弹性波装置的制作方法

1.本发明涉及弹性波装置。


背景技术：

2.以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，在作为仅由压电体层构成的元件基板的压电基板的一个主面上设置有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极。在元件基板的另一个主面上设置有绝缘层，在绝缘层上设置有多个外部电极。
3.在先技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：国际公开第2017/110308号


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.作为弹性波装置的外部电极，例如，可列举信号用外部电极以及接地用外部电极。在弹性波装置为滤波器装置的情况下，配置输出用以及输入用的2个以上的信号用外部电极。在此，压电基板因为介电常数高，所以压电基板的寄生电容大。因此，在专利文献1记载的弹性波装置中，在多个外部电极为信号用外部电极的情况下，容易产生经由压电基板的寄生电容的、信号用外部电极间的耦合。由此，隔离度特性有可能劣化。这样的隔离度特性的劣化在将弹性波装置小型化时，在将压电基板小型化或者薄型化的情况下，变得尤其显著。
8.本发明的目的在于，提供一种能够抑制隔离度特性的劣化的弹性波装置。
9.用于解决课题的手段
10.本发明涉及的弹性波装置具备：第1压电基板，具有彼此对置的第1主面以及第2主面；第1功能电极，设置在所述第1压电基板的所述第1主面上；第1信号电极、第2信号电极以及第1接地电极，设置在所述第1压电基板的所述第1主面上；至少1个绝缘层，设置在所述第1压电基板的所述第2主面上；第1信号端子以及第2信号端子，隔着所述绝缘层间接地设置在所述第1压电基板的所述第2主面上；和接地端子，设置在所述第1压电基板的所述第2主面上，在所述第1压电基板，构成了具有所述第1功能电极、所述第1信号电极、所述第2信号电极以及所述第1接地电极的第1弹性波滤波器，所述第1信号电极和所述第1信号端子电连接，所述第2信号电极和所述第2信号端子电连接，所述第1接地电极和所述接地端子电连接，所述接地端子具有与所述第1压电基板的所述第2主面接触的接触部。
11.发明效果
12.能够提供一种能够抑制隔离度特性的劣化的弹性波装置。
附图说明
13.图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性主视剖视图。
14.图2是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性仰视图。
15.图3是本发明的第1实施方式中的弹性波滤波器的电路图。
16.图4是示出比较例中的电连接的示意图。
17.图5是示出本发明的第1实施方式中的电连接的示意图。
18.图6是示出本发明的第1实施方式以及比较例中的第1信号端子与第2信号端子之间的隔离度的特性的图。
19.图7是本发明的第2实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
20.图8是本发明的第2实施方式涉及的弹性波装置的示意性仰视图。
21.图9是本发明的第3实施方式涉及的弹性波装置的示意性主视图。
22.图10是本发明的第3实施方式中的第3弹性波滤波器以及第4弹性波滤波器的、透视地俯视了第2压电基板的情况下的示意性俯视图。
23.图11是本发明的第3实施方式涉及的弹性波装置的示意性仰视图。
24.图12是示出本发明的第3实施方式中的第1压电基板上的电极结构的示意性俯视图。
具体实施方式
25.以下，通过参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。
26.另外，需要指出的是，本说明书记载的各实施方式为例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或者组合。
27.图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性主视剖视图。图2是第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性仰视图。另外，图1是沿着图2的i-i线的剖视图。在图1中，通过对矩形添加2条对角线的略图来示出后述的idt电极。在图1以外的附图中也是同样的。
28.如图1所示，弹性波装置1具有压电基板3。压电基板3为矩形板状。压电基板3具有彼此对置的第1主面3a以及第2主面3b。如图2所示，压电基板3具有第1侧面3c、第2侧面3d、第3侧面3e以及第4侧面3f。第1侧面3c和第3侧面3e彼此对置，第2侧面3d和第4侧面3f彼此对置。第1侧面3c、第2侧面3d、第3侧面3e以及第4侧面3f与第1主面3a以及第2主面3b连接。在本说明书中，所谓俯视，是指从图1中的上方侧观察的方向。所谓仰视，是指从图1中的下方侧观察的方向。另外，将从第1侧面3c朝向第3侧面3e的方向设为x方向，将从第2侧面3d朝向第4侧面3f的方向设为y方向，将从第2主面3b朝向第1主面3a的方向设为z方向。
29.在本实施方式中，压电基板3为铌酸锂基板。另外，压电基板3的材料不限定于上述，例如，还能够使用钽酸锂、氧化锌、氮化铝、石英、或者pzt(锆钛酸铅)等。
30.如图1所示，在压电基板3构成了弹性波滤波器2。更具体地，在压电基板3的第1主面3a上设置有多个idt电极4。在图1中，示出了多个idt电极4中的一个。另外，弹性波滤波器2、压电基板3以及多个idt电极4是本发明中的第1弹性波滤波器、第1压电基板以及多个第1功能电极。
31.进而，在第1主面3a上设置有第1信号电极5a、第2信号电极6a和第1接地电极。弹性
波滤波器2具有压电基板3、idt电极4、第1信号电极5a、第2信号电极6a以及第1接地电极。另外，第1接地电极只要设置有至少1个即可。
32.图3是第1实施方式中的弹性波滤波器的电路图。
33.弹性波滤波器2具有串联臂谐振器s1、串联臂谐振器s2、并联臂谐振器p1、纵耦合谐振器型弹性波滤波器9a以及纵耦合谐振器型弹性波滤波器9b。串联臂谐振器s1以及串联臂谐振器s2连接在第1信号电极5a与第2信号电极6a之间。纵耦合谐振器型弹性波滤波器9a以及纵耦合谐振器型弹性波滤波器9b在串联臂谐振器s1与串联臂谐振器s2之间相互并联连接。并联臂谐振器p1连接在第1信号电极5a与接地电位之间。另外，并联臂谐振器p1中的idt电极4与接地电极连接，并联臂谐振器p1经由接地电极与接地电位连接。
34.串联臂谐振器s1、串联臂谐振器s2以及并联臂谐振器p1分别为弹性波谐振器。更具体地，串联臂谐振器s1、串联臂谐振器s2以及并联臂谐振器p1分别为声表面波谐振器，具有idt电极4。纵耦合谐振器型弹性波滤波器9a以及纵耦合谐振器型弹性波滤波器9b分别具有多个idt电极4。在本说明书中，各idt电极4通过相同的附图标记来示出，但各idt电极4的设计参数也可以根据希望的特性而分别不同。在后述的其他的各idt电极中也是同样的。
35.在本实施方式中，对于弹性波滤波器2，从第1信号电极5a输入信号，从第2信号电极6a输出信号。另外，弹性波滤波器2的电路结构不限定于上述。例如，也可以是从第2信号电极6a输入信号并从第1信号电极5a输出信号的电路结构。或者，弹性波滤波器2只要具有至少1个功能电极即可。
36.如图1以及图2所示，在压电基板3的第2主面3b上设置有多个绝缘层8。在本实施方式中，绝缘层8为聚酰亚胺层。另外，绝缘层的材料不限定于上述，例如，还能够使用环氧系树脂等的树脂、氧化硅或者氮化硅等的无机绝缘体等。在本实施方式中，绝缘层的相对介电常数比压电基板3的相对介电常数小。
37.在各绝缘层8上分别设置有第1信号端子5b以及第2信号端子6b。在第1侧面3c上设置有第1连接电极5c。在第3侧面3e上设置有第2连接电极6c。第1连接电极5c与第1信号端子5b以及第1信号电极5a连接。第2连接电极6c与第2信号端子6b以及第2信号电极6a连接。
38.进而，在压电基板3的第2主面3b上直接地设置有接地端子7b。因此，接地端子7b具有与压电基板3接触的接触部7x。另外，只要接地端子7b的至少一部分与压电基板3的第2主面3b接触即可。例如，也可以在第2主面3b上隔着绝缘层8间接地设置有接地端子7b的一部分。在本实施方式中设置有多个绝缘层8，但只要设置有至少1个绝缘层8即可。只要在绝缘层8上设置有第1信号端子5b以及第2信号端子6b，且接地端子7b具有接触部7x即可。
39.在本实施方式中，在俯视下，接地端子7b的接触部7x位于第1信号端子5b与第2信号端子6b之间。另外，接触部7x电可以不一定要位于第1信号端子5b与第2信号端子6b之间。
40.如图2所示，在压电基板3的第2侧面3d上设置有第1接地连接电极7c。第1接地连接电极7c与第1接地电极以及接地端子7b连接。第1接地电极经由第1接地连接电极7c以及接地端子7b与接地电位连接。
41.在弹性波装置1中，也可以在第1信号端子5b上、第2信号端子6b上以及接地端子7b上分别设置有凸块。在弹性波装置1具有多个凸块的情况下，弹性波装置1通过多个凸块与外部电连接。不过，弹性波装置1也可以不具有凸块。
42.在本实施方式中，对于弹性波装置1，从第1信号端子5b输入信号，从第2信号端子
6b输出信号。另外，根据弹性波滤波器2的电路结构，也可以设为从第2信号端子6b输入信号并从第1信号端子5b输出信号的结构。
43.本实施方式的特征在于，第1信号端子5b以及第2信号端子6b隔着绝缘层8间接地设置在压电基板3的第2主面3b上，接地端子7b具有接触部7x。由此，能够抑制隔离度特性的劣化。以下，通过对本实施方式和比较例进行比较，从而对此进行说明。
44.比较例与第1实施方式的不同点在于，在绝缘层上设置有接地端子，接地端子不具有接触部。另外，在第1实施方式以及比较例中，绝缘层的相对介电常数比压电基板的相对介电常数小。
45.图4是示出比较例中的电连接的示意图。图5是示出第1实施方式中的电连接的示意图。
46.如图4所示，绝缘层8以及压电基板3作为电容元件而发挥功能。因此，可以说在第1信号端子5b与第2信号端子6b之间连接有作为电容元件的绝缘层8以及压电基板3。因此，从第1信号端子5b输入的信号会经由绝缘层8以及压电基板3传播到第2信号端子6b。在该情况下，隔离度特性劣化。
47.在此，接地端子107b位于第1信号端子5b与第2信号端子6b之间。若从第1信号端子5b输入的信号向接地端子107b侧传播，则可抑制该信号传播到第2信号端子6b。然而，在第1信号端子5b与第2信号端子6b之间的连接点和接地端子107b之间，除了压电基板3之外，还设置有绝缘层8。因此，在比较例中，在由压电基板3构成的电容元件串联连接有由绝缘层8构成的电容元件。因此，连接点x与接地端子107b之间的电容变小。进而，如上所述，绝缘层8的相对介电常数小，因此连接点x与接地端子107b之间的电容大幅变小。因而，难以使从第1信号端子5b传播到压电基板3的信号充分地向接地端子107b侧传播。因此，难以充分地抑制信号从第1信号端子5b传播到第2信号端子6b。
48.与之相对，如图5所示，在第1实施方式中，接地端子7b具有与压电基板3接触的接触部7x。在接地端子7b与压电基板3之间，未连接由绝缘层8构成的电容元件。因此，连接点x与接地端子7b之间的电容大于比较例。因而，能够使从第1信号端子5b传播到压电基板3的信号充分地向接地端子7b侧传播，能够抑制该信号传播到第2信号端子6b。
49.图6是示出第1实施方式以及比较例中的、第1信号端子与第2信号端子之间的隔离度特性的图。图6中的纵轴的iso的值越低，则隔离度特性越良好。
50.如图6所示，可知在第1实施方式中，iso的值变得低于比较例。因此，在第1实施方式中，能够抑制隔离度特性的劣化。
51.如图2所示，接地端子7b的接触部7x优选在俯视下位于第1信号端子5b与第2信号端子6b之间。由此，在从第1信号端子5b传播到压电基板3的信号到达第2信号端子6b之前，能够使该信号更进一步向接地端子7b侧传播。因此，能够更进一步抑制隔离度特性的劣化。
52.第1信号端子5b以及第2信号端子6b的一部分也可以与压电基板相接。不过，优选第1信号端子5b以及第2信号端子6b的全部隔着绝缘层8间接地设置在压电基板3的第2主面3b上。由此，能够改善隔离度特性。
53.图7是第2实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
54.本实施方式的弹性波装置11为双工器。弹性波装置11具有第1弹性波滤波器12a和第2弹性波滤波器12b。第1弹性波滤波器12a具有与第1实施方式的弹性波滤波器2同样的结
构。在本实施方式中，在相同的压电基板3，构成了第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b。
55.更具体地，第1弹性波滤波器12a具有压电基板3、第1信号电极5a、第2信号电极6a以及多个第1接地电极7a。进而，第1弹性波滤波器12a具有作为多个第1idt电极的多个idt电极4。第1弹性波滤波器12a的电路结构与第1实施方式中的弹性波滤波器2相同。
56.第2弹性波滤波器12b具有压电基板3、多个第2idt电极14、第3信号电极15a、第4信号电极16a以及第2接地电极17a。另外，如上所述，第2弹性波滤波器12b与第1弹性波滤波器12a共有压电基板3。多个第2idt电极14、第3信号电极15a、第4信号电极16a以及第2接地电极17a设置在压电基板3的第1主面3a上。第2idt电极14为本发明中的第2功能电极。第2idt电极14以及第2接地电极17a只要分别各设置有至少1个即可。第2弹性波滤波器12b的电路结构没有特别限定。另外，在本实施方式中，第2弹性波滤波器12b的电路结构与第1弹性波滤波器12a相同。
57.在本实施方式中，第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b共有多个第1接地电极7a中的一部分的第1接地电极7a。更具体地，例如，第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b中的各自的并联臂谐振器的第1idt电极以及第2idt电极14与相同的第1接地电极7a连接。或者，第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b中的各自的纵耦合谐振器型弹性波滤波器的第1idt电极以及第2idt电极14与相同的第1接地电极7a连接。
58.另外，在本实施方式中，第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b所共有的接地电极设为多个第1接地电极7a包含的接地电极。不过，第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b所共有的接地电极可以是第1接地电极7a，也可以是第2接地电极17a。在本实施方式以外，接地电极被多个弹性波滤波器共有的情况也是同样。或者，多个弹性波滤波器也可以不共有相同的接地电极。
59.图8是第2实施方式涉及的弹性波装置的示意性仰视图。
60.在压电基板3的第2主面3b上设置有多个绝缘层8。在绝缘层8上设置有第1信号端子5b。在压电基板3的第4侧面3f上设置有第1连接电极5c。如图7所示，第1连接电极5c到达压电基板3的第1主面3a上以及第1信号电极5a上。第1连接电极5c与第1信号端子5b以及第1信号电极5a连接。
61.同样地，如图8所示，在压电基板3的第2主面3b上，隔着各绝缘层8分别设置有第2信号端子6b、第3信号端子15b以及第4信号端子16b。在压电基板3的第4侧面3f上设置有第3连接电极15c。在第2侧面3d上设置有第2连接电极6c以及第4连接电极16c。如图7以及图8所示，第2连接电极6c与第2信号端子6b以及第2信号电极6a连接。第3连接电极15c与第3信号电极15a以及第3信号端子15b连接。第4连接电极16c与第4信号电极16a以及第4信号端子16b连接。
62.如图8所示，在压电基板3的第2主面3b上直接地设置有接地端子7b。接地端子7b具有与压电基板3接触的接触部7x。在弹性波装置11中，也与第1实施方式同样地，接地端子7b的整体为接触部7x。不过，只要接地端子7b的至少一部分与压电基板3的第2主面3b接触即可。
63.在本实施方式中，设置有多个第1接地连接电极7c。更具体地，在压电基板3的第1侧面3c上、第2侧面3d上以及第4侧面3f上，分别设置有第1接地连接电极7c。进而，在第3侧
面3e上设置有第2接地连接电极17c。第1接地连接电极7c、第2接地连接电极17c、第1连接电极5c、第2连接电极6c、第3连接电极15c以及第4连接电极16c设置为相互不接触。如图7以及图8所示，第1接地连接电极7c与第1接地电极7a以及接地端子7b连接。第2接地连接电极17c与第2接地电极17a以及接地端子7b连接。
64.像这样，在本实施方式中，第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b共有1个接地端子7b。不过，第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b也可以不一定要共有1个接地端子7b。弹性波装置11也可以分别具有连接第1弹性波滤波器12a的接地端子以及连接第2弹性波滤波器12b的接地端子。
65.在弹性波装置11中，从第1信号端子5b以及第3信号端子15b输入信号，从第2信号端子6b以及第4信号端子16b输出信号。不过，输入以及输出的方向不限定于此。
66.在本实施方式中，也是各弹性波滤波器中的第1信号端子5b、第2信号端子6b、第3信号端子15b以及第4信号端子16b隔着绝缘层8间接地设置在压电基板3的第2主面3b上。而且，接地端子7b具有接触部7x。由此，与第1实施方式同样地，能够使从第1信号端子5b传播到压电基板3的信号充分地向接地端子7b侧传播。进而，能够使从第3信号端子15b传播到压电基板3的信号也充分地向接地端子7b侧传播。因此，能够抑制上述各信号传播到其他的各信号端子。因而，能够抑制隔离度特性的劣化。
67.如图8所示，优选在俯视下，接地端子7b的接触部7x位于第1信号端子5b与第3信号端子15b之间。由此，在从第1信号端子5b传播到压电基板3的信号到达第3信号端子15b之前，能够使该信号更进一步向接地端子7b侧传播。进而，在从第3信号端子15b传播到压电基板3的信号到达第1信号端子5b之前，能够使该信号更进一步向接地端子7b侧传播。因此，能够更进一步有效地抑制第1弹性波滤波器12a与第2弹性波滤波器12b之间的隔离度特性的劣化。
68.图9是第3实施方式涉及的弹性波装置的示意性主视图。
69.本实施方式的弹性波装置21为多工器。弹性波装置21具有第1弹性波滤波器12a、第2弹性波滤波器12b、第3弹性波滤波器22c和第4弹性波滤波器32d。弹性波装置21中的第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b涉及的部分与第2实施方式同样地构成。
70.弹性波装置21具有第1压电基板23a以及第2压电基板23b。第1压电基板23a与第2实施方式的压电基板3同样地构成。关于第1压电基板23a，沿用第2实施方式中的压电基板3的各部分的附图标记来示出。第2压电基板23b也与第1压电基板23a同样地为矩形板状。第2压电基板23b具有彼此对置的第3主面23a以及第4主面23b。
71.第2压电基板23b具有第5侧面23c、第6侧面23d、第7侧面23e以及第8侧面23f。第5侧面23c、第6侧面23d、第7侧面23e以及第8侧面23f与第3主面23a以及第4主面23b连接。
72.第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b构成在第1压电基板23a。第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d构成在第2压电基板23b。在本实施方式中，构成在第1压电基板23a的各弹性波滤波器和构成在第2压电基板23b的各弹性波滤波器被设为堆状。更具体地，弹性波装置21具有多个凸块28。第1压电基板23a和第2压电基板23b通过多个凸块28接合，使得第1压电基板23a的第1主面3a和第2压电基板23b的第3主面23a隔着间隙彼此对置。
73.在俯视下，第1弹性波滤波器12a和第3弹性波滤波器22c的至少一部分彼此重叠。
同样地，在俯视下，第2弹性波滤波器12b和第4弹性波滤波器32d的至少一部分彼此重叠。由此，能够使弹性波装置21变得小型。不过，俯视下的第1弹性波滤波器12a、第2弹性波滤波器12b、第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d的位置关系不限定于上述。或者，也可以在相同的压电基板构成有第1弹性波滤波器12a、第2弹性波滤波器12b、第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d。
74.在本实施方式中，弹性波装置21中的弹性波滤波器的个数为4个，但不限定于此。作为多工器的弹性波装置21只要具有3个以上的弹性波滤波器即可。
75.以下，对第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d的具体的结构进行说明。
76.图10是第3实施方式中的第3弹性波滤波器以及第4弹性波滤波器的、透视地俯视了第2压电基板的情况下的示意性俯视图。
77.如图10所示，第3弹性波滤波器22c具有第2压电基板23b、多个第3idt电极24、第5信号电极25a、第6信号电极26a以及第3接地电极27a。多个第3idt电极24、第5信号电极25a、第6信号电极26a以及第3接地电极27a设置在第2压电基板23b的第3主面23a上。第3idt电极24为本发明中的第3功能电极。第3idt电极24以及第3接地电极27a只要分别各设置有至少1个即可。
78.第4弹性波滤波器32d具有第2压电基板23b、多个第4idt电极34、第7信号电极35a、第8信号电极36a以及第4接地电极37a。多个第4idt电极34、第7信号电极35a、第8信号电极36a以及第4接地电极37a设置在第2压电基板23b的第3主面23a上。另外，第4idt电极34只要设置有至少1个即可。第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d共有第2压电基板23b。进而，第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d共有第3接地电极27a以及第4接地电极37a。
79.在本实施方式中，第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d的电路结构与第1弹性波滤波器12a相同。不过，第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d的电路结构不限定于上述。
80.如图10所示，在第5信号电极25a上、第6信号电极26a上、第7信号电极35a上、第8信号电极36a上、第3接地电极27a上以及第4接地电极37a上，分别设置有凸块28。如图9所示，这些凸块28将第1压电基板23a和第2压电基板23b接合。
81.在本实施方式中，将第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d与外部电连接的各信号端子设置在第1压电基板23a的第2主面3b上。以下，对各信号端子和上述各信号电极的连接方式具体地进行说明。
82.图11是第3实施方式涉及的弹性波装置的示意性仰视图。图12是示出第3实施方式中的第1压电基板上的电极结构的示意性俯视图。
83.如图11所示，在本实施方式中，在第1压电基板23a的第2主面3b上的各角部附近设置有多个绝缘层8。在各绝缘层8上，分别设置有第5信号端子25b、第6信号端子26b、第7信号端子35b以及第8信号端子36b。而且，与第2实施方式同样地，在第2主面3b上隔着其他的各绝缘层8设置有第1信号端子5b、第2信号端子6b、第3信号端子15b以及第4信号端子16b。不过，各信号端子的位置关系不限定于上述。
84.在第1压电基板23a的第1侧面3c上设置有第5连接电极25c以及第6连接电极26c。在第3侧面3e上设置有第7连接电极35c以及第8连接电极36c。另外，在本实施方式中，第1接
地连接电极7c位于第5连接电极25c与第6连接电极26c之间。第2接地连接电极17c位于第7连接电极35c与第8连接电极36c之间。
85.另一方面，如图12所示，在本实施方式中，在第1压电基板23a的第1主面3a上的各角部附近，设置有第1焊盘电极25d、第2焊盘电极26d、第3焊盘电极35d以及第4焊盘电极36d。上述第5连接电极25c与第1焊盘电极25d以及第5信号端子25b连接。第6连接电极26c与第2焊盘电极26d以及第6信号端子26b连接。第7连接电极35c与第3焊盘电极35d以及第7信号端子35b连接。第8连接电极36c与第4焊盘电极36d以及第8信号端子36b连接。
86.如图9所示，第2焊盘电极26d和第6信号电极26a通过凸块28接合。第4焊盘电极36d和第8信号电极36a通过凸块28接合。同样地，第1焊盘电极25d和第5信号电极25a通过凸块28接合，第3焊盘电极35d和第7信号电极35a通过凸块28接合。进而，第3接地电极27a以及第4接地电极37a也分别通过凸块28与第1接地电极7a接合。由此，第1压电基板23a和第2压电基板23b接合。
87.如上所述，第5信号电极25a经由凸块28、第1焊盘电极25d以及第5连接电极25c与第5信号端子25b电连接。第6信号电极26a经由凸块28、第2焊盘电极26d以及第6连接电极26c与第6信号端子26b电连接。第7信号电极35a经由凸块28、第3焊盘电极35d以及第7连接电极35c与第7信号端子35b电连接。第8信号电极36a经由凸块28、第4焊盘电极36d以及第8连接电极36c与第8信号电极36a电连接。进而，第3接地电极27a以及第4接地电极37a分别经由凸块28、第1接地电极7a以及第1接地连接电极7c与接地端子7b电连接。
88.在本实施方式中，全部的弹性波滤波器共有接地端子7b。不过，第1弹性波滤波器12a、第2弹性波滤波器12b、第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d也可以不一定要共有1个接地端子7b。
89.如图9所示，在第2信号端子6b上、第4信号端子16b上、第6信号端子26b上、第8信号端子36b上以及接地端子7b上，分别设置有凸块38。同样地，在第1信号端子5b上、第3信号端子15b上、第5信号端子25b上以及第7信号端子35b上，也分别设置有凸块38。弹性波装置21通过上述多个凸块38安装于外部的安装基板等，与外部电连接。
90.在弹性波装置21中，从第1信号端子5b、第3信号端子15b、第5信号端子25b以及第7信号端子35b输入信号。另一方面，从第2信号端子6b、第4信号端子16b、第6信号端子26b以及第8信号端子36b输出信号。不过，输入以及输出的方向不限定于此。
91.如图11所示，在本实施方式中，也是各弹性波滤波器中的第1信号端子5b、第2信号端子6b、第3信号端子15b以及第4信号端子16b隔着绝缘层8间接地设置在第1压电基板23a的第2主面3b上。进而，其他的各弹性波滤波器中的第5信号端子25b、第6信号端子26b、第7信号端子35b以及第8信号端子36b隔着绝缘层8间接地设置在第1压电基板23a的第2主面3b上。而且，接地端子7b具有接触部7x。由此，与第2实施方式同样地，能够使从第1信号端子5b传播到第1压电基板23a的信号以及从第3信号端子15b传播到第1压电基板23a的信号充分地向接地端子7b侧传播。进而，能够使从第5信号端子25b传播到第1压电基板23a的信号以及从第7信号端子35b传播到第1压电基板23a的信号也充分地向接地端子7b侧传播。因此，能够抑制上述各信号传播到其他的各信号端子。因而，能够抑制隔离度特性的劣化。
92.在俯视下，优选接地端子7b的接触部7x位于第1信号端子5b与第5信号端子25b之间。由此，在从第1信号端子5b传播到第1压电基板23a的信号到达第5信号端子25b之前，能
够使该信号更进一步向接地端子7b侧传播。进而，在从第5信号端子25b传播到第1压电基板23a的信号到达第1信号端子5b之前，能够使该信号更进一步向接地端子7b侧传播。因此，能够更进一步有效地抑制第1弹性波滤波器12a与第3弹性波滤波器22c之间的隔离度特性的劣化。
93.同样地，优选接地端子7b的接触部7x位于第1信号端子5b与第3信号端子15b之间以及第1信号端子5b与第7信号端子35b之间。由此，能够更进一步有效地抑制第1弹性波滤波器12a与第2弹性波滤波器12b之间的隔离度特性以及第1弹性波滤波器12a与第4弹性波滤波器32d之间的隔离度特性的劣化。
94.另外，在第1压电基板23a的第1主面3a上，设置有第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b的各信号电极。另一方面，在第2主面3b上，除了第1弹性波滤波器12a以及第2弹性波滤波器12b的各信号端子之外，还设置有第3弹性波滤波器22c以及第4弹性波滤波器32d的各信号端子。由此，能够将构成在第1压电基板23a的各弹性波滤波器和构成在第2压电基板23b的各弹性波滤波器适宜地设为堆状。因此，能够使弹性波装置21变得小型。
95.如上所述，设置在第2主面3b的信号端子的个数比设置在第1主面3a的信号电极的个数多，因此接地端子7b的面积容易变小。在此，在本实施方式中，接地端子7b具有与第1压电基板23a接触的接触部7x。因此，即使接地端子7b的面积变小，也能够有效地抑制所输入的各信号传播到其他的各信号端子。因而，能够使弹性波装置21变得小型，且能够抑制隔离度特性的劣化。
96.附图标记说明
[0097]1…
弹性波装置；
[0098]2…
弹性波滤波器；
[0099]3…
压电基板；
[0100]
3a、3b
…
第1、第2主面；
[0101]
3c～3f
…
第1～第4侧面；
[0102]4…
idt电极；
[0103]
5a
…
第1信号电极；
[0104]
5b
…
第1信号端子；
[0105]
5c
…
第1连接电极；
[0106]
6a
…
第2信号电极；
[0107]
6b
…
第2信号端子；
[0108]
6c
…
第2连接电极；
[0109]
7a
…
第1接地电极；
[0110]
7b
…
接地端子；
[0111]
7c
…
第1接地连接电极；
[0112]
7x
…
接触部；
[0113]8…
绝缘层；
[0114]
9a、9b
…
纵耦合谐振器型弹性波滤波器；
[0115]
11
…
弹性波装置；
[0116]
12a、12b
…
第1、第2弹性波滤波器；
[0117]
14
…
第2idt电极；
[0118]
15a
…
第3信号电极；
[0119]
15b
…
第3信号端子；
[0120]
15c
…
第3连接电极；
[0121]
16a
…
第4信号电极；
[0122]
16b
…
第4信号端子；
[0123]
16c
…
第4连接电极；
[0124]
17a
…
第2接地电极；
[0125]
17c
…
第2接地连接电极；
[0126]
21
…
弹性波装置；
[0127]
22c
…
第3弹性波滤波器；
[0128]
23a、23b
…
第1、第2压电基板；
[0129]
23a、23b
…
第3、第4主面；
[0130]
23c～23f
…
第5～第8侧面；
[0131]
24
…
第3idt电极；
[0132]
25a
…
第5信号电极；
[0133]
25b
…
第5信号端子；
[0134]
25c
…
第5连接电极；
[0135]
25d
…
第1焊盘电极；
[0136]
26a
…
第6信号电极；
[0137]
26b
…
第6信号端子；
[0138]
26c
…
第6连接电极；
[0139]
26d
…
第2焊盘电极；
[0140]
27a
…
第3接地电极；
[0141]
28
…
凸块；
[0142]
32d
…
第4弹性波滤波器；
[0143]
34
…
第4idt电极；
[0144]
35a
…
第7信号电极；
[0145]
35b
…
第7信号端子；
[0146]
35c
…
第7连接电极；
[0147]
35d
…
第3焊盘电极；
[0148]
36a
…
第8信号电极；
[0149]
36b
…
第8信号端子；
[0150]
36c
…
第8连接电极；
[0151]
36d
…
第4焊盘电极；
[0152]
37a
…
第4接地电极；
[0153]
38
…
凸块；
[0154]
107b
…
接地端子；
[0155]
p1
…
并联臂谐振器；
[0156]
s1、s2
…
串联臂谐振器；
[0157]
x
…
连接点。