一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法与流程

技术特征：
1.一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，其特征在于：包括以下步骤：s1、获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，并对图形点位中参考点的坐标信息进行处理；s2、待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息；s3、根据参考点的坐标信息与相应的实际点位坐标信息计算补偿值，基于补偿值计算所有图形点位的实际点位坐标信息；s4、将所有图形点位的实际点位坐标信息录入掩膜版检查机。2.根据权利要求1所述的掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，其特征在于：s1中获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，包括：在掩膜版图形浏览软件中读取需要设置图形点位的坐标信息并导出；其中，待检查掩膜版需要设置图形点位包括参考点、调光点、对焦点、水平调节点、主pattern范围定位点、db补偿点。3.根据权利要求1所述的掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，其特征在于：s1中对图形点位中参考点的坐标信息进行处理，包括：根据实际生产中待检查掩膜版的方向，对参考点的坐标信息进行镜像或者旋转计算。4.根据权利要求1所述的掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，其特征在于：s2中待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，包括：将待检查掩膜版放入掩膜版检查机后，利用ccd镜头寻找s1中设置的参考点。5.根据权利要求1所述的掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，其特征在于：s3中根据参考点的坐标信息与相应的实际点位坐标信息计算补偿值，基于补偿值计算所有图形点位的实际点位坐标信息，包括：根据参考点的坐标信息(x，y)与相应的实际点位坐标信息(x’，y’)计算横坐标补偿值δx＝x'-x，纵坐标补偿值δy＝y'-y；基于横坐标补偿值δx、纵坐标补偿值δy，以及各图形点位的坐标信息(x
n
，y
n
)，计算所有图形点位的实际点位坐标信息x'
n
＝x
n
δx、y'
n
＝y
n
δy。6.根据权利要求1所述的掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，其特征在于：s4中将所有图形点位的实际点位坐标信息录入掩膜版检查机，包括：将所有图形点位的实际点位坐标信息(x'
n
，y'
n
)录入掩膜版检查机后，掩膜版检查机准确找到待检查掩膜版上的特征图形，并进行调光、聚焦、db校准操作。

技术总结
本发明涉及掩膜版检查机，具体涉及一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，并对图形点位中参考点的坐标信息进行处理；待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息；根据参考点的坐标信息与相应的实际点位坐标信息计算补偿值，基于补偿值计算所有图形点位的实际点位坐标信息；将所有图形点位的实际点位坐标信息录入掩膜版检查机；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的掩膜版的寻点设置需要耗费大量时间的缺陷。耗费大量时间的缺陷。耗费大量时间的缺陷。


技术研发人员：王亚腾 熊启龙
受保护的技术使用者：合肥清溢光电有限公司
技术研发日：2022.03.02
技术公布日：2022/6/1