于过氧化氢雾的基于声辐射压的按压变化。
172.关于使用本第四实施方式的净化系统400来对净化对象室r1进行净化的净化方法，通过将图11中说明的二次雾产生装置m8和两台一对雾分散/扩散装置d5a、d5b配置于净化对象室r4的壁面的上部中央来进行(参照图10)。需要说明的是，净化对象室r4的宽敞程度及每单位时间应放出的过氧化氢雾的量与上述第一实施方式相同，并且关于净化效果，也获得同样的良好的结果。因此，在此关于净化方法及净化结果的详细情况，省略说明。
173.《第五实施方式》
174.在本第五实施方式中，说明对于多个净化对象室而配置了本发明的净化系统的情况。图18是表示本发明的净化系统的第五实施方式的概略结构图。如图18所示，净化系统500将由宽敞程度不同的n个室(n为正整数)构成的隔离器设为净化对象室r1～rn。各净化对象室分别具有独立的空间，在室内上部具备循环风扇f1～fn、hepa过滤器h1～hn及整流板b1～bn。
175.需要说明的是，在本第五实施方式中，将由n个室构成的隔离器设为净化对象室，不过并不限于此，也可以为rabs、无菌室、通行间、通行厢等，还可以为它们的组合。并且，净化对象室的数目也可以由一室变为多室。
176.在图18中，净化系统500具有在净化对象室r1～rn的各室中共通的空气压缩机10和过氧化氢液罐20。并且，净化对象室r1～rn分别具备过氧化氢雾产生装置m1～mn 1(单独的一次雾产生装置或一次雾产生装置与二次雾产生装置的组合)和雾分散/扩散装置d1～
dn。
177.需要说明的是，在图18中，对于全部的净化对象室r1～rn，具有一台一次雾产生装置m1(不过对于各室，具有喷射器e1～en)，并且对于净化对象室r1，具有两台二次雾产生装置m2(1)、m2(2)和两台雾分散/扩散装置d1(1)、d1(2)。另一方面，净化对象室rn具有一台二次雾产生装置mn 1。这与各净化对象室的内部容积对应。
178.空气压缩机10作为用于产生压缩空气的压缩空气产生单元起作用，该压缩空气作为用于输送过氧化氢液的载气。该空气压缩机10配置于从净化对象室r1～rn远离的位置。
179.过氧化氢液罐20作为用于贮存过氧化氢液的净化液供给单元起作用，该过氧化氢液是作为净化用雾的过氧化氢雾的产生源。该过氧化氢液罐20配置于从净化对象室r1～rn远离的位置且空气压缩机10的附近。在此，过氧化氢液罐20中贮存的过氧化氢液的浓度并未特别限定，不过一般考虑到危险物等的处理而优选使用30～35重量％的过氧化氢液。并且，过氧化氢液罐20具备对内部的过氧化氢液的剩余量进行检测的称重器21和对剩余量进行控制的控制装置(未图示)。
180.一次雾产生装置m1的喷射器e1～en作为用于将过氧化氢液气液混合到压缩空气中并产生一次雾的一次雾产生单元起作用。该喷射器e1～en配置于从净化对象室r1～rn远离的位置且空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近。
181.二次雾产生装置m2～mn 1由雾接受器mr1～mrn和超声波雾化装置a1～an(均未示于图18，不过构造与上述第一实施方式相同)构成。雾接受器mr1～mrn作为接受从喷射器e1～en输送来的包含过氧化氢液的一次雾并进行气液分离的一次雾接受器起作用。并且，该雾接受器mr1～mrn将气液分离的过氧化氢液向超声波雾化装置a1～an供给，并且将气液分离的空气向外部放出。关于该雾接受器mr1～mrn的构造，也与上述第一实施方式相同。
182.在本第五实施方式的图18中，二次雾产生装置m2～mn 1配置于净化对象室r1～rn的作业区域上方(整流板b1～bn的正下方)。
183.超声波雾化装置a1～an接受从雾接受器mr1～mrn气液分离的过氧化氢液，产生细微的二次雾并向净化对象室r1～rn的内部放出。该超声波雾化装置a1～an与雾接受器mr1～mrn成为一体来构成作为二次雾产生单元起作用的二次雾产生装置m2～mn 1。需要说明的是，关于该超声波雾化装置a1～an的构造，也与上述第一实施方式相同。
184.雾分散/扩散装置d1～dn配置于二次雾产生装置m2～mn 1的下部附近。雾分散/扩散装置d1～dn具有与上述第一实施方式相同的超声波振动盘，对从超声波雾化装置a1～an沿水平放出的过氧化氢雾从放出口的下部作用基于超声波振动的声辐射压。需要说明的是，雾分散/扩散装置d1～dn的构造和作用效果与上述第一实施方式相同。
185.需要说明的是，在最宽敞的净化对象室r1中如上述那样配置了两台喷射器e1(1)、e1(2)、两台二次雾产生装置m2(1)、m2(2)及两台雾分散/扩散装置d1(1)、d1(2)。这是因为净化对象室r1的容积较大，通过从两处放出过氧化氢雾而净化效率变高。并且，根据净化对象室的宽敞程度，也可以在一室中设置更多的二次雾产生装置和雾分散/扩散装置。需要说明的是，即使是如此在一室中设置多个二次雾产生装置和雾分散/扩散装置的情况，一次雾供给配管也为小口径，在设备费用方面不成问题。
186.并且，在图18中，净化系统500具备将空气压缩机10与喷射器e1～en连通的空气供给配管al1～aln、将过氧化氢液罐20与喷射器e1～en连通的净化液供给配管ll1～lln、将
喷射器e1～en与雾接受器mr1～mrn连通的一次雾供给配管ml1～mln。
187.空气供给配管al1～aln将空气压缩机10的喷出口与喷射器e1～en的驱动流路(未图示)连通。在空气供给配管al1～aln的管路中分别设置有对压缩空气的供给进行控制的开闭阀(未图示)。在此，关于空气供给配管al1～aln的材质及管径，并未特别限定，不过与上述第一实施方式一样优选为内径1～10mm的不锈钢管。需要说明的是，虽然图18中没有示出，但是也可以在空气压缩机10与空气供给配管al1～aln之间的管路中设置空气干燥器、空气调节器、自动排水器、油雾分离器、其他的过滤器等。
188.净化液供给配管ll1～lln将过氧化氢液罐20的供给口与喷射器e1～en的吸入流路(未图示)连通。在净化液供给配管ll1～lln的管路中分别设置有对过氧化氢液的供给进行控制的管泵p1～pn。在此，关于净化液供给配管ll1～lln的材质及管径，只要能够使用于过氧化氢液即可，并未特别限定，不过与上述第一实施方式一样优选为内径1～10mm的不锈钢管。
189.一次雾供给配管ml1～mln将喷射器e1～en的喷出流路与构成超声波雾化装置a1～an的雾接受器mr1～mrn连通。一次雾供给配管ml1～mln从空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近到在净化对象室r1～rn的上壁内侧配置的二次雾产生装置m2～mn 1的位置为止配管较长的距离。在此，关于一次雾供给配管ml1～mln的材质及管径，优选能够长距离输送每单位时间所需要的量的过氧化氢雾，优选与上述第一实施方式一样为内径1～10mm的不锈钢管。
190.如此，对于净化对象室r1～rn，分别配置空气供给配管al1～aln、净化液供给配管ll1～lln和一次雾供给配管ml1～mln，由此能够针对每个净化对象室来单独地放出过氧化氢雾，能够针对各室来进行准确的净化。
191.并且，如由图18可知的那样，一次雾供给配管ml1～mln的输送距离为比空气供给配管al1～aln的输送距离或净化液供给配管ll1～lln的输送距离长的距离。基于该一次雾供给配管ml1～mln的一次雾的输送距离并未特别限定，不过通常能够输送3～100m程度。另一方面，空气供给配管al1～aln的输送距离或净化液供给配管ll1～lln的输送距离能够变短。
192.在本第五实施方式中，一次雾是压缩空气与过氧化氢液的混合气液，处于密度较高的状态，输送速度也较快，因此一次雾供给配管ml1～mln能够使用小口径的配管。因此，能够针对每个净化对象室来配置较长的距离的一次雾供给配管ml1～mln。由此，不需要大口径的管道等大规模的设备。
193.并且，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，因此不需要为了防止冷凝而对一次雾供给配管ml1～mln进行保温。因此，即使是针对每个净化对象室来配置较长的距离的配管的情况，也不需要防止冷凝的加热器等大规模的设备。
194.如此，通过使净化液供给配管ll1～lln的输送距离变短，能够准确地掌握向喷射器e1～en的过氧化氢液的供给量。由此，能够准确地掌握针对每个净化对象室而向雾接受器mr1～mrn供给的过氧化氢液的量，向该净化对象室放出的过氧化氢雾的量变得明确。另一方面，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，不会冷凝，因此能够使一次雾供给配管ml1～mln的输送距离变长并将过氧化氢液准确地输送至远处。而且，能够通过压缩空气将一次雾供给配管ml1～mln中的过氧化氢液完全输送，因此不会在配管中残留死液。
195.需要说明的是，关于使用本第五实施方式的净化系统500来对净化对象室r1～rn进行净化的净化方法，关于各净化对象室r1～rn，与上述第一实施方式中说明的内容相同，在此进行省略。
196.如以上那样，由上述各实施方式可知，在本发明中，能够提供一种净化系统，通过使向净化对象室的内部供给的过氧化氢雾进一步细微化并分散/扩散而能够利用对于净化对象室的适量的过氧化氢雾的供给来实现完美的净化效果，并且缩短通风等的作业时间来实现净化作业的效率化。
197.需要说明的是，在本发明的实施时，并不限于上述各实施方式，可列举如下那样的各种各样的变形例。
198.(1)在上述各实施方式中，作为压缩空气产生单元，采用空气压缩机，不过并不限定于此，也可以采用高压空气瓶等其他的单元。
199.(2)在上述各实施方式中，作为一次雾产生单元，采用喷射器，不过并不限定于此，也可以采用双流体喷雾嘴等的气液泵等其他的气液混合单元。
200.(3)在上述各实施方式中，在净化液供给配管的管路中采用管泵，不过并不限定于此，也可以采用其他的任何的泵或供液单元。
201.附图标记说明
202.100、200、300、400、500
…
净化系统、
203.10
…
空气压缩机、al1～aln
…
空气供给配管、
204.20
…
过氧化氢液罐、21
…
称重器、ll1～lln
…
净化液供给配管、
205.p1～pn
…
管泵、e1～en
…
喷射器、
206.ml1～mln
…
一次雾供给配管、
207.m1～mn
…
过氧化氢雾产生装置(一次雾产生装置、二次雾产生装置)、
208.mr1～mrn
…
雾接受器、mr1-2、mr2-2
…
存液处、
209.mr1-3、mr2-3
…
空气排出口、mr1-4、mr2-4
…
挡板、
210.s1、s2
…
内部空间、s1-2、s2-2
…
开口部、
211.mh1、mh2
…
过氧化氢分解过滤器、
212.a1～an
…
超声波雾化装置、a1-2、a2-2
…
多孔振动板、
213.a1-3、a2-3
…
压电振动器、
214.d1～dn、d5a、d5b、d7a～d7d、d8a～d8d
…
雾分散/扩散装置、
215.d1a、d5-2a、d5-2b、d6-2、d7-2a～d7-2d、d8-2a～d8-2d
…
超声波振动盘、
216.u1、u5a、u5b、u6、u7a～u7d、u8a～u8d
…
基盘、
217.u1a、u5-2a、u5-2b、u6-2、u7-2a～u7-2d、u8-2a～u8-2d
…
超声波发送器、
218.r1～rn
…
净化对象室、f1～fn
…
循环风扇、h1～hn
…
hepa过滤器、
219.b1～bn
…
整流板、
220.r1～r4
…
净化对象室、x1～x5
…
雾放出口。
221.需要说明的是，在一室中有两台装置的情况下，在各附图标记上标注(1)、(2)来区分使用。