一种离子刻蚀微调机用挡板装置的制作方法

技术特征：
1.一种离子刻蚀微调机用挡板装置，其特征在于：该离子刻蚀微调机用挡板装置包括：挡板控制电源，用于控制高频电压输出；挡板控制数据线，用于将挡板控制电源输出电压输出给挡板安装控制电路板；挡板安装控制电路板，用于得电工作时对每路挡板产生电场，将23ar离子流停流在挡板处，并随着真空抽走排出真空室；多路挡板机构，用于隔开挡板与外界；挡板，用于停放23ar离子；挡板控制电源连接挡板控制数据线，挡板控制数据线连接挡板安装控制电路板，挡板设于多路挡板机构内腔；挡板控制电源包括：供电模块，用于供给220v交流电；第一变压整流模块，用于将220v交流电转化为直流电为第二集成控制模块供电；第二变压整流模块，用于将220v交流电转化为直流电为信号输出模块供电；第一集成控制模块，用于获得中央控制信号后输出一个pwm信号给第二集成控制模块；第二集成控制模块，用于接收到pwm信号后，输出稳定的正弦波，通过整流后得到稳定的控制电压；控制刻蚀通道通断，通道受此电场作用阻断离子通过，刻蚀停止；信号输出模块，用于接收到微电脑控制，来选择性输出电压信号给挡板控制数据线；供电模块连接第一变压整流模块、第二变压整流模块、第一集成电控制模块，第一变压整流模块连接第二集成控制模块，第一集成控制模块连接第二集成控制模块，第二集成电路控制模块连接微电脑，第二变压整流模块连接信号输出模块，微电脑连接信号输出模块。2.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板装置，其特征在于，供电模块包括接口cn1、熔断器f1、电感l1、电容c1、电容c4、电容c22、电容c23，接口cn1输入端连接220v交流电，接口cn1的第三端连接熔断器f1，接口cn1的第一端连接电容c1、电容c4、电容c23，熔断器f1的另一端连接电感l1，电感l1的另一端连接电容c1的另一端、电容c4的另一端、电容c22、第一集成控制模块，电容c22的另一端连接电容c23的另一端、第一变压整流模块、第二变压整流模块。3.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板装置，其特征在于，第一变压整流模块包括变压器t1、二极管d8、二极管d9、二极管d10、二极管d11、电阻r4，变压器t1的输入端连接供电模块，变压器t1的输出端一端连接二极管d8的正极、二极管d10的负极，变压器t1的输出端另一端连接二极管d9的正极、二极管d11的负极，二极管d10的正极接地，二极管d11的正极接地，二极管d8的负极连接二极管d9的负极、电阻r4，电阻r4的另一端连接第二集成控制模块。4.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板装置，其特征在于，第二变压整流模块包括变压器t2、二极管d12、二极管d13、二极管d14、二极管d15、电容c25、电容c26，变压器t2的输入端连接供电模块，变压器t2的输出端一端连接二极管d12的负极、二极管d13的正极，变压器t2水位输出端另一端连接二极管d15的正极、二极管d14的负极，二极管d12的正极连接二极管d14的正极、电容c25、电容c26，二极管d15的负极连接二极管d13的负极、电容c25的另一端、电容c26的另一端、电阻r24。
5.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板装置，其特征在于，第一集成控制模块包括集成电路u1，集成电路u1的1号引脚通过电阻r1o连接mos管q2的g极，mos管q2的d极连接供电模块、电阻r14，电阻r14的另一端连接电容c21、电容c21的另一端连接mos管q2的s极，集成电路u1的7号引脚通过电阻r9连接mos管q1的g极，mos管q1的d极连接供电模块，mos管q1的s极连接mos管q2的d极，集成电路u1的2号引脚连接mos管q2的s极，集成电路u1的3号引脚通过电容c19连接mos管q2的s极。6.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板装置，其特征在于，第二集成控制模块包括集成电路u2，集成电路u2的17号引脚连接集成电路u1的12号引脚，集成电路u2的13号引脚连接集成电路u1的10号引脚，集成电路u2的6号引脚连接电阻r2、光耦pc1的第二端，电阻r2的另一端连接15v电压，光耦pc1的第一端接地，光耦pc1的第三端连接15v电压，光耦pc1的第四端连接微电脑的第一端。7.根据权利要求4所述的离子刻蚀微调机用挡板装置，其特征在于，信号输出模块包括mos管q3、光耦pc2，光耦pc2的第一端通过电阻r20连接微电脑的第四端，光耦pc2的第二端接地，光耦pc2的第三端连接电阻r57、mos管q3的g极，电阻r57的另一端连接15v电压，光耦pc2的第四端连接mos管q3的s极，电阻r29，电阻r29的另一端连接电感l2，电感l2的另一端连接挡板控制数据线，微电脑的第二端通过电阻r56连接二极管d15的负极，微电脑的第三端依次通过电阻r60、电阻r59连接mos管q3的d极、二极管d12的正极。

技术总结
本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板装置，涉及离子刻蚀微调机领域，该离子刻蚀微调机用挡板装置包括：挡板控制电源，用于控制高频电压输出；挡板控制数据线，用于将挡板控制电源输出电压输出给挡板安装控制电路板；挡板安装控制电路板，用于得电工作时对每路挡板产生电场，将23Ar离子流停流在挡板处，并随着真空抽走排出真空室；多路挡板机构，用于隔开挡板与外界；挡板，用于停放23Ar离子；挡板控制电源连接挡板控制数据线，与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明与原有挡板机构相比，由开关速度从原来的10ms~30ms提高到1ms以内，原有挡板为机械结构，会产生一定的机械磨损，故障率比较高；现有电子挡板不会在产生机械磨损。械磨损。械磨损。


技术研发人员：廖占武
受保护的技术使用者：北京精恒工控科技有限公司
技术研发日：2022.02.15
技术公布日：2022/6/1