一种通用型硅产品加工转台结构的制作方法

技术特征：
1.一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，包括转盘，转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽，抽真空槽内设置抽气孔，转盘中部设有通气接口，抽气孔均与通气接口连通。2.根据权利要求1所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，转盘中部紧固连接有连接盘，通气接口设置在连接盘上，连接盘内设有和通气接口连通的连通孔，转盘内设置通气孔，通气孔连通在抽气孔和通气孔之间。3.根据权利要求2所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，转盘中部设有t形孔，连接盘呈t形，连接盘适配安装在t形孔中。4.根据权利要求3所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，t形孔的大径孔和小径孔之间形成过渡面，过渡面上和通气孔对应设有下过渡孔，通气孔外端延伸到转盘外壁，通气孔内端与下过渡孔连通，通气孔外端连接密封塞；连通孔设置在连接盘大径部位，连通孔内端与通气接口连通，连通孔外端延伸到连接盘外壁，连通孔外端连接密封塞；连接盘上设有和连通孔连通的上过渡孔，上过渡孔与下过渡孔对应连通。5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，抽真空槽呈环形结构，转盘设有若干径向间隔设置的夹具固定孔。6.根据权利要求1所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，转盘包括盘座、安装在盘座上的若干盘体，盘体周向依次布设，盘体可径向滑动，抽真空槽设置在盘体上表面上。7.根据权利要求6所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，盘座上和盘体对应设有径向设置的滑轨，盘体上和滑轨对应设有滑槽，滑槽与滑轨适配连接。8.根据权利要求7所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，盘座中部紧固连接有连接盘，通气接口设置在连接盘上，滑轨内设有导流孔，连接盘内和滑轨一一对应设有若干连通孔，盘体内设置通气孔， 连通孔连通在通气接口和导流孔之间，导流孔和通气孔之间连接抽气管，抽气孔均与通气孔连通。9.根据权利要求6所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，盘体均呈扇环形结构，所有盘体依次靠合在一起形成环形结构。10.根据权利要求6至9任意一项所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，每个盘体上均设有若干条弧形的抽真空槽。

技术总结
本发明公开了一种通用型硅产品加工转台结构，旨在解决硅产品加工转台通用性差的不足。该发明包括转盘，转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽，抽真空槽内设置抽气孔，转盘中部设有通气接口，抽气孔均与通气接口连通。这种通用型硅产品加工转台结构能适应多种不同品类硅部件产品的加工，通用性好，有利于缩短产品切换周期，提高经济效益。提高经济效益。提高经济效益。


技术研发人员：赵佑晨 叶天爱 李长苏
受保护的技术使用者：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
技术研发日：2021.12.08
技术公布日：2022/6/1