便于取料的碳化硅晶体生长炉的制作方法

1.本发明涉及晶体生长炉技术领域，具体为一种便于取料的碳化硅晶体生长炉。


背景技术：

2.晶体生长炉是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，最高温度3000度，最大功率12000瓦，最大可生长单晶长度190mm，直径2-25mm，生长速率0.02-20mm/hr，旋转速率5-60rpm，适合制备氧化物、光子晶体金属、合金、化合物与各种单晶样品，结晶后的晶棒需要通过起吊取出生长炉。
3.传统的碳化硅晶体生长炉在对结晶后的晶棒进行起吊时，难以保证旋转中晶棒的稳定性，导致晶棒晃动造成不方便取出的问题，甚至会造成对晶体的损坏。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种便于取料的碳化硅晶体生长炉，便于取料，且不会对晶体造成损坏。
5.为实现上述目的，本发明一种便于取料的碳化硅晶体生长炉，包括生长炉，所述生长炉外侧设有支撑座，所述支撑座的上表面安装有c型架，所述c型架内壁固定连接有电机二和u型板，所述u型板内壁的相对侧限位转动连接有限位轴，所述电机二的输出端贯穿u型板并与限位轴一端固定连接，所述生长炉的顶部贯通连接限位管，所述限位管的上表面贴合连接有保护管，所述保护管内设有限位盘，所述限位盘的上表面固定连接有钢缆，所述钢缆的远离限位盘的一端与限位轴固定连接，所述限位盘的下表面固定连接有固定块，所述固定块的下表面固定连接有晶棒，所述保护管的顶端贯通连接在c型架的底部。
6.进一步，所述支撑座的上表面固定连接有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有齿盘一，所述齿盘一啮合连接有齿盘二，所述齿盘二的圆心处贯通连接有转动柱，所述支撑座上表面开设有限位孔且限位孔内壁与转动柱底端限位转动连接，所述转动柱的顶端与c型架固定连接。
7.进一步，所述限位管的上表面固定连接有限位块，所述限位块形状为弧形，所述限位块靠近保护管的一侧与限位管内壁在同一个曲面上。
8.优选地，所述保护管与限位管的圆心为同一竖直线上。
9.优选地，所述限位盘的弧形轮廓上开设有卡槽，所述卡槽有四个且四个卡槽在限位盘的弧形轮廓上为环形阵列分布，四个所述卡槽的内壁上均限位转动连接有滚轮，所述滚轮的弧形轮廓与保护管内壁限位滑动连接。
10.优选地，所述c型架内壁的顶部固定连接有u型块，所述u型块底部固定连接有定滑轮，所述钢缆与定滑轮活动连接。
11.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
12.本发明通过限位管、限位块、支撑座、电机一、齿盘一、齿盘二、转动柱、c型架、电机二、限位轴、u型板、钢缆、u型块、定滑轮、限位盘、滚轮和保护管的共同配合，达到了方便人
员对生长炉内结晶后的晶棒安全取出的效果，解决了传统的碳化硅晶体生长炉在对结晶后的晶棒进行起吊时，难以保证旋转中晶棒的稳定性，导致晶棒晃动造成不方便取出的问题。
附图说明
13.图1为本发明的结构示意图；
14.图2为本发明的结构平面示意图；
15.图3为本发明中支撑座的结构示意图；
16.图4为本发明中限位盘和电机二处的结构示意图。
17.图中：1、生长炉；2、限位管；3、限位块；4、支撑座；5、电机一；6、齿盘一；7、齿盘二；8、转动柱；9、c型架；10、电机二；11、限位轴；12、u型板；13、钢缆；14、u型块；15、定滑轮；16、限位盘；17、滚轮；18、固定块；19、晶棒；20、保护管。
具体实施方式
18.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
19.请参阅图1至图4，本发明提供一种便于取料的碳化硅晶体生长炉，包括生长炉本体1，生长炉本体1外侧设有支撑座4，支撑座4的上表面安装有c型架9，c型架9内壁固定连接有电机二10和u型板12，u型板12内壁的相对侧限位转动连接有限位轴11，电机二10的输出端穿过u型板12并与限位轴11一端固定连接，生长炉本体1的顶部贯通连接限位管2，限位管2的上表面贴合连接有保护管20，保护管20内设有限位盘16，限位盘16的上表面固定连接有钢缆13，钢缆13远离限位盘16的一端与限位轴11固定连接，限位盘16的下表面固定连接有固定块18，固定块18的下表面固定连接有晶棒19，保护管20的顶端贯通连接在c型架9的底部。
20.通过电机二10的反转，达到带动限位轴11进行收卷钢缆13的效果，从而达到带动限位盘16进行垂直上升的效果，此时，晶棒19跟随限位盘16进行同步上升，最终晶棒19完全脱离生长炉本体1并进入保护管20内，达到快速取料的效果。
21.支撑座4的上表面固定连接有电机一5，电机一5的输出轴固定连接有齿盘一6，齿盘一6啮合连接有齿盘二7，齿盘二7的圆心处贯通连接有转动柱8，齿盘二7与转动柱8固定连接，支撑座4上表面开设有限位孔且限位孔内壁与转动柱8底端限位转动连接，转动柱8的顶端与c型架9固定连接。
22.通过启动电机一5，电机一5的输出轴带动齿盘一6进行转动，齿盘一6开始旋转并带动啮合连接的齿盘二7进行转动，齿盘二7的转动带动转动柱8进行转动，从而达到带动c型架9进行转动的效果，使得c型架9带动保护管20和保护管20内的晶棒19稳定的离开生长炉本体1顶部，随后控制电机二10正转，放松钢缆13，钢缆13带动晶棒19向下移动并脱离保护管20，达到方便取料的效果。
23.限位管2的上表面固定连接有限位块3，限位块3形状为弧形，限位块3靠近保护管20的一侧与限位管2内壁在同一个曲面上。换言之，限位块3靠近保护管20的一侧与限位管2
内壁向上的延伸面重合。
24.通过限位块3形状为弧形且限位块3靠近保护管20的一侧与限位管2内壁为内壁在同一个曲面的设置，方便保护管20与限位管2之间进行对准。
25.保护管20与限位管2的圆心为同一竖直线上，通过保护管20与限位管2的圆心为同一竖直线上，达到了方便晶棒19可以垂直进出保护管20和限位管2，进而便于晶棒19的取出。
26.限位盘16的弧形轮廓上开设有卡槽，卡槽设有四个，且四个卡槽在限位盘16的弧形轮廓上为环形阵列分布，四个卡槽的内壁上均限位转动连接有滚轮17，滚轮17的弧形轮廓与保护管20内壁限位滑动连接。
27.通过环形阵列分布的四个卡槽和卡槽内限位转动连接的滚轮17，达到了限位盘16在保护管20内进行限位滑动的效果，降低了限位盘16移动时的摩擦力，同时大大了提升限位盘16在保护管20内移动的稳定性，达到了避免晶棒19震动的效果。
28.c型架9内壁的顶部固定连接有u型块14，u型块14底部固定连接有定滑轮15，钢缆13与定滑轮15活动连接。
29.通过钢缆13与定滑轮15活动连接，达到降低底钢缆13拉动晶棒19时所需的力，达到省力的效果。
30.工作原理：该便于取料的碳化硅晶体生长炉在使用时，首先，通过启动电机二10，并控制电机二10的输出轴进行反转，电机二10带动限位轴11进行同步转动，达到限位轴11带动钢缆13进行收卷，此时钢缆13通过固定连接在c型架9内壁顶部的u型块14和固定连接在u型块14底部的定滑轮15，降低了底钢缆13拉动晶棒19时所需的力，达到了省力的效果，此时钢缆13另一端将与其固定连接的限位盘16向上垂直拉起，与此同时限位盘16通过环形阵列分布的四个卡槽和卡槽内限位转动连接的滚轮17，达到了限位盘16在保护管20内进行限位滑动的效果，降低了限位盘16移动时的摩擦力，同时大大提升了限位盘16在保护管20内移动的稳定性，达到了避免晶棒19震动的效果。在钢缆13的持续拉动下，限位盘16带动晶棒19完全进入保护管20内。
31.随后启动电机一5，电机一5的输出轴带动齿盘一6进行转动，齿盘一6开始旋转并带动啮合连接的齿盘二7进行转动，齿盘二7的转动带动转动柱8进行转动，从而达到带动c型架9进行转动的效果，使得c型架9带动保护管20和保护管20内的晶棒19稳定的离开生长炉本体1顶部，随后控制电机二10正转，放松钢缆13，钢缆13带动晶棒19向下移动并脱离保护管20，达到方便取料的效果。
32.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。