一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法与流程

1.本发明涉及掩膜版检查机，具体涉及一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法。


背景技术：

2.掩膜版是一种平板显示行业用的关键产品，也叫做mask，可以起到图形转移的作用，类似相机的底片。mask由表面纯平并带有一层铬的石英板制作而成，通过光刻、蚀刻等工艺在其表面形成设计好的图形，再通过曝光将图形转移到玻璃基板上，从而形成显示屏基板所需的电路。在掩膜版的生产过程中，由于工艺原因，如蚀刻或者有particle掉落等会产生一些缺陷，例如原本应该有的图形缺失或者出现原本不该有的图形，这些情况都会造成掩膜版质量不合格。
3.为了检查出这些不良，生产线中需要使用到一种高精度掩膜版检查机，也叫aoi(automated optical inspection)，其检查原理是根据含有设计图形的电子档文件(gds文件)，理论上gds文件和掩膜版图形是完全吻合的，aoi镜头会对掩膜版表面图形进行全面扫描，当有不吻合的地方，便会拍照提取出来，并且人工复核是否为真的缺陷。由于aoi在检查掩膜版时，需要在掩膜版表面寻找特征图形进行调光和聚焦，还需要针对核心图形区设置检查区域进行加强检查，因此需要在aoi设备中录入待检查掩膜版的坐标信息。然而，掩膜版是一种定制化产品，产线几乎不会有2块相同的掩膜版，因此在实际生产时需要对每块待检查掩膜版的检查区域单独设置坐标信息。
4.目前，掩膜版aoi基本都通过实体掩膜版进入机台内部后，依靠操作人员参考掩膜版图纸文件(gds文件)，手动移动ccd镜头目视寻找特征图形进行设置。例如，1块含有5种不同主图形的掩膜版，需要完成41个坐标的寻点设置，而手动移动ccd镜头进行寻点效率非常低，据统计，一般掩膜版进入机台内部后，需要设置超过50分钟，而且很容易误找错至相邻图形，造成检查失败，这种方式严重影响了生产效率。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术所存在的上述缺点，本发明提供了一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，能够有效克服现有技术所存在的掩膜版的寻点设置需要耗费大量时间的缺陷。
7.(二)技术方案
8.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：
9.一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，包括以下步骤：
10.s1、获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，并对图形点位中参考点的坐标信息进行处理；
11.s2、待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息；
12.s3、根据参考点的坐标信息与相应的实际点位坐标信息计算补偿值，基于补偿值
计算所有图形点位的实际点位坐标信息；
13.s4、将所有图形点位的实际点位坐标信息录入掩膜版检查机。
14.优选地，s1中获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，包括：
15.在掩膜版图形浏览软件中读取需要设置图形点位的坐标信息并导出；
16.其中，待检查掩膜版需要设置图形点位包括参考点、调光点、对焦点、水平调节点、主pattern范围定位点、db补偿点。
17.优选地，s1中对图形点位中参考点的坐标信息进行处理，包括：
18.根据实际生产中待检查掩膜版的方向，对参考点的坐标信息进行镜像或者旋转计算。
19.优选地，s2中待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，包括：
20.将待检查掩膜版放入掩膜版检查机后，利用ccd镜头寻找s1中设置的参考点。
21.优选地，s3中根据参考点的坐标信息与相应的实际点位坐标信息计算补偿值，基于补偿值计算所有图形点位的实际点位坐标信息，包括：
22.根据参考点的坐标信息(x，y)与相应的实际点位坐标信息(x’，y’)计算横坐标补偿值δx＝x'-x，纵坐标补偿值δy＝y'-y；
23.基于横坐标补偿值δx、纵坐标补偿值δy，以及各图形点位的坐标信息(xn，yn)，计算所有图形点位的实际点位坐标信息x'n＝xn δx、y'n＝yn δy。
24.优选地，s4中将所有图形点位的实际点位坐标信息录入掩膜版检查机，包括：
25.将所有图形点位的实际点位坐标信息(x'n，y'n)录入掩膜版检查机后，掩膜版检查机准确找到待检查掩膜版上的特征图形，并进行调光、聚焦、db校准等操作。
26.(三)有益效果
27.与现有技术相比，本发明所提供的一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，具有以下有益效果：
28.1)可以提前设置好待检查掩膜版的所有图形点位的实际点位坐标信息，无需等掩膜版进入设备后再依赖实际掩膜版进行寻点，每块掩膜版可以节省40分钟的设置时间；
29.2)可以根据实际生产中待检查掩膜版的方向，对参考点的坐标信息进行镜像或者旋转计算，例如当掩膜版上下颠倒进入设备，也可以方便应对不同的产线情况；
30.3)部分掩膜版由于工艺原因，需要先后使用不同的aoi进行检查，如果每台aoi都需要重新寻点设置检查文件，将会浪费大量时间，本发明可以实现一块掩膜版只需要设置1份检查坐标信息文件即可，避免了繁琐的重复操作，同时节省了大量时间，提高了生产效率。
附图说明
31.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
32.图1为本发明的流程示意图；
33.图2为本发明中待检查掩膜版的图形样式以及设置参考点的示意图。
具体实施方式
34.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
35.一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，如图1和图2所示，
①
获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，并对图形点位中参考点的坐标信息进行处理。
36.其中，获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，包括：
37.在掩膜版图形浏览软件(gds阅读器)中读取需要设置图形点位的坐标信息并导出。
38.本技术技术方案中，待检查掩膜版需要设置图形点位包括参考点、调光点、对焦点、水平调节点、主pattern范围定位点、db补偿点。如图2所示，为待检查掩膜版的图形样式，右下角的十字可以设置成参考点。
39.其中，对图形点位中参考点的坐标信息进行处理，包括：
40.根据实际生产中待检查掩膜版的方向，对参考点的坐标信息进行镜像或者旋转计算。
41.本技术技术方案中，考虑到掩膜版生产中途可能会下料再上料，上下可能会颠倒180
°
，为了避免重新设置浪费时间，可以对参考点的坐标信息进行镜像或者旋转计算。
42.②
待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息。
43.其中，待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，包括：
44.将待检查掩膜版放入掩膜版检查机后，利用ccd镜头寻找s1中设置的参考点。
45.③
根据参考点的坐标信息与相应的实际点位坐标信息计算补偿值，基于补偿值计算所有图形点位的实际点位坐标信息，具体包括：
46.根据参考点的坐标信息(x，y)与相应的实际点位坐标信息(x’，y’)计算横坐标补偿值δx＝x'-x，纵坐标补偿值δy＝y'-y；
47.基于横坐标补偿值δx、纵坐标补偿值δy，以及各图形点位的坐标信息(xn，yn)，计算所有图形点位的实际点位坐标信息x'n＝xn δx、y'n＝yn δy。
48.本技术技术方案中，由于掩膜版在进入设备后，需要进行水平调整，掩膜版将处于一个绝对水平的位置，因此通过上述计算过程得到的其他所有图形点位的实际点位坐标信息(x'n，y'n)与掩膜版上的实际点位是完全对应的。
49.④
将所有图形点位的实际点位坐标信息录入掩膜版检查机，具体包括：
50.将所有图形点位的实际点位坐标信息(x'n，y'n)录入掩膜版检查机后，掩膜版检查机准确找到待检查掩膜版上的特征图形，并进行调光、聚焦、db校准等操作。
51.如图2所示，为待检查掩膜版的图形样式，右下角的十字可以设置成参考点，在掩膜版图形浏览软件中读取该参考点的坐标信息(24.5，25.5)，再依次读取其他需要设置图形点位的坐标信息(xn，yn)；
52.根据实际生产中待检查掩膜版的方向，对参考点的坐标信息(24.5，25.5)及其它点进行镜像或者旋转计算；
53.使用aoi中的ccd镜头寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息(25.2，26.3)，计算得到横坐标补偿值δx＝0.7，纵坐标补偿值δy＝0.8；
54.计算得到其他所有图形点位的实际点位坐标信息为(xn 0.7，yn 0.8)，将所有图形点位的实际点位坐标信息录入aoi，aoi准确找到待检查掩膜版上的特征图形，并进行调光、聚焦、db校准等操作。
55.以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不会使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。