感测对准标记的设备和方法与流程

技术特征：
1.一种用于感测对准图案的设备，所述设备包括：传感器，在所述对准图案被扫描时，所述传感器被布置成接收由所述对准图案衍射的光且被调适以产生包括所述对准图案的至少一个静止输出图像的输出；检测器，所述检测器被调适以检测所述输出中的相位信号；相机，所述相机被调适以捕获所述输出的图像；以及光学装置，所述光学装置被布置成接收所述输出且被调适以将所述输出传送至所述检测器和所述相机。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学装置被调适以将所述输出同时传送至所述检测器和所述相机。3.根据权利要求2所述的设备，其中所述光学装置包括分束器。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学装置被调适以将所述输出交替地传送至所述检测器和所述相机。5.根据权利要求4所述的设备，其中所述光学装置包括翻转反射镜。6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备，其中所述传感器包括自参考干涉仪。7.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，还包括被布置成照射所述对准图案的空间相干辐射源，所述对准图案衍射空间相干辐射以产生由所述对准图案衍射的光。8.根据权利要求1所述的设备，还包括处理器，所述处理器被布置成从所述相机接收数据且被调适以对所述数据执行图像处理。9.根据权利要求8所述的设备，其中所述图像处理包括设置数字孔。10.根据权利要求9所述的设备，其中所述数字孔具有任意形状。11.根据权利要求9所述的设备，其中所述数字孔被调整。12.根据权利要求9所述的设备，其中所述数字孔被变迹。13.根据权利要求8所述的设备，其中所述传感器输出所述对准图案的第一静止输出图像和所述对准图案的第二静止输出图像，并且其中所述图像处理包括对所述第一静止图像与所述第二静止图像进行相加。14.根据权利要求8所述的设备，其中所述传感器输出所述对准图案的第一静止输出图像和所述对准图案的第二静止输出图像，并且其中所述图像处理包括获取所述第一静止图像与所述第二静止图像之间的差。15.根据权利要求8所述的设备，其中所述传感器输出所述对准图案的第一静止输出图像和所述对准图案的第二静止输出图像，并且其中所述图像处理包括对所述第一静止图像与所述第二静止图像进行相加以及获取所述第一静止图像与所述第二静止图像之间的差。

技术总结
一种感测对准标记的设备和方法，其中基于自参考干涉仪的传感器输出所述对准标记的静止图像，并且相机装置用以捕获如由所述传感器输出的所述图像，并且检测器用以如由所述传从感器输出的所述图像获得有关所述对准标记的相位信息。相位信息。相位信息。


技术研发人员：K
受保护的技术使用者：ASML控股股份有限公司
技术研发日：2020.09.28
技术公布日：2022/6/5