一种通用型硅产品加工转台结构的制作方法

1.本发明涉及一种半导体加工技术，更具体地说，它涉及一种通用型硅产品加工转台结构。


背景技术：

2.目前，半导体行业中的刻蚀设备部件加工产量在迅猛提升，但是硅部件产品会出现品类更替频繁导致加工固定的方式难以及时调整的问题，环状、饼状硅部件加工时使用的一般转台装置的真空吸口均为定制，并没有办法适应多品类的产品。


技术实现要素：

3.为了克服上述不足，本发明提供了一种通用型硅产品加工转台结构，它能适应多种不同品类硅部件产品的加工，通用性好，有利于缩短产品切换周期，提高经济效益。
4.为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种通用型硅产品加工转台结构，包括转盘，转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽，抽真空槽内设置抽气孔，转盘中部设有通气接口，抽气孔均与通气接口连通。
5.使用时，可将硅部件产品直接放置在转盘上表面上，根据硅部件产品的尺寸规格，选择合适位置的抽真空槽与硅部件产品对应抽真空。封闭没有被硅部件产品覆盖的抽真空槽内的抽气孔。通气接口接通抽气装置对抽真空槽进行抽真空，从而将硅部件产品吸附固定在转盘上。由于转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽，因此可适用于不同大小的硅部件产品，通用性好。当遇到异性的硅部件产品时，可将与该异性硅部件产品对应的石英盘固定在转盘上，石英盘上的抽真空槽与转盘上的抽真空槽连通，将异性的硅部件产品放置在石英盘上进行真空吸附固定。同理，可适用于不同大小的石英盘，间接的可适用于不同大小的硅部件产品。这种通用型硅产品加工转台结构能适应多种不同品类硅部件产品的加工，通用性好，有利于缩短产品切换周期，提高经济效益。
6.作为优选，转盘中部紧固连接有连接盘，通气接口设置在连接盘上，连接盘内设有和通气接口连通的连通孔，转盘内设置通气孔，通气孔连通在抽气孔和通气孔之间。
7.连接盘的设置方便了抽气孔的气路连接。
8.作为优选，转盘中部设有t形孔，连接盘呈t形，连接盘适配安装在t形孔中。
9.作为优选，t形孔的大径孔和小径孔之间形成过渡面，过渡面上和通气孔对应设有下过渡孔，通气孔外端延伸到转盘外壁，通气孔内端与下过渡孔连通，通气孔外端连接密封塞；连通孔设置在连接盘大径部位，连通孔内端与通气接口连通，连通孔外端延伸到连接盘外壁，连通孔外端连接密封塞；连接盘上设有和连通孔连通的上过渡孔，上过渡孔与下过渡孔对应连通。
10.作为优选，抽真空槽呈环形结构，转盘设有若干径向间隔设置的夹具固定孔。夹具固定孔便于和石英盘夹具紧固连接。
11.另一种方案，转盘包括盘座、安装在盘座上的若干盘体，盘体周向依次布设，盘体
可径向滑动，抽真空槽设置在盘体上表面上。
12.盘体可在盘座上径向移动，当遇到不同尺寸规格以及异性的硅部件产品时，通过盘体的移动来匹配不同品类的硅部件产品，更加灵活，提高通用性。硅部件产品下表面贴合在盘体上表面后，封闭没有被硅部件产品覆盖的抽真空槽内的抽气孔，在对抽气孔进行抽真空即可实现对硅部件产品的真空吸附固定。
13.作为优选，盘座上和盘体对应设有径向设置的滑轨，盘体上和滑轨对应设有滑槽，滑槽与滑轨适配连接。盘体移动时，通过其上的滑槽在盘座的滑轨上滑动，移动平稳可靠。
14.作为优选，盘座中部紧固连接有连接盘，通气接口设置在连接盘上，滑轨内设有导流孔，连接盘内和滑轨一一对应设有若干连通孔，盘体内设置通气孔， 连通孔连通在通气接口和导流孔之间，导流孔和通气孔之间连接抽气管，抽气孔均与通气孔连通。
15.通气接口连接抽气装置后进行抽气，气流从抽真空槽依次经过抽气孔、通气管、抽气管、导流孔、连通孔、通气接口。这种结构设置方便了气道的布设。
16.作为优选，盘体均呈扇环形结构，所有盘体依次靠合在一起形成环形结构。
17.作为优选，每个盘体上均设有若干条弧形的抽真空槽。
18.与现有技术相比，本发明的有益效果是：通用型硅产品加工转台结构能适应多种不同品类硅部件产品的加工，通用性好，有利于缩短产品切换周期，提高经济效益。
附图说明
19.图1是本发明的实施例1的结构示意图；图2是本发明的实施例1的剖视图；图3是本发明的实施例1的工作状态爆炸图；图4是本发明的实施例2的俯视图；图中：1、转盘，2、抽真空槽，3、抽气孔，4、通气接口，5、夹具固定孔，6、连接盘，7、连通孔，8、通气孔，9、过渡面，10、下过渡孔，11、上过渡孔，12、硅部件产品，13、异性硅部件产品，14、石英盘，15、盘座，16、盘体，17、滑轨，18、锁止螺钉，19、抽气管。
具体实施方式
20.下面通过具体实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的具体描述：实施例1：一种通用型硅产品加工转台结构（参见附图1、附图2、附图3），包括转盘1，转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽2，抽真空槽内设置抽气孔3，转盘中部设有通气接口4，抽气孔均与通气接口连通。抽真空槽呈环形结构，转盘设有若干径向间隔设置的夹具固定孔5，夹具固定孔设有若干圈。转盘上表面为平面结构。每个抽真空槽内均布设置两个抽气孔。
21.转盘中部紧固连接有连接盘6，通气接口设置在连接盘上，连接盘内设有和通气接口连通的连通孔7，转盘内设置通气孔8，通气孔连通在抽气孔和通气孔之间。转盘中部设有t形孔，连接盘呈t形，连接盘适配安装在t形孔中。t形孔的大径孔和小径孔之间形成过渡面9，过渡面上和通气孔对应设有下过渡孔10，通气孔外端延伸到转盘外壁，通气孔内端与下过渡孔连通，通气孔外端连接密封塞；连通孔设置在连接盘大径部位，连通孔内端与通气接口连通，连通孔外端延伸到连接盘外壁，连通孔外端连接密封塞；连接盘上设有和连通孔连
通的上过渡孔11，上过渡孔与下过渡孔对应连通。
22.使用时，可将硅部件产品直接放置在转盘上表面上，根据硅部件产品的尺寸规格，选择合适位置的抽真空槽与硅部件产品对应抽真空。封闭没有被硅部件产品覆盖的抽真空槽内的抽气孔。通气接口接通抽气装置对抽真空槽进行抽真空，从而将硅部件产品12吸附固定在转盘上。由于转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽，因此可适用于不同大小的硅部件产品，通用性好。当遇到异性硅部件产品13时，可将与该异性硅部件产品对应的石英盘14固定在转盘上，石英盘上的抽真空槽与转盘上的抽真空槽连通，将异性的硅部件产品放置在石英盘上进行真空吸附固定。同理，可适用于不同大小的石英盘，间接的可适用于不同大小的硅部件产品。这种通用型硅产品加工转台结构能适应多种不同品类硅部件产品的加工，通用性好，有利于缩短产品切换周期，提高经济效益。
23.实施例2：一种通用型硅产品加工转台结构（参见附图4），其结构与实施例1相同，主要不同点在于本实施例中转盘包括盘座15、安装在盘座上的若干盘体16，盘体周向依次布设，盘体可径向滑动，抽真空槽设置在盘体上表面上。盘座上和盘体对应设有径向设置的滑轨17，盘体上和滑轨对应设有滑槽，滑槽与滑轨适配连接。盘体上安装锁止螺钉18，锁止螺钉抵接在滑轨上。盘座中部紧固连接有连接盘，通气接口设置在连接盘上，滑轨内设有导流孔，连接盘内和滑轨一一对应设有若干连通孔，盘体内设置通气孔， 连通孔连通在通气接口和导流孔之间，导流孔和通气孔之间连接抽气管19，抽气孔均与通气孔连通。盘体均呈扇环形结构，所有盘体依次靠合在一起形成环形结构。每个盘体上均设有若干条弧形的抽真空槽。
24.滑轨和滑槽的截面均呈t形结构，抽真空槽内靠近两端位置均设有一抽气孔，盘体内设置两通气孔，滑轨上的导流孔外端连接两根抽气管，两根抽气管分别与两通气孔连接。导流孔内端和连接盘上的连通孔之间连接通气管。其它结构与实施例1相同。
25.盘体可在盘座上径向移动，当遇到不同尺寸规格以及异性的硅部件产品时，通过盘体的移动来匹配不同品类的硅部件产品，更加灵活，提高通用性。相比于实施例1中的转盘结构，本实施例中的转盘结构适用于硅部件产品的种类更多。
26.以上所述的实施例只是本发明较佳的方案，并非对本发明作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。