非感光性树脂组合物的制作方法

技术特征：
1.一种非感光性树脂组合物，其含有：具有下述式(1)和式(2)所示的结构单元的共聚物；相对于该共聚物100质量％为5质量％～90质量％的下述式(3)所示的化合物；和溶剂，式(1)、式(2)和式(3)中，r0各自独立地表示氢原子或甲基，y表示芳香族烃基，该芳香族烃基的氢原子的一部分或全部可以被烷基、烷氧基、氰基或卤素原子取代，r1表示下述式(i)、式(ii)或式(iii)所示的2价有机基团，在r1表示下述式(i)所示的2价有机基团的情况下，所述式(i)中的羰基与上述式(2)所示的结构单元的主链结合，r2表示具有环氧基的有机基团，r3各自独立地表示烷基，式中，c表示整数0～3，d表示整数1～3，e各自独立地表示整数2～6。2.根据权利要求1所述的非感光性树脂组合物，所述式(2)所示的结构单元为下述式(2-1)或(2-2)所示的结构单元，式中，r0和r1与权利要求1所述的定义含义相同。3.根据权利要求1或2所述的非感光性树脂组合物，所述共聚物的重均分子量为1,000～100,000。4.根据权利要求1～3中任一项所述的非感光性树脂组合物，所述式(3)中，r3表示碳原子数1～4的烷基。5.根据权利要求1～4中任一项所述的非感光性树脂组合物，其进一步含有表面活性剂。6.根据权利要求5所述的非感光性树脂组合物，其不含有所述表面活性剂以外的添加剂。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的非感光性树脂组合物，其为保护膜形成用。8.根据权利要求1～6中任一项所述的非感光性树脂组合物，其为平坦化膜形成用。9.根据权利要求1～6中任一项所述的非感光性树脂组合物，其为微透镜制作用。10.一种固化膜，其是由权利要求1～6中任一项所述的非感光性树脂组合物获得的。11.一种保护膜，其是由权利要求7所述的非感光性树脂组合物制作的。12.一种平坦化膜，其是由权利要求8所述的非感光性树脂组合物制作的。13.一种微透镜，其是由权利要求9所述的非感光性树脂组合物制作的。14.一种微透镜的制作方法，其包括下述工序：将权利要求9所述的非感光性树脂组合物涂布于基材上并在80℃～200℃的温度下进行烘烤而形成固化膜的工序；在该固化膜上形成抗蚀剂图案，通过加热处理将所述抗蚀剂图案进行回流而形成透镜图案的工序；以及将该透镜图案作为掩模对所述固化膜进行回蚀而将该透镜图案的形状向该固化膜转印的工序。15.根据权利要求14所述的微透镜的制作方法，所述固化膜是通过在80℃～150℃的温度下进行烘烤以使溶剂从所述非感光性树脂组合物中蒸发，然后在160℃～200℃的温度下进行烘烤而形成的。16.根据权利要求14或15所述的微透镜的制作方法，所述基材为形成有滤色器的基板。

技术总结
本发明的课题是提供一种热固化性的非感光性树脂组合物。作为解决手段是一种非感光性树脂组合物，其含有：具有下述式(1)和式(2)所示的结构单元的共聚物、下述式(3)所示的化合物和溶剂。(式(1)、式(2)和式(3)中，R0各自独立地表示氢原子或甲基，Y表示芳香族烃基，该芳香族烃基的氢原子的一部分或全部可以被烷基、烷氧基、氰基或卤素原子取代，R1表示下述式(I)、式(II)或式(III)所示的2价有机基团，在R1表示下述式(I)所示的2价有机基团的情况下，所述式(I)中的羰基与上述式(2)所示的结构单元的主链结合，R2表示具有环氧基的有机基团，R3表示烷基。)(式中，c表示整数0～3，d表示整数1～3，e各自独立地表示整数2～6。))))


技术研发人员：安达勋
受保护的技术使用者：日产化学株式会社
技术研发日：2020.09.14
技术公布日：2022/6/7