用于宽带辐射生成的基于空芯光子晶体光纤的光学部件的制作方法

技术特征：
1.一种光学部件，包括：空芯光子晶体光纤，包括用于引导辐射的内部毛细管和包覆所述内部毛细管的外部毛细管；以及至少一个输出端区段，在所述输出端区段的至少一部分上的内径大于沿所述空芯光子晶体光纤在所述输出端区段之前的中心部分的所述外部毛细管的内径。2.根据权利要求1所述的光学部件，其中所述输出端区段被配置为使得从所述空芯光子晶体光纤发射的发散宽带辐射在轴向传播方向上不被所述输出端区段阻挡。3.根据权利要求1或2所述的光学部件，其中所述空芯光子晶体光纤的所述内部毛细管被塌缩以在所述空芯光子晶体光纤的每个端部处限定锥形芯区域，所述锥形芯区域包括所述空芯光子晶体光纤的空芯的直径朝向所述空芯光子晶体光纤的每个端部增大的区域。4.根据权利要求1、2或3所述的光学部件，还包括：输入端区段；第一透明端帽和第二透明端帽，密封所述空芯光子晶体光纤的相应端部；以及气体介质，被密封在由所述空芯光子晶体光纤、端区段和端帽共同限定的空间内；其中所述输入端区段被包括在所述空芯光子晶体光纤的输入端部和所述第一端帽之间，并且所述输出端区段被包括在所述空芯光子晶体光纤的输出端部和所述第二端帽之间。5.根据权利要求4所述的光学部件，其中所述第一透明端帽被配置为接收用于激励所述气体介质的泵浦辐射束以用于超连续谱生成，并且所述第二透明端帽被配置为发射从所述超连续谱生成得到的输出束。6.根据前述权利要求中任一项所述的光学部件，其中所述空芯光子晶体光纤包括光纤涂层。7.根据权利要求1、2或3所述的光学部件，其中所述输出端区段向外加宽以限定从所述空芯光子晶体光纤朝向所述输出端区段的输出端部的扩张内径；以及其中：所述输出端区段至少包括所述外部毛细管的加宽的输出端部分；或所述输出端区段包括与所述空芯光子晶体光纤的端部拼接或以其他方式接合的端区段。8.一种宽带光源装置，被配置用于生成宽带输出，包括：根据前述权利要求中任一项所述的光学部件；以及安装装置，在所述端区段上的一个或多个点处夹持所述光学部件。9.一种制造根据权利要求1至7中任一项所述的光学部件的方法，包括：将所述端区段中的每个端区段拼接到所述空芯光子晶体光纤的相应端部，所述每个端区段被附接有相应的端帽；以及利用所述气体介质来填充所述光学部件。10.一种光学部件，包括：空芯光子晶体光纤；以及套管装置，包括至少一个套管，所述至少一个套管至少覆盖所述空芯光子晶体光纤的每个端部中的相应的端部分；其中：
所述空芯光子晶体光纤的内部毛细管塌缩以在所述空芯光子晶体光纤的每个端部处限定锥形芯区域，所述锥形芯区域包括所述空芯光子晶体光纤的空芯的直径具有朝向所述空芯光子晶体光纤的每个端部增大的区域；以及所述套管装置接触所述空芯光子晶体光纤的接触区域，所述接触区域相对于所述空芯光子晶体光纤的主轴全部位于或超过所述锥形芯区域。11.根据权利要求10所述的光学部件，其中所述套管装置包括覆盖所述空芯光子晶体光纤的长度的单个套管。12.根据权利要求10或11所述的光学部件，其中所述套管装置延伸超过所述空芯光子晶体光纤的每个端部。13.一种制造根据权利要求10至12中任一项所述的光学部件的方法，包括：将所述空芯光子晶体光纤引入到所述套管装置中；以及对所述套管装置进行局部加热以使所述套管装置塌缩到所述空芯光子晶体光纤上。14.一种宽带光源装置，被配置用于生成宽带输出，包括：根据权利要求10至12中任一项所述的光学部件；以及安装装置，将所述光学部件夹在所述套管装置上。15.一种量测装置，包括根据权利要求8或14所述的宽带光源装置。

技术总结
公开了光学部件及其制造方法。第一光学部件包括空芯光子晶体光纤，该空芯光子晶体光纤包括用于引导辐射的内部毛细管和包覆该内部毛细管的外部毛细管；以及至少一个输出端区段，该至少一个输出端区段在所述输出端区段的至少一部分上的内径大于沿着空芯光子晶体光纤的在输出端区段之前的中心部分的外部毛细管的内径。第二光学部件包括空芯光子晶体光纤和套管装置。和套管装置。和套管装置。


技术研发人员：P
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2020.10.19
技术公布日：2022/6/5