单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统的制作方法

1.本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统。


背景技术：

2.单晶炉籽晶提升装置是实现籽晶以极缓慢速度向上旋转提拉的执行机构，在单晶硅生长过程中起到关键性作用，是单晶硅生长炉的核心设备；把多晶硅放入石英坩埚，在单晶炉内利用加热器将硅原料熔化；然后通过提升腔上提，提升腔内钨丝绳卷绕并上提提拉头，提拉头将插入熔体表面的定晶向的籽晶慢慢向上提，晶体在籽晶下端生长，最后生产出晶柱。
3.现有技术单晶炉在对籽晶进行提升时，需要通过涡轮减速机蜗轮蜗杆带动卷丝轴旋转。一般采用安装在提升腔侧面的铝减速机，提升力仅为700-800nm，负载较小，无法有效满足使用需要，且占用横向空间较大。也有采用铸铁减速机的设计，虽然可满足使用需要，但是重量增加40-50kg，存在稳定性不易控制、支撑板受力过大等缺陷。
4.提升装置在装配时，现有技术一般将s型称重传感器设置在整体结构顶部，导致提升腔上部结构较为复杂，在设备调试安装现场进行实验测重心平衡，无法在使用中进行监测，无法及时发现生产中的问题，为此将s型称重传感器换用成圆环型称重传感器，安装位置下移，简化了提升腔上部结构，进一步紧凑该提拉结构；装配上圆环型称重传感器，然后预先对提升装置进行平衡调节，若预先调节平衡未能调节到位，直接投入生产中，将影响到晶柱提升质量，且在提升装置运转过程中，无法进行平衡条，无法及时发现生产中的问题，使得后续提升的晶柱一直处于不平衡的状态下进行，严重影响提晶质量，如何在设备使用时对籽晶提升的动态重心进行监测，方便排查不平衡的原因，甚至实现重心自平衡，是设计上述提升腔顶置铝减速机结构的重要环节。
5.如果设计将铝减速机设置在提升腔顶部，通过齿轮箱对卷丝轴进行驱动，可在不增加重量的前提下提高负载。设计时，需要保证提升绳体位于提升腔重心，因为提升机构水平转动时重心会有变化，如何对籽晶提升时的动态重心进行监测是保证其正常工作的重要环节。
6.为此，本发明提供单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统。


技术实现要素：

7.为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
8.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统，包括提升腔、从动带轮、安装板、上水平调整座和下水平调整座；所述提升腔下端固接从动带轮，从动带轮转动安装在安装板的上表面，安装板的下表面通过多个称重传感器连接上水平调整座，上水平调整座下方通过多个支撑柱连接下水平调整座，所述提升腔的上端设有十字调平衡单元；所述十字调平衡单元包括底板、一号电机、二号电
机、一号导向板、二号导向板、一号丝杆、二号丝杆和配重块；
9.所述底板安装在提升腔的上端面，底板的上表面固接一号导向板，一号导向板一端固接一号电机，一号电机的输出端固接一号丝杆，一号丝杆贯穿至一号导向板内开设的一号滑槽内，一号导向板的上端滑动连接二号导向板，二号导向板下端面中间位置固接有连接块，连接块滑动连接在一号滑槽内，一号丝杆贯穿连接连接块，且一号导向板垂直于二号导向板设置；
10.所述二号导向板的一端固接二号电机，二号电机的输出端固接二号丝杆，二号丝杆转动贯穿至二号导向板内开设的二号滑槽内，二号丝杆贯穿连接配重块，配重块滑动连接在二号滑槽内；
11.从动带轮由安装板一侧的电机通过皮带传动，使得提升腔转动，提升腔一侧设有控制箱，控制箱内设有控制器，一号电机、二号电机和称重传感器电性连接控制器，称重传感器可以采用轮辐式称重传感器，当提升腔内钨丝绳卷绕上提单晶体时，称重传感器测得该轮辐式称重传感器所被下压的重力减小，此时说明提升腔的重心偏移，将会影响到提升晶柱的直线性；控制器控制一号电机和二号电机转动，一号丝杆带动二号导向板沿一号滑槽移动，二号丝杆带动配重块沿二号滑槽移动，改变提升腔的重心，同时称重传感器实时测得数据发生至控制器内，当所有称重传感器测得数据一致时，或者在规定的误差范围内，一号电机和二号电机停止工作，处于时刻待命状态；通过十字调平衡单元与称重传感器之间的配合，称重传感器反馈信号的差异判断重心偏移位置，并由此实时监测整体提升腔下方提拉头是否处于平衡状态；根据所收集的重心偏移信号，通过提升腔上方十字调平衡单元来实现对晶棒实时找平，可使该提升机构提拉及晶棒始终处于平衡状态，可进一步提升晶棒质量，进一步完善拉晶工艺，使得晶棒产能效益最大化。
12.优选的，所述一号导向板的端部对称开设一号延伸槽，一号延伸槽内设有一号延伸板，一号延伸槽贯穿一号导向板的两侧；所述二号导向板的下板面对称设有l形杆，l形杆的一端固接于二号导向板，l形杆的另一端贯穿至一号延伸槽内，并固接一号延伸板；
13.所述二号导向板的端部对称开设二号延伸槽，二号延伸槽内设有二号延伸板，二号延伸槽贯穿至二号滑槽内；所述配重块的下端两侧贯穿至二号延伸槽内，并固接在二号延伸板上；配重块沿着二号滑槽移动时，配重块带动二号延伸板伸入或者伸出二号延伸槽，以及二号导向板通过l形杆带动一号延伸板伸入或者伸出一号延伸槽，将配重块的重力分摊在二号延伸板上，以及二号导向板、二号丝杆、配重块和二号电机的重力分摊在一号延伸板上，使得重心调节更加均匀和缓和，而不是将重力调节集中一个点上，该点为配重块的重心点以及二号导向板、二号丝杆、配重块和二号电机的重力集中点，重力调节集中一个点上，重心改变较为急促，使得提升腔摆动幅度较大，影响重心平衡调节效率，导致晶棒处于不平衡时段较长，晶棒上残次部位较大，影响产能和效益。
14.优选的，所述配重块的上端开设油槽，油槽内承装有润滑油，油槽的底部开出油孔，出油孔连通二号丝杆与配重块连接位置，并贯穿至连接块的底部；单晶炉运行环境周边环境温度较高，一号丝杆与连接块连接处，以及二号丝杆与配重块连接处的润滑油蒸发较快，且蒸发缺少润滑时，影响连接块与一号丝杆的之间，以及二号丝杆与配重块之间的传动顺畅性，这将影响重心调节平衡的效率，为此，设置油槽，将润滑油注入油槽内，润滑油沿着出油孔流动二号丝杆与配重块连接位置，以及一号丝杆与连接块连接位置，为连接位置点
补充润滑油，保证传动顺畅性，从而保证提升腔重心调节效率。
15.优选的，所述出油孔的进油位置处设有限油机构；所述限油机构包括转轴和滚轮；所述滚轮中间转动连接转轴，转轴的两端固接在出油孔的进油位置内，滚轮外圈紧密贴合出油孔的进油位置内表面，滚轮的外圈上均匀开设有多个预装槽；二号丝杆带动配重块移动，同时滚轮沿着二号导向板的上板面移动，当滚轮上预装槽转动至油槽内后，油槽内的润滑油灌入预装槽内，当承装有润滑油的预装槽转动至二号导向板的上板面过程中，预装槽内的润滑油流出，并流动至二号滑槽内，使得油槽内的润滑油间断性的流出，而不是一次性全部流出，若一次性流出，油槽内的润滑油自身有重力，一次性流出，影响配重块的整体重力，即润滑油一次性流出，对调节提升腔重心平衡造成影响较大，而油槽内的润滑油间断性的流出，其对提升腔重心平衡造成影响较小，十字调平衡单元可快速实现提升腔重心调平。
16.优选的，所述底板与一号导向板之间设有从动齿轮，从动齿轮转动连接在底板上，一号导向板固接在从动齿轮的上端面，从动齿轮外侧均匀设有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮啮合；每个主动齿轮由伺服电机驱动，伺服电机安装在底板内部，伺服电机电性连接控制器，当安装板下方的某个称重传感器测得承载重力有变化时，伺服电机通过主动齿轮驱动从动齿轮转动，从动齿轮带动十字调平衡单元转动，使得一号导向板或者二号导向板的端部正下方对应于该某个称重传感器，实现重心的精确调节，提高提升腔重心调平精确度。
17.优选的，所述一号导向板的下板面开设通孔，通孔与一号滑槽内部连通；所述从动齿轮内部均匀开设多条油道，油道的一端连通通孔，油道的另一端连通至从动齿轮的齿根部位；一号滑槽内的润滑油沿着通孔流动至油道内，接着润滑油沿着油道流动至从动齿轮与主动齿轮啮合部位，对啮合部位进行补油，减小磨损，提高从动齿轮与主动齿轮啮合时转动角度精确度，从而提高提升腔重心调平精准度。
18.优选的，所述底板的上板面开设集油槽，集油槽呈环形状，集油槽位于从动齿轮的下端面，从动齿轮的下端面开设环形槽，环形槽与集油槽直径相同，环形槽内设有滚珠，从动齿轮与底板之间通过滚珠滚动连接一起；从动齿轮上的润滑油沿着底板，流入至集油槽内，对集油槽与环形槽之间的滚珠进行润滑，对从动齿轮与底板之间的转动进行润滑，保证从动齿轮与底板之间的转动顺畅性，从而精准实现从动齿轮的转动，继而有益于提升腔重心调节精确度，提高晶柱提升生成质量。
19.优选的，所述底板为中空状，集油槽内层圈设有导槽，导槽的一槽口连通集油槽，导槽的另一槽口连通底板内部中空部；集油槽内多余的润滑油沿着导槽流入至底板的中空部内，防止多余的润滑油沿底板蔓延至提升腔内，污染到提升器内零部件的正常运转，影响晶柱的提升质量。
20.优选的，所述称重传感器上端的压头嵌入在安装板下端开设凹槽内，安装板外圈均匀开设多个缺口，缺口与凹槽相对应，缺口内螺纹连接螺杆，螺杆贯穿至凹槽内，凹槽内设有斜顶块，螺杆的端部转动连接斜顶块的竖直端面，斜顶块的斜面贴附挤压在压头上端设有的斜面上；在提升腔在未使用之前，先对其进行初步调平，即，旋转螺杆，将斜顶块推送并挤压压头，调节安装板的水平度，实现对提升腔的预先调节，保证提升腔在运转开始时，处于平衡转态在提升晶柱，提高晶柱的质量。
21.优选的，所述斜顶块的斜面上开设滚槽，滚槽内设有辊杆，辊杆转动连接在滚槽内；压头的斜面与斜顶块的斜面之间通过辊杆连接，使得两个斜面之间的相对移动更加顺
畅，减小斜面之间卡死现象，误以为提升腔以调节平衡，后期提升腔工作运转时，斜面之间产生相对移动，为提升腔调平衡造成压力。
22.本发明的有益效果如下：
23.1.将s型称重传感器换用成圆环型称重传感器，安装位置下移，简化了提升腔上部结构，进一步紧凑该提拉结构，且圆环型称重传感器可采用轮辐式称重传感器，分布多个圆环型称重传感器，实时监测晶棒质量的同时，通过传感器反馈信号差异，判断重心偏移位置，并由此实时监测该提拉头结构是否处于平衡状态
24.2.通过十字调平衡单元与称重传感器之间的配合，称重传感器反馈信号的差异判断重心偏移位置，并由此实时监测整体提升腔下方提拉头是否处于平衡状态；根据所收集的重心偏移信号，通过提升腔上方十字调平衡单元来实现对晶棒实时找平，可使该提升机构提拉及晶棒始终处于平衡状态，可进一步提升晶棒质量，进一步完善拉晶工艺，使得晶棒产能效益最大化。
25.3.通过十字调平衡单元与称重传感器之间的配合，随着拉晶次数的增加，可以实时监测到晶棒处于引晶，放肩，等径等不同工艺时段的重心位置，通过批量性的重心监测数据，可以基本固定各工艺时段的晶棒重心位置，该重心位置不仅有利于完善拉晶工艺，使得晶棒产能效益最大化；而且随着各工艺阶段重心位置的固定，未来可以考虑是否能取消自平衡调整结构，进一步简化提拉结构。
26.4.配重块沿着二号滑槽移动时，配重块带动二号延伸板伸入或者伸出二号延伸槽，以及二号导向板通过l形杆带动一号延伸板伸入或者伸出一号延伸槽，将配重块的重力分摊在二号延伸板上，以及二号导向板、二号丝杆、配重块和二号电机的重力分摊在一号延伸板上，使得重心调节更加均匀和缓和，提高重心调节精确度。
附图说明
27.下面结合附图对本发明作进一步说明。
28.图1是本发明中提升腔的立体图；
29.图2是本发明中提升腔与十字调平衡单元的配合图；
30.图3是本发明中十字调平衡单元的立体图；
31.图4是本发明中十字调平衡单元的剖视图；
32.图5是本发明中安装板与上水平调整座的配合图；
33.图6是本发明中安装板放和上水平调整座的剖视图；
34.图7是本发明中底板的俯视图；
35.图中：提升腔1、从动带轮2、安装板3、上水平调整座4、下水平调整座5、称重传感器6、支撑柱7、底板8、一号电机9、二号电机10、一号导向板11、二号导向板12、一号丝杆13、二号丝杆14、配重块15、一号滑槽16、连接块17、二号滑槽18、一号延伸槽19、一号延伸板20、l形杆21、二号延伸槽22、二号延伸板23、油槽24、出油孔25、转轴26、滚轮27、预装槽28、从动齿轮29、主动齿轮30、集油槽32、滚珠33、导槽34、凹槽35、缺口36、螺杆37、斜顶块38、压头39、辊杆40。
具体实施方式
36.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
37.实施例一：
38.参照图1-7，单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统，包括提升腔1、从动带轮2、安装板3、上水平调整座4和下水平调整座5；所述提升腔1下端固接从动带轮2，从动带轮2转动安装在安装板3的上表面，安装板3的下表面通过多个称重传感器6连接上水平调整座4，上水平调整座4下方通过多个支撑柱7连接下水平调整座5，所述提升腔1的上端设有十字调平衡单元；所述十字调平衡单元包括底板8、一号电机9、二号电机10、一号导向板11、二号导向板12、一号丝杆13、二号丝杆14和配重块15；
39.所述底板8安装在提升腔1的上端面，底板8的上表面固接一号导向板11，一号导向板11一端固接一号电机9，一号电机9的输出端固接一号丝杆13，一号丝杆13贯穿至一号导向板11内开设的一号滑槽16内，一号导向板11的上端滑动连接二号导向板12，二号导向板12下端面中间位置固接有连接块17，连接块17滑动连接在一号滑槽16内，一号丝杆13贯穿连接连接块17，且一号导向板11垂直于二号导向板12设置；
40.所述二号导向板12的一端固接二号电机10，二号电机10的输出端固接二号丝杆14，二号丝杆14转动贯穿至二号导向板12内开设的二号滑槽18内，二号丝杆14贯穿连接配重块15，配重块15滑动连接在二号滑槽18内；
41.从动带轮2由安装板3一侧的电机通过皮带传动，使得提升腔1转动，提升腔1一侧设有控制箱，控制箱内设有控制器，一号电机9、二号电机10和称重传感器6电性连接控制器，称重传感器6可以采用轮辐式称重传感器6，当提升腔1内钨丝绳卷绕上提单晶体时，称重传感器6测得该轮辐式称重传感器6所被下压的重力减小，此时说明提升腔1的重心偏移，将会影响到提升晶柱的直线性；控制器控制一号电机9和二号电机10转动，一号丝杆13带动二号导向板12沿一号滑槽16移动，二号丝杆14带动配重块15沿二号滑槽18移动，改变提升腔1的重心，同时称重传感器6实时测得数据发生至控制器内，当所有称重传感器6测得数据一致时，或者在规定的误差范围内，一号电机9和二号电机10停止工作，处于时刻待命状态；通过十字调平衡单元与称重传感器6之间的配合，称重传感器6反馈信号的差异判断重心偏移位置，并由此实时监测整体提升腔1下方提拉头是否处于平衡状态；根据所收集的重心偏移信号，通过提升腔1上方十字调平衡单元来实现对晶棒实时找平，可使该提升机构提拉及晶棒始终处于平衡状态，可进一步提升晶棒质量，进一步完善拉晶工艺，使得晶棒产能效益最大化；
42.称重传感器6测得压力数值，当一侧的称重传感器6测得数值大于其他称重传感器6测得数值时，控制器控制一号电机9或者二号电机10转动，使得动配重块15或者二号导向板12向测得数值较小的称重传感器6上方移动，当每个称重传感器6测得数值均处于正常误差范围内后，控制器控制一号电机9或者二号电机10停止转动，使得提升机构提拉及晶棒始终处于平衡状态。
43.如图3-4所示，所述一号导向板11的端部对称开设一号延伸槽19，一号延伸槽19内设有一号延伸板20，一号延伸槽19贯穿一号导向板11的两侧；所述二号导向板12的下板面对称设有l形杆21，l形杆21的一端固接于二号导向板12，l形杆21的另一端贯穿至一号延伸
槽19内，并固接一号延伸板20；
44.所述二号导向板12的端部对称开设二号延伸槽22，二号延伸槽22内设有二号延伸板23，二号延伸槽22贯穿至二号滑槽18内；所述配重块15的下端两侧贯穿至二号延伸槽22内，并固接在二号延伸板23上；配重块15沿着二号滑槽18移动时，配重块15带动二号延伸板23伸入或者伸出二号延伸槽22，以及二号导向板12通过l形杆21带动一号延伸板20伸入或者伸出一号延伸槽19，将配重块15的重力分摊在二号延伸板23上，以及二号导向板12、二号丝杆14、配重块15和二号电机10的重力分摊在一号延伸板20上，使得重心调节更加均匀和缓和，而不是将重力调节集中一个点上，该点为配重块15的重心点以及二号导向板12、二号丝杆14、配重块15和二号电机10的重力集中点，重力调节集中一个点上，重心改变较为急促，使得提升腔1摆动幅度较大，影响重心平衡调节效率，导致晶棒处于不平衡时段较长，晶棒上残次部位较大，影响产能和效益。
45.如图4所示，所述配重块15的上端开设油槽24，油槽24内承装有润滑油，油槽24的底部开出油孔25，出油孔25连通二号丝杆14与配重块15连接位置，并贯穿至连接块17的底部；单晶炉运行环境周边环境温度较高，一号丝杆13与连接块17连接处，以及二号丝杆14与配重块15连接处的润滑油蒸发较快，且蒸发缺少润滑时，影响连接块17与一号丝杆13的之间，以及二号丝杆14与配重块15之间的传动顺畅性，这将影响重心调节平衡的效率，为此，设置油槽24，将润滑油注入油槽24内，润滑油沿着出油孔25流动二号丝杆14与配重块15连接位置，以及一号丝杆13与连接块17连接位置，为连接位置点补充润滑油，保证传动顺畅性，从而保证提升腔1重心调节效率。
46.如图4所示，所述出油孔25的进油位置处设有限油机构；所述限油机构包括转轴26和滚轮27；所述滚轮27中间转动连接转轴26，转轴26的两端固接在出油孔25的进油位置内，滚轮27外圈紧密贴合出油孔25的进油位置内表面，滚轮27的外圈上均匀开设有多个预装槽28；二号丝杆14带动配重块15移动，同时滚轮27沿着二号导向板12的上板面移动，当滚轮27上预装槽28转动至油槽24内后，油槽24内的润滑油灌入预装槽28内，当承装有润滑油的预装槽28转动至二号导向板12的上板面过程中，预装槽28内的润滑油流出，并流动至二号滑槽18内，使得油槽24内的润滑油间断性的流出，而不是一次性全部流出，若一次性流出，油槽24内的润滑油自身有重力，一次性流出，影响配重块15的整体重力，即润滑油一次性流出，对调节提升腔1重心平衡造成影响较大，而油槽24内的润滑油间断性的流出，其对提升腔1重心平衡造成影响较小，十字调平衡单元可快速实现提升腔1重心调平。
47.如图2所示，所述底板8与一号导向板11之间设有从动齿轮29，从动齿轮29转动连接在底板8上，一号导向板11固接在从动齿轮29的上端面，从动齿轮29外侧均匀设有主动齿轮30，主动齿轮30与从动齿轮29啮合；每个主动齿轮30由伺服电机驱动，伺服电机安装在底板8内部，伺服电机电性连接控制器，当安装板3下方的某个称重传感器6测得承载重力有变化时，伺服电机通过主动齿轮30驱动从动齿轮29转动，从动齿轮29带动十字调平衡单元转动，使得一号导向板11或者二号导向板12的端部正下方对应于该某个称重传感器6，实现重心的精确调节，提高提升腔1重心调平精确度。
48.如图2所示，所述一号导向板11的下板面开设通孔，通孔与一号滑槽16内部连通；所述从动齿轮29内部均匀开设多条油道，油道的一端连通通孔，油道的另一端连通至从动齿轮29的齿根部位；一号滑槽16内的润滑油沿着通孔流动至油道内，接着润滑油沿着油道
流动至从动齿轮29与主动齿轮30啮合部位，对啮合部位进行补油，减小磨损，提高从动齿轮29与主动齿轮30啮合时转动角度精确度，从而提高提升腔1重心调平精准度。
49.如图7所示，所述底板8的上板面开设集油槽32，集油槽32呈环形状，集油槽32位于从动齿轮29的下端面，从动齿轮29的下端面开设环形槽，环形槽与集油槽32直径相同，环形槽内设有滚珠33，从动齿轮29与底板8之间通过滚珠33滚动连接一起；从动齿轮29上的润滑油沿着底板8，流入至集油槽32内，对集油槽32与环形槽之间的滚珠33进行润滑，对从动齿轮29与底板8之间的转动进行润滑，保证从动齿轮29与底板8之间的转动顺畅性，从而精准实现从动齿轮29的转动，继而有益于提升腔1重心调节精确度，提高晶柱提升生成质量。
50.如图7所示，所述底板8为中空状，集油槽32内层圈设有导槽34，导槽34的一槽口连通集油槽32，导槽34的另一槽口连通底板8内部中空部；集油槽32内多余的润滑油沿着导槽34流入至底板8的中空部内，防止多余的润滑油沿底板8蔓延至提升腔1内，污染到提升器内零部件的正常运转，影响晶柱的提升质量。
51.实施例二：
52.参照图5-6，对比实施例一，作为本发明的另一种实施方式，其中所述称重传感器6上端的压头39嵌入在安装板3下端开设凹槽35内，安装板3外圈均匀开设多个缺口36，缺口36与凹槽35相对应，缺口36内螺纹连接螺杆37，螺杆37贯穿至凹槽35内，凹槽35内设有斜顶块38，螺杆37的端部转动连接斜顶块38的竖直端面，斜顶块38的斜面贴附挤压在压头39上端设有的斜面上；在提升腔1在未使用之前，先对其进行初步调平，即，旋转螺杆37，将斜顶块38推送并挤压压头39，调节安装板3的水平度，实现对提升腔1的预先调节，保证提升腔1在运转开始时，处于平衡转态在提升晶柱，提高晶柱的质量。
53.所述斜顶块38的斜面上开设滚槽，滚槽内设有辊杆40，辊杆40转动连接在滚槽内；压头39的斜面与斜顶块38的斜面之间通过辊杆40连接，使得两个斜面之间的相对移动更加顺畅，减小斜面之间卡死现象，误以为提升腔1以调节平衡，后期提升腔1工作运转时，斜面之间产生相对移动，为提升腔1调平衡造成压力。
54.工作原理：从动带轮2由安装板3一侧的电机通过皮带传动，使得提升腔1转动，提升腔1一侧设有控制箱，控制箱内设有控制器，一号电机9、二号电机10和称重传感器6电性连接控制器，称重传感器6可以采用轮辐式称重传感器6，当提升腔1内钨丝绳卷绕上提单晶体时，称重传感器6测得该轮辐式称重传感器6所被下压的重力减小，此时说明提升腔1的重心偏移，将会影响到提升晶柱的直线性；控制器控制一号电机9和二号电机10转动，一号丝杆13带动二号导向板12沿一号滑槽16移动，二号丝杆14带动配重块15沿二号滑槽18移动，改变提升腔1的重心，同时称重传感器6实时测得数据发生至控制器内，当所有称重传感器6测得数据一致时，或者在规定的误差范围内，一号电机9和二号电机10停止工作，处于时刻待命状态；通过十字调平衡单元与称重传感器6之间的配合，称重传感器6反馈信号的差异判断重心偏移位置，并由此实时监测整体提升腔1下方提拉头是否处于平衡状态；根据所收集的重心偏移信号，通过提升腔1上方十字调平衡单元来实现对晶棒实时找平，可使该提升机构提拉及晶棒始终处于平衡状态，可进一步提升晶棒质量，进一步完善拉晶工艺，使得晶棒产能效益最大化；
55.配重块15沿着二号滑槽18移动时，配重块15带动二号延伸板23伸入或者伸出二号延伸槽22，以及二号导向板12通过l形杆21带动一号延伸板20伸入或者伸出一号延伸槽19，
将配重块15的重力分摊在二号延伸板23上，以及二号导向板12、二号丝杆14、配重块15和二号电机10的重力分摊在一号延伸板20上，使得重心调节更加均匀和缓和，而不是将重力调节集中一个点上，该点为配重块15的重心点以及二号导向板12、二号丝杆14、配重块15和二号电机10的重力集中点，重力调节集中一个点上，重心改变较为急促，使得提升腔1摆动幅度较大，影响重心平衡调节效率，导致晶棒处于不平衡时段较长，晶棒上残次部位较大，影响产能和效益；
56.单晶炉运行环境周边环境温度较高，一号丝杆13与连接块17连接处，以及二号丝杆14与配重块15连接处的润滑油蒸发较快，且蒸发缺少润滑时，影响连接块17与一号丝杆13的之间，以及二号丝杆14与配重块15之间的传动顺畅性，这将影响重心调节平衡的效率，为此，设置油槽24，将润滑油注入油槽24内，润滑油沿着出油孔25流动二号丝杆14与配重块15连接位置，以及一号丝杆13与连接块17连接位置，为连接位置点补充润滑油，保证传动顺畅性，从而保证提升腔1重心调节效率；
57.二号丝杆14带动配重块15移动，同时滚轮27沿着二号导向板12的上板面移动，当滚轮27上预装槽28转动至油槽24内后，油槽24内的润滑油灌入预装槽28内，当承装有润滑油的预装槽28转动至二号导向板12的上板面过程中，预装槽28内的润滑油流出，并流动至二号滑槽18内，使得油槽24内的润滑油间断性的流出，而不是一次性全部流出，若一次性流出，油槽24内的润滑油自身有重力，一次性流出，影响配重块15的整体重力，即润滑油一次性流出，对调节提升腔1重心平衡造成影响较大，而油槽24内的润滑油间断性的流出，其对提升腔1重心平衡造成影响较小，十字调平衡单元可快速实现提升腔1重心调平；
58.每个主动齿轮30由伺服电机驱动，伺服电机安装在底板8内部，伺服电机电性连接控制器，当安装板3下方的某个称重传感器6测得承载重力有变化时，伺服电机通过主动齿轮30驱动从动齿轮29转动，从动齿轮29带动十字调平衡单元转动，使得一号导向板11或者二号导向板12的端部正下方对应于该某个称重传感器6，实现重心的精确调节，提高提升腔1重心调平精确度；
59.一号滑槽16内的润滑油沿着通孔流动至油道内，接着润滑油沿着油道流动至从动齿轮29与主动齿轮30啮合部位，对啮合部位进行补油，减小磨损，提高从动齿轮29与主动齿轮30啮合时转动角度精确度，从而提高提升腔1重心调平精准度；
60.从动齿轮29上的润滑油沿着底板8，流入至集油槽32内，对集油槽32与环形槽之间的滚珠33进行润滑，对从动齿轮29与底板8之间的转动进行润滑，保证从动齿轮29与底板8之间的转动顺畅性，从而精准实现从动齿轮29的转动，继而有益于提升腔1重心调节精确度，提高晶柱提升生成质量；
61.集油槽32内多余的润滑油沿着导槽34流入至底板8的中空部内，防止多余的润滑油沿底板8蔓延至提升腔1内，污染到提升器内零部件的正常运转，影响晶柱的提升质量。
62.上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
63.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护
范围的限制。
64.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。