吸附装置和具有其的光刻设备的制作方法

1.本发明涉及光刻技术领域，尤其是涉及一种吸附装置和具有其的光刻设备。


背景技术：

2.相关技术中的吸附装置包括吸盘，吸盘设有多个吸附孔，多个吸附孔构成了吸盘的吸附区域，将电路板放置于吸附区域，吸附孔处会有气体流动来吸附电路板，以对电路板定位固定，进而对电路板进行加工。
3.但是，电路板的尺寸大小不尽相同，由于吸盘的吸附区域的尺寸不能随着电路板的尺寸改变，例如，吸盘的吸附区域的尺寸大于电路板的尺寸，因此此时电路板覆盖部分吸附孔对应，另一部分吸附孔与空气正常连通，吸盘工作时空气不断流向未被覆盖的吸附孔，吸盘的内部不能稳定地维持在负压状态，导致电路板的吸附不稳定，且进气产生噪音较大、能耗高。


技术实现要素：

4.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种吸附装置，该吸附装置能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。
5.本发明实施例还提出了一种具有上述吸附装置的光刻设备。
6.为了实现上述目的，本发明的第一方面实施例提出了一种吸附装置，包括：吸盘，所述吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，所述吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个所述吸附孔贯通所述放置面，所述吸附腔通过至少一个所述吸附孔与外界空气连通，所述抽气孔贯通所述吸附腔的腔壁；至少一个分隔片，至少一个所述分隔片可转动地安装于所述吸盘且至少部分位于所述吸附腔内，所述分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，所述分隔片处于所述分隔位置时将所述吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个所述腔体与多个所述吸附孔中的部分连通，所述分隔片处于连通位置时允许两个所述腔体连通。
7.根据本发明实施例的吸附装置能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。
8.根据本发明的一些具体实施例，所述分隔片为沿第一方向间隔设置的多个，每个所述分隔片沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向相交且与所述放置面平行。
9.根据本发明的一些具体实施例，所述抽气孔位于所述吸盘的沿所述第一方向的边缘处。
10.根据本发明的一些具体实施例，所述吸盘包括：盘体，所述抽气孔、所述放置面和所述吸附腔构造于所述盘体；至少一个分隔柱，至少一个所述分隔柱安装于所述盘体且设于所述吸附腔内，所述分隔柱的宽度两侧止抵于所述吸附腔的高度两侧的腔壁，至少一个所述分隔片的一端连接于至少一个所述分隔柱且另一端连接于所述吸附腔的腔壁。
11.根据本发明的一些具体实施例，所述分隔柱为间隔设置的多个，所述分隔片为间隔设置的多个，多个所述分隔片一一对应地连接于多个所述分隔柱。
12.根据本发明的一些具体实施例，所述分隔片包括：分隔段，所述分隔段位于所述吸附腔内，所述分隔段的宽度不小于所述吸附腔的高度，所述分隔段的厚度小于所述吸附腔的高度；支撑部，所述支撑部与所述分隔段连接，所述吸附腔的腔壁设有转动孔，所述支撑部配合于所述转动孔；手柄，所述手柄连接于所述支撑部且位于所述吸附腔外。
13.根据本发明的一些具体实施例，所述吸附腔的高度两侧的腔壁的内表面设有定位槽，所述分隔片处于所述分隔位置时所述分隔段位于与所述定位槽内，所述分隔片的宽度两侧构造为与所述定位槽适配的弧形。
14.根据本发明的一些具体实施例，所述手柄包括：限位部，所述限位部设有限位孔，所述吸盘设有限位凸起，所述限位凸起伸入所述限位孔，所述分隔片处于所述连通位置时所述限位凸起止抵于所述限位孔的一端，所述分隔片处于所述分隔位置时所述限位凸起止抵于所述限位孔的另一端；握持部，所述握持部连接于所述限位部的背向所述吸盘的一侧，所述握持部的横截面积小于所述限位部的横截面积，所述限位孔环绕所述握持部。
15.根据本发明的一些具体实施例，所述吸附装置还包括：遮挡帘，所述遮挡帘可伸缩地安装于所述吸盘，所述遮挡帘在伸展状态和收缩状态之间可切换，所述遮挡帘处于所述伸展状态时遮挡与所述抽气孔连通的吸附孔中的部分，所述遮挡帘处于所述收缩状态时允许与所述抽气孔连通的吸附孔敞开。
16.根据本发明的一些具体实施例，所述遮挡帘的长度两侧设有固定齿块，所述吸盘设有多个固定齿槽，所述遮挡帘处于所述伸展状态时所述固定齿块与多个所述固定齿槽中的一个配合。
17.根据本发明的第二方面实施例提出了一种光刻设备，包括：根据本发明的第一方面实施例所述的吸附装置；抽气组件，所述抽气组件与所述吸附装置的所述抽气孔连通。
18.根据本发明的第二方面实施例的吸附装置，通过利用根据本发明的第一方面实施例所述的光刻装置，能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。
19.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
20.本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
21.图1是根据本发明实施例的吸附装置的结构示意图。
22.图2是根据本发明实施例的吸盘的结构示意图。
23.图3是根据本发明实施例分隔片的结构示意图。
24.图4是根据本发明实施例的分隔片的手柄的结构示意图。
25.图5是图1的a处的详细视图。
26.图6是图1的b处的详细视图。
27.附图标记：
28.吸附装置1、抽气组件2、
29.吸盘100、盘体101、吸附腔110、腔体111、抽气孔120、吸附孔130、放置面140、定位槽160、固定齿槽170、分隔柱180、限位凸起190、
30.分隔片200、分隔段210、支撑部220、手柄230、限位部231、限位孔232、握持部233、
31.遮挡帘300、固定齿块310、收纳部320、帘布330。
具体实施方式
32.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
33.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
34.在本发明的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。
35.在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，“若干”的含义是一个或多个。
36.下面参考附图描述根据本发明实施例的吸附装置1。
37.如图1-图6所示，本发明实施例的吸附装置1包括吸盘100和至少一个分隔片200。
38.吸盘100设有相互连通的吸附腔110、抽气孔120和多个吸附孔130，吸盘100具有用于放置电路板的放置面140，多个吸附孔130贯通放置面140，吸附腔110通过至少一个吸附孔130与外界空气连通，抽气孔120贯通吸附腔110的腔壁。至少一个分隔片200可转动地安装于吸盘100且至少部分位于吸附腔110内，至少一个分隔片200在连通位置和分隔位置之间可转动，至少一个分隔片200处于分隔位置时将吸附腔110分隔为不连通的两个腔体111，每个腔体111与多个吸附孔130中的部分连通，至少一个分隔片200处于连通位置时允许两个腔体111连通。
39.举例而言，吸附孔130的轴向可以与放置面140垂直，这样可以减小吸附孔130的长度，且吸附孔130处气流的流向与电路板垂直，因此吸附孔130处气流对电路板的吸力方向与电路板垂直，电路板和放置面140之间相对位置更加稳定。
40.其中，吸盘100可以构造为长方体，即吸盘100共有6个面，放置面140为吸盘100的厚度方向的一侧面，这样放置面140的面积较大，便于放置电路板，抽气孔120可以构造于吸盘100的任意一个侧面，通过抽气孔120可以将吸附腔110内的空气吸出。
41.根据本发明实施例的吸附装置1，通过在吸盘100设有相互连通的吸附腔110、抽气孔120和多个吸附孔130，吸盘100具有用于放置电路板的放置面140，多个吸附孔130贯通放置面140，抽气孔120贯通吸附腔110的腔壁。例如，多个吸附孔130可以在放置面140均匀间隔设置，从而吸盘100对电路板的吸附力更为均匀，吸附更为稳定，电路板放置于放置面140时可以遮盖多个吸附孔130，吸盘100由抽气孔120将吸附腔110内的空气抽出，进而吸附腔110内处于负压状态，由此多个吸附孔130可以产生吸力以将电路板吸附固定于放置面140。
42.另外，至少一个分隔片200可转动地安装于吸盘100且至少部分位于吸附腔110内，分隔片200在连通位置和分隔位置之间可转动，分隔片200处于分隔位置时将吸附腔110分隔为不连通的两个腔体111，每个腔体111与多个吸附孔130中的部分连通，需要说明的是，两个腔体111中的一个连通多个吸附孔130中的一部分且另一个连通另一部分，即两个腔体111连通的吸附孔130不相同，分隔片200处于连通位置时允许两个腔体111连通。
43.例如，分隔片200为一个时，分隔片200将吸附腔110分为两个腔体111，每个腔体111的一侧壁的至少一部分由分隔片200组成；分隔片200为多个时，最两侧的腔体111的一侧壁的至少一部分由分隔片200组成，其余腔体111的相对两侧壁由分隔片200组成，每个腔体111的体积可以相同，且每个腔体111对应吸附孔130的数量可以相同。
44.通过调整分隔片200的状态，能够调整与抽气孔120连通的腔体111的数量，与该部分腔体111连通的吸附孔130形成吸附区域，吸附区域的面积与放置于放置面140的电路板的面积相同或者相近，通过抽气孔120可以将与抽气孔120连通的腔体111内的空气抽出，与该部分腔体111连通的吸附孔130可以吸附电路板，与抽气孔120连通的腔体111为吸附腔体。此时，不与抽气孔120连通的腔体111内气体正常流通，即不与抽气孔120连通的腔体111内气体不会流向抽气孔120，不与抽气孔120连通的腔体111为非吸附腔体，能够避免与非吸附腔体连通的吸附孔130漏气，从而既保证了吸附腔体内可以稳定地处于负压状态，吸附力更为集中，使电路板吸附更加稳定，又避免与非吸附腔体连通的吸附孔130由于漏气而产生噪音，减小了噪音，降低了能耗。
45.由此，根据本发明实施例的吸附装置1能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小和能耗低等优点。
46.根据本发明的一些具体实施例，如图1所示(箭头c所指为第一方向，箭头d所指为第二方向)，分隔片200为沿第一方向间隔设置的多个，每个分隔片200沿第二方向延伸，第一方向和第二方向相交。
47.例如，第一方向与第二方向相互垂直，吸盘100为矩形时第一方向可以为吸盘100长度方向和宽度方向中的一个且第二方向为吸盘100长度方向和宽度方向中的另一个，此时第一方向和第二方向垂直，且第一方向和第二方向所形成的平面与放置面140相平行，这样分隔片200的长度可以较短。
48.设置多个分隔片200，可以将吸附腔110沿第一方向分隔成多个腔体111，通过调整不同分隔片200的状态，可以控制不同数量的腔体111与抽气孔120连通，进而调节吸附区域在第一方向上的尺寸，增加了吸附装置1的吸附区域调整的多样性。并且，在非吸附腔体内的分隔片200均调整为分隔位置，从而提高非吸附腔体的密封效果。
49.根据本发明的一些具体实施例，如图2所示，抽气孔120位于吸盘100的沿第一方向的边缘处，这样，在第一方向上抽气孔120位于吸附腔110的腔壁和分隔片200之间，即在第一方向上抽气孔120的一侧为吸附腔110的腔壁，抽气孔120的另一侧为多个分隔片200，通过调节与抽气孔120距离不同的分隔片200的状态，就可以调节吸附区域在第一方向上的尺寸，调节方便且能够快速地确定吸附区域的范围，而且吸附区域由吸盘100的沿第一方向的边缘向吸盘100的中间延伸，吸附区域的位置更易确定，也就是说，通过吸盘100的边缘的抽气孔120可以对电路板进行初步定位，便于电路板和吸附区域的位置相对应。
50.并且，在第二方向上抽气孔120位于吸附腔110的腔壁和遮挡帘300之间，即在第二
方向上抽气孔120的一侧为吸附腔110的腔壁，抽气孔120的另一侧为遮挡帘300，通过调节遮挡帘300与抽气孔120之间的距离，就可以调节吸附区域在第二方向上的尺寸，调节方便且能够快速地确定吸附区域的范围。
51.综上可知，将抽气孔120设于吸附腔110的远离遮挡帘300的边角处，能够极大地提高空间利用率，降低调节吸附区域的面积的难度，使电路板更易与吸附区域的位置相对应。
52.根据本发明的一些具体实施例，如图2所示，吸盘100包括盘体101和至少一个分隔柱180。
53.吸附腔110、抽气孔120和放置面140构造于盘体101，即多个吸附孔130构造于盘体101，至少一个分隔柱180安装于盘体101且设于吸附腔110内，分隔柱180的宽度两侧止抵于吸附腔110的厚度两侧的腔壁，至少一个分隔片200的一端连接于至少一个分隔柱180且另一端连接于吸附腔110的腔壁。
54.举例而言，分隔柱180可以沿第二方向延伸，即分隔柱180的延伸方向和分隔片200的延伸方向相同。并且，分隔柱180可以与吸盘100一体成型，分隔柱180的一端与分隔片200连接，分隔柱180的另一端与吸盘100的腔壁连接。由此，分隔片200处于分隔位置时，分隔片200的宽度方向与分隔柱180的宽度方向平行，分隔片200和分隔柱180可以一同将相邻的两个腔体111隔断，分隔片200处于连通位置时，隔件200的宽度方向与分隔柱180的宽度方向相交，相邻的两个腔体111的内气体可以在分隔片200处流通，进而实现相邻两个腔体111的连通。
55.通过设置分隔柱180，可以缩短分隔片200的长度，进而分隔片200更不易折断和损坏，且可以便于转动分隔片200，减小能耗。
56.进一步地，分隔柱180为间隔设置的多个，分隔片200为间隔设置的多个，多个分隔片200一一对应地连接于多个分隔柱180。如此，分隔效果更好，且每个分隔片200的连接稳定性高。
57.根据本发明的一些具体实施例，如图3所示，分隔片200包括分隔段210、支撑部220和手柄230。
58.分隔段210位于吸附腔110内，用于分隔吸附腔110，分隔段210的宽度不小于吸附腔110的高度，分隔段210的厚度小于吸附腔110的高度，其中，吸附腔110的高度方向即为吸附孔130的轴向。
59.分隔段210的宽度方向与吸附腔110的高度方向平行时，分隔片200可以用于隔断吸附腔110，从而将吸附腔110隔断为多个腔体111，分隔段210的厚度方向与吸附腔110的高度方向平行时，位于分隔片200的相邻两侧的腔体111可以保持连通，分隔片200结构简单，易于实现多个腔体111的连通与断开。
60.可以理解的是，即使分隔段210的厚度方向不与吸附腔110的高度方向平行，只要分隔段210的宽度方向不与吸附腔110的高度方向平行，该分隔段210两侧的腔体111就可以连通。
61.另外，支撑部220与分隔段210连接，吸附腔110的腔壁设有转动孔(图中未示意)，支撑部220配合于转动孔，其中，支撑部220的横截面积形状可以为圆形，便于支撑部220与转动孔相配合，支撑部220可以在转动孔内转动，进而将分隔片200在分隔位置和连通位置之间切换，并且，支撑部220分别设于分隔段210的两端，分隔片200与吸盘100之间的连接强
度更高，且分隔片200的转动更为平稳。
62.此外，手柄230连接于支撑部220且位于吸附腔110外，方便人手或者驱动机构(例如电机)通过手柄230控制分隔片200的转动，易于操作。其中，手柄230的横截面的外轮廓可以为非圆形或者手柄230的外周面设有防滑凸起，防止人手或者驱动机构和手柄230发生相对转动。
63.进一步地，如图2所示，吸附腔110的高度两侧的腔壁的内表面设有定位槽160，分隔片200处于分隔位置时分隔段210位于定位槽160内，分隔片200的宽度两侧构造为与定位槽160适配的弧形。
64.具体地，定位槽160在吸附腔110的高度两侧的腔壁的内表面凹陷成弧形，这样便于分隔片200与定位槽160相配合，分隔片200可以沿顺时针或逆时针任意转动，切换更加流畅。而且，通过弧面配合，可以使分隔片200对其两侧的腔体111隔断效果更好，进而保证分隔片200处于分隔位置时，相邻两个腔体111可以完全断开连通。
65.进一步地，如图4和图6所示，手柄230包括限位部231和握持部233。
66.限位部231设有限位孔232，吸盘100设有限位凸起190，限位凸起190与限位孔232配合以限制分隔片200转动，限位凸起190凸出于吸盘100的外表面，限位孔232沿限位部231的轴向贯穿限位部231，且限位孔232的横截面可以为圆弧形，圆弧的中心与手柄230的轴线相重合。
67.由此，限位凸起190可以插入限位孔232内，分隔片200处于连通位置时限位凸起190止抵于限位孔232的一端，分隔片200处于分隔位置时限位凸起190止抵于限位孔232的另一端。通过限位凸起190和限位孔232相配合，能够限制分隔片200的转动角度，方便对分隔片20的转动位置进行定位，以保证分隔片200处于隔断位置时分隔段210的宽度方向与吸附腔110的高度方向平行，进而使隔断面积最大化，提高隔断效果，分隔片200处于连通位置时分隔段210的厚度方向与吸附腔110的高度方向平行，进而使相邻两个腔体111的连通面积最大化，优化连通效果。
68.握持部233连接于限位部231的背向吸盘100的一端，便于人手或者驱动机构接触。握持部233的横截面积小于限位部231的横截面积，限位部231可以止挡于吸盘100的外表面，实现定位的作用。限位孔232环绕握持部233，其中，握持部233的横截面的外轮廓可以为非圆形或者握持部233的外周面设有防滑凸起。
69.根据本发明的一些具体实施例，如图1所示，吸附装置1还包括遮挡帘300。
70.遮挡帘300可伸缩地安装于吸盘100，遮挡帘300在伸展状态和收缩状态之间可切换，遮挡帘300处于伸展状态时遮挡与抽气孔120连通的吸附孔130中的部分，遮挡帘300处于收缩状态时允许与抽气孔120连通的吸附孔130敞开。
71.举例而言，遮挡帘300的伸缩方向与分隔片200的延伸方向平行，这样遮挡帘300可以在第二方向上调节吸附装置1的吸附区域的尺寸，分隔片200可以在第一方向上调节吸附区域的尺寸。通过遮挡帘300与分隔片200的配合，能够实现在相互垂直的两个方向上共同调节吸附区域的尺寸，可调节性更高，并且电路板一般为矩形，进而使吸附区域的形状可以与电路板的形状更为匹配。
72.由于遮挡帘300能够遮挡与抽气孔120连通的吸附孔130中的部分，这样被遮挡的吸附孔130不会出现气体流通的情况，因此会减小该部分吸附孔130因为气体流通产生的噪
音，而且可以降低能耗，并且有利于保证吸附腔体维持在负压状态，进而提高电路板和吸盘100之间的相对位置的稳定性。
73.当然，在本发明的一些实施例中，遮挡帘300的伸缩方向与分隔片200的延伸方向可以不平行，此时由遮挡帘300与分隔片200限定出的吸附区域可能为梯形或者其他非矩形的多边性，这样吸附装置1的吸附区域能够适应不同形状的电路板，扩大吸附装置1的应用场景。
74.具体地，遮挡帘300包括收纳部320和帘布330。收纳部320安装于吸盘100的外周面，例如收纳部320可以通过螺纹紧固件安装于吸盘100，帘布330与收纳部320连接，遮挡帘300处于收缩状态时帘布330收纳于收纳部320，以减小遮挡帘300的占用空间，且收纳部320能够保护帘布330不被损坏，遮挡帘300处于伸展状态时帘布330伸出收纳部320，调整帘布330覆盖吸盘100的面积，即能够调节吸附区域在第二方向上的尺寸。
75.进一步地，如图1和图5所示，遮挡帘300的长度两侧设有固定齿块310，吸盘100设有多个固定齿槽170，遮挡帘300处于伸展状态时固定齿块310与多个固定齿槽170中的一个配合。其中，遮挡帘300的长度方向于遮挡帘300的伸缩方向可以垂直。
76.举例而言，遮挡帘300的长度方向与第一方向可以平行，在第一方向上，吸盘100的每侧可以均匀且间隔设置多个齿槽170，且固定齿块310设置于帘布330的远离收纳部320的自由端(即帘布330的不与收纳部320固定的一端)。
77.由此，遮挡帘300在伸展状态时，帘布330和吸盘100的相对位置更为稳定，不会出现帘布330相对吸盘100移动的情况，保证对吸附孔130的遮挡效果。
78.根据本发明的一些具体实施例，如图2所示，抽气孔120和吸附孔130分设于吸盘100的相对两侧，例如抽气孔120和吸附孔130分设于吸盘100的厚度两侧，即放置面140形成于吸盘100的厚度方向的一侧面，抽气孔120贯通吸盘100的厚度方向的另一侧面。
79.这样，不仅可以通过抽气孔120将吸附腔110内的空气抽出，以使吸附腔110形成负压状态，进而使吸盘100和电路板的相对位置固定，且将抽气孔120和吸附孔130分设于吸盘100的相对两侧，能够避免与抽气孔120连接的抽气组件2和电路板发生干涉，便于布置，提高吸盘100的空间利用率。
80.下面参考附图描述本发明实施例的光刻设备。
81.根据本发明实施例的光刻设备包括吸附装置1和抽气组件2，抽气组件2与吸附装置1的抽气孔120连通。
82.抽气组件2可以提供吸力，进而通过抽气孔120将吸附腔110内的空气抽出，以使吸附腔110内形成负压状态，这样电路板可以被大气压压在放置面140。另外，抽气组件2还可以通过抽气孔120向吸附腔110内通入空气，从而吸附腔110内的气压和大气压相同，以消除吸盘100对电路板的吸力，便于在电路板加工完毕后将电路板从吸盘100上取下。
83.根据本发明实施例的光刻装置，通过利用本发明上述实施例的吸附装置1，能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。
84.根据本发明实施例的吸附装置1和具有其的光刻装置的其他构成以及操作对于本域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
85.在本说明书的描述中，参考术语“具体实施例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示
例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。
86.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。