电磁波传感器的制作方法

技术特征：
1.一种电磁波传感器，其特征在于，包括：基板，其对某特定波长的电磁波具有透过性；绝缘体层，其设置于所述基板的一个面侧；热敏电阻膜，其以与所述基板的一个面之间具有空间的方式配置；和配线部，其设置于所述绝缘体层的内部或表面，并且与所述热敏电阻膜电连接，在设置有所述绝缘体层的层中，与所述热敏电阻膜相对的部分的所述电磁波的透过率相对高于设置了所述配线部的部分的所述电磁波的透过率。2.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：在与所述热敏电阻膜相对的部分设置有贯通所述绝缘体层的孔部。3.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：在与所述热敏电阻膜相对的部分设置有使所述绝缘体层凹陷的凹部。4.如权利要求1～3中任一项所述的电磁波传感器，其特征在于：在与所述热敏电阻膜相对的部分设置有每单位厚度的所述电磁波的透过率比设置了所述配线部的部分的所述绝缘体层高的层。5.如权利要求1～4中任一项所述的电磁波传感器，其特征在于：在所述基板与所述绝缘体层之间设置有防反射膜。6.如权利要求1～5中任一项所述的电磁波传感器，其特征在于：所述绝缘体层具有氧化硅膜和设置在所述基板与所述氧化硅膜之间的氧化铝膜的层叠膜。7.如权利要求1～6中任一项所述的电磁波传感器，其特征在于：具有覆盖所述热敏电阻膜的至少一部分的电介质膜。8.如权利要求1～7中任一项所述的电磁波传感器，其特征在于：包括将所述热敏电阻膜与所述配线部之间电连接的连接部，所述连接部具有：以在具有所述基板的厚度方向分量的方向上延伸的方式配置的腿部；和配置于在所述基板的厚度方向上与所述热敏电阻膜不重叠的位置的臂部，所述臂部在所述连接部中位于所述热敏电阻膜与所述腿部之间，所述腿部在所述连接部中位于所述配线部与所述臂部之间，在设置了所述绝缘体层的层中，与所述臂部相对的部分的所述电磁波的透过率相对低于与所述热敏电阻膜相对的部分的所述电磁波的透过率。9.如权利要求1～8中任一项所述的电磁波传感器，其特征在于：包括与所述热敏电阻膜不同的参照用的热敏电阻膜，在设置了所述绝缘体层的层中，与所述热敏电阻膜相对的部分的所述电磁波的透过率相对高于与所述参照用的热敏电阻膜相对的部分的所述电磁波的透过率。10.一种电磁波传感器，其特征在于，包括：基板，其对某特定波长的电磁波具有透过性；绝缘体层，其设置于所述基板的一个面侧；热敏电阻膜，其以与所述基板的一个面之间具有空间的方式配置；和
配线部，其设置于所述绝缘体层的内部或表面，并且与所述热敏电阻膜电连接，在所述基板与所述热敏电阻膜之间设置有贯通所述绝缘体层的孔部或使所述绝缘体层凹陷的凹部。11.如权利要求1～10中任一项所述的电磁波传感器，其特征在于：所述热敏电阻膜以阵列状排列有多个。

技术总结
本发明提供一种提高了热敏电阻元件对电磁波的检测精度的电磁波传感器。其包括：对某特定波长的电磁波(IR)具有透过性的基板(2)；设置于基板(2)的一个面侧的绝缘体层(8)；以与基板(2)的一个面之间具有空间(G)的方式配置的热敏电阻膜(5)；和设置于绝缘体层(8)的内部或表面，并且与热敏电阻膜(5)电连接的配线部(9)，在设置有绝缘体层(8)的层(T)中，与热敏电阻膜(5)相对的部分的电磁波(IR)的透过率相对高于设置了配线部(9)的部分的电磁波(IR)的透过率。过率。过率。


技术研发人员：原晋治 太田尚城 青木进 小村英嗣 城川真生子
受保护的技术使用者：TDK株式会社
技术研发日：2021.12.01
技术公布日：2022/6/7