一种基板烘烤装置的制作方法

1.本发明涉及显示面制程工艺技术领域，具体而言，尤其涉及一种基板烘烤装置。


背景技术：

2.有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)因其可自发光、无需背光源、对比度高、反应速度快、挠曲性好、制程较简单等优势，得到了显示领域的关注。同时，现有的有机发光二极管显示面板一般采用喷墨打印制程。因喷墨打印可对液滴精准控制并且具有着材料成本和设备成本低廉等优势，所以喷墨打印被认为是大尺寸oled面板制备技术中具有较大发展空间的技术。
3.详细的说，喷墨打印是一种溶液法制备薄膜的方法。将制备oled所需的墨水材料装入墨盒中，通过喷墨头的喷嘴，将液滴打进像素里；再通过干燥以除去墨水中的溶剂即可成膜。其中干燥工艺的效果决定了膜面平整度，一般情况下，需要对基板进行烘烤制程处理使溶剂挥发得更充分，通常选取热板对基板进行烘烤加热。
4.其中，当基板传送至热板上时，基板下表面与热板为直接接触，热板与玻璃存在温度梯度差通过热传导来进行热交换，而基板的上表面则是通过热辐射的方式进行加热，下表面的传热速度高于上表面的传热速度，使得基板的下表面的温度更高。这会导致下表面的膨胀速度更高，进而使得基板向上弯曲，呈现为四侧角部翘起的形态，角部受热不良，影响了基板的烘烤效果。


技术实现要素：

5.综上所述，本技术所要解决的技术问题是：提供一种基板烘烤装置，其能够改善基板的烘烤效果。
6.而本技术为解决上述技术问题所采用的方案为：
7.第一方面，本技术提供了一种基板烘烤装置，包括：
8.加热台，所述加热台上形成有用于承载所述基板受热面的加热面；
9.固定机构，所述固定机构用于在所述加热面承载所述基板上时，限制住所述基板至少一角部与所述加热台在垂直于所述加热面方向上的相对位移。
10.可选地，在本技术部分实施例中，所述固定机构包括至少一个角位配合件，所述角位配合件连接在所述加热台上，所述角位配合件形成有在垂直于所述加热面方向上依次设置的第一限位面和第二限位面，所述第一限位面和所述第二限位面彼此相对设置，以形成与所述角部相适配的卡口。
11.可选地，在本技术部分实施例中，所述角位配合件还包括设于所述第一限位面和第二所述限位面之间的侧边限位面，所述侧边限位面的形状被配置成在所述加热面承载所述基板时，与所述角部的侧壁相接触。
12.可选地，在本技术部分实施例中，所述角部具有彼此相连并且呈第一夹角设置的第一侧壁和第二侧壁，所述侧边限位面包括彼此相连并呈第二夹角设置的第一侧边限位面
以及第二侧边限位面，所述第一侧边限位面和所述第二侧边限位面所形成交界轮廓用于与所述第一侧壁和所述第二侧壁所形成交界轮廓相接触，其中，所述第二夹角被配置成大于所述第一夹角。
13.可选地，在本技术部分实施例中，所述第二夹角大于所述第一夹角0.1
°
至0.5
°
。
14.可选地，在本技术部分实施例中，所述固定机构中所述角位配合件的数量为多个，并且至少存在有两个所述角位配合件分别用于与所述基板对角方向上两侧的所述角部相配合。
15.可选地，在本技术部分实施例中，分别用于与所述基板对角方向上两侧的所述角部相配合的所述角位配合件分别为第一角位配合件和第二角位配合件，所述第一角位配合件和所述第二角位配合件中的一者具有弹性接触部，并且其弹性接触部界定出其侧边限位面。
16.可选地，在本技术部分实施例中，分别用于与所述基板对角方向上两侧的所述角部相配合的所述角位配合件分别为第一角位配合件和第二角位配合件，所述第一角位配合件和所述第二角位配合件中至少一者活动连接在加热台上，以使所述第一角位配合件和所述第二角位配合件能够沿所述加热面朝向彼此移动或者远离彼此移动。
17.可选地，在本技术部分实施例中，所述第一角位配合件和所述第二角位配合件中存在有一者固定连接在所述加热台上，而另一者活动连接在所述加热台上；所述固定机构中至少包括有两组分别作用于所述基板不同对角方向上两所述角部的所述角位配合件，并且两组所述角位配合件中和所述加热台彼此固定的一者分别用于和所述基板的同一侧两所述角部相配合。
18.可选地，在本技术部分实施例中，所述第一限位面处于所述第二限位面靠近所述加热台一侧，所述角位配合件还形成有受热部，所述受热部延伸至所述加热面上并与所述加热面热传导接触，以使所述加热面的热量被传递至所述第二限位面。
19.由于采用了上述技术方案，本技术至少包括有益效果：
20.本技术主要在加热台的基础上设置了固定机构，其中，固定机构用于在加热面承载所述基板上时，限制住所述基板至少一角部与所述加热台在垂直于所述加热面上的相对位移。在加热过程当中，即便基板因为两侧表面出现受热情况不一而使得其角部出现翘起的趋势时，在固定机构的作用下，角部也能够相对加热台在垂直于加热面的方向上保持固定，进而了避免出现角部出现翘起、受热不良的问题，改善了基板的烘烤效果。
附图说明
21.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍。下面描述中的附图仅为本技术的部分实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。
22.图1为本发明所提供实施例1中垂直于加热面视角下的基板烘烤装置的结构示意图；
23.图2为本发明所提供实施例1中基板烘烤装置所适用的基板结构示意图；
24.图3为本发明所提供实施例1中垂直于加热面视角下的基板烘烤装置进一步细化后的结构示意图；
25.图4为图1中a-a处的剖面示意图；
26.图5为图4中a处的局部放大示意图；
27.图6为本发明所提供实施例1中侧边限位面和角部侧壁的配合示意图。
28.附图标记说明：
29.10-加热台，11-加热面，12-滑槽；
30.20-角位配合件，20a-第一角位配合件，20b-第二角位配合件，21-第一限位面，22-第二限位面，23-侧边限位面，23a-第一侧边限位面，23b-第二侧边限位面，24-卡口；
31.30-基板，31-角部，32-受热面，33-背热面，34a-第一侧壁，34b-第二侧壁。
具体实施方式
32.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有独特的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明或者隐含地包括一个或者更多个特征。在本发明的描述中，“多个”的含义两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
34.在申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本技术中被描述为示例性”的任何实施例不一定被解释为比其他实施例更优选或更具优势。为使本领域任何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本发明。在其他实例中，不会对已知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本技术所公开的原理的最广范围相一致。
35.实施例1
36.本实施例的主体是一种基板烘烤装置，应用于基板30在溶液沉积进行沉积之后，对基板30所进行的烘烤工序。这里需要说明的是，本实施例所提供的基板30烘烤装置可以用于基板30在溶液沉积法后所进行的烘烤工序，也可以用于其它烘烤工序。
37.请参见图1、图3和图4，在本实施例中，基板30烘烤装置包括：
38.加热台10，加热台10上形成有用于承载基板30受热面32的加热面11；
39.固定机构，固定机构用于在加热面11承载基板30上时，限制住基板30至少一角部31与加热台10在垂直于加热面11方向上的相对位移。
40.其中，加热台10主要指用于对基板30进行加热的部件，其形成有热源和加热面11，加热面11即用于作为加热部件，对放置于其之上的基板30进行加热，从而实现烘烤工艺。而
固定机构，则用于固定住基板30的角部31，从而避免基板30出现因受热面32和背热面33受热情况不一致而导致对应角部31翘起，进而保障了基板30薄膜品质的均匀性。
41.这里需要说明的是，请结合图2，上述角部31主要是指基板30外轮廓上呈尖锐的转角部位，基板30作为矩形板形状的部件，或者大致呈矩形板形状的部件，其具有四个角部31。
42.进一步的，对于上述固定机构，其可以仅与基板30的背热面33相接触。例如，在另一实施例中，当加热面11承载有基板30的时候，固定机构用于承压在基板30于角部31处的背热面33之上。而在本实施例中，请结合图1、图4和图5，固定机构包括至少一个角位配合件20，角位配合件20连接在加热台10上，角位配合件20形成有在垂直于加热面11方向上依次设置的第一限位面21和第二限位面22，第一限位面21和第二限位面22彼此相对设置，以形成与角部31相适配的卡口24。
43.其中，这里当基板30的角部31插入在卡口24当中时，第一限位面21和第二限位面22分别与基板30角部31处的受热面32、背热面33相接触，从而卡持住基板30的角部31，抵消基板30在受热不均的情况下所出现的使其角部31具有上翘趋势的内应力。这里，受热面32即指基板30预期与加热面11直接接触的面，而背热面33即指在基板30中背向于受热面32的一面。
44.这里需要说明的是，在本实施例中，第一限位面21和加热面11保持齐平，而第二限位面22略微高于第一限位面21，即第一限位面21设置于第二限位面22靠近于加热面11一侧，但这并不应当理解为对第一限位面21和第二限位面22布置位置的限制，在不影响发明目的的前提下，实施人员可以对第一限位面21的位置进行改动。
45.通过第一限位面21和第二限位面22的设置，能够限制住基板30角部31在垂直于加热面11方向上相对于加热台10的移动。实施人员还可以进一步调整角位配合件20的形状，以使得在角位配合件20上所形成的卡口24内，角部31的侧壁也受到抵触，从而在存在有多个角位配合件20时，整个基板30沿加热面11的相对移动能够被限制住。
46.例如，图5中所示出的，在本实施例中，角位配合件20还包括设于第一限位面21和第二限位面22之间的侧边限位面23，侧边限位面23的形状被配置成在加热面11承载基板30时，与角部31的侧壁相接触。
47.关于侧边限位面23的形状，请参见图6，在本实施例中，角部31具有彼此相连并且呈第一夹角设置的第一侧壁34a和第二侧壁34b，侧边限位面23包括彼此相连并呈第二夹角设置的第一侧边限位面23a以及第二侧边限位面23b，第一侧边限位面23a和第二侧边限位面23b所形成交界轮廓用于与第一侧壁34a和第二侧壁34b所形成交界轮廓相接触。如此设置，在存在有多个角位配合件20时，整个基板30在加热面11上的相对移动即能够被限制住。这里需要说明的是，上述交界轮廓并不一定是本实施例中所展示的直线状，其还可以是弧形面等其他形状。
48.其中，第一夹角和第二夹角可以是相等的。但在第一夹角和第二夹角相等的情况下，如上所描述的第一侧壁34a和第二侧壁34b在基板30受热时会出现略微的膨胀，这会使得第一侧壁34a和第二侧壁34b挤压第一侧边限位面23a和第二侧边限位面23b，在挤压较为剧烈时，有可能会对基板30的烘烤品质造成影响。
49.所以，在本实施例中，第二夹角被配置成大于第一夹角，理想的是：第二夹角大于
第一夹角0.1
°
至0.5
°
。这样能够避免基板30在受热并发生较小膨胀时，其角部31的第一侧壁34a、第二侧壁34b与对应第一侧边限位面23a、第二侧边限位面23b之间出现挤压，改善基板30的烘烤品质。同时，在第二夹角为上述数值范围的时候，在基板30发生较大膨胀时，第一侧边限位面23a和第一侧壁34a以及第二侧边限位面23b和第二侧壁34b才会接触。这样即能够实现角位配合件20中侧边限位面23较大面积地和角部31接触，改善角部31固定的稳定性，还能够避免两者出现较大程度的挤压。
50.如上对单个角位配合件20的情况作出的介绍。正如前文当中所描述的，在使用多个角位配合件20时，可以限制住整个基板30在垂直于加热面11方向上相对于加热台10的移动。详细的，在本实施例中，固定机构中角位配合件20的数量为多个，并且至少存在有两个角位配合件20分别用于与基板30对角方向上两侧的角部31相配合。
51.可以理解的是，对于如上所描述的两侧侧边限位面23而言，如果两者均与基板30的角部31刚性接触，则会对两者的制作精度提出更高的要求，所以请参见图4，在本实施例中，分别用于与基板30对角方向上两侧的角部31相配合的角位配合件20分别为第一角位配合件20a和第二角位配合件20b，第一角位配合件20a和第二角位配合件20b中的一者具有弹性接触部，并且其弹性接触部界定出其侧边限位面23。也就是说，由于弹性接触部的存在，所以沿基板30对角方向布置的两侧角位配合件20，在基板30对角方向上所形成间距可以略微变化，进而降低对两者制作精度的要求。这里需要说明的是，上述弹性接触部并不一定限制于采用有机材料制作，其可以采用软钢等弹性模量较大的金属材料。
52.在第一角位配合件20a和第二角位配合件20b的设置下，如果将第一角位配合件20a和第二角位配合件20设置成和加热台10固定的，则仅能够使得固定机构适配于一种尺寸的基板30。而不同基板30的长宽比例一般一致，不同基板30一般是对角方向上的尺寸不同。所以，请再次参见图4，图中箭头所指方向为对角方向上两侧角位配合件20的相对活动方向，第一角位配合件20a和第二角位配合件20b中至少一者活动连接在加热台10上，以使第一角位配合件20a和第二角位配合件20b能够沿加热面11朝向彼此移动或者远离彼此移动，如此设置，第一角位配合件20a和第二角位配合件20b即能够适应于不同对角方向尺寸的基板30。关于活动连接，实施人员可以如本实施例中所展示的，在加热面11上形成于角位配合件20滑动配合的滑槽12，从而让两者滑动连接。当然，在不影响发明目的的前提下，实施人员能够依据实际情况而选择具体的连接方式。这里需要说明的是，为方便展示，图1中省却了滑槽12。
53.更为具体的，针对于本实施例中所具有的四个角位配合件20，为方便基板30卡入在对应卡口24当中，在本实施例中，第一角位配合件20a和第二角位配合件20b中存在有一者固定连接在加热台10上，而另一者活动连接在加热台10上；其固定机构中至少包括有两组分别作用于基板30不同对角方向上两角部31的角位配合件20，并且两组角位配合件20中和加热台10彼此固定的一者分别用于和基板30的同一侧两角部31相配合。
54.这样设置能够方便实施人员将基板30的角部31卡入在对应卡口24当中。详细的说，实施人员可以首先将基板30一侧(例如图4中右侧)的两个角部31卡入在对应的角位配合件20的卡口24当中，然后再移动其余的角位配合件20，使得另外两个角位配合件20的卡口24和基板30另一侧的两个角部31相配合，进而较为方便地将基板30安装在加热面11上。
55.当然，实施人员也可以将第一限位面21和第二限位面22设置能够调整两者之间的
间距的，以方便基板30的安装，但这会提升角位配合件20的结构复杂程度，并且不容易控制卡口尺寸精度，这会导致角位配合件20容易在基板30上留下压痕。
56.除此之外，基板30的角部31发生翘起的原因在于：基板30受热面32和背热面33的受热情况不一致，受热面32与加热面11直接接触，两者之间发生热传导，而背热面33则依靠热辐射进行受热。
57.为进一步解决上述缺陷，在本实施例中，角位配合件20还形成有受热部(未图示)，受热部延伸至加热面11上并与加热面11热传导接触，以使加热面11的热量被传递至第二限位面22。其中，这里的受热部可以采用导热效果较佳的铜等材质制作而成，其主要用于使得第二限位面22和加热面11之间实现热传导接触，从而将加热面11的热量传递至第二限位面22，再传递至基板30角部31处的背热面33之上，进而使得基板30的局部背热面33也是热传导接触，改善基板30背热面33的受热情况。在此基础之上，实施人员可以尽量提升第二限位面22的面积。理想的是，基板30的背热面33受到第二限位面22接触的部位与基板30的背热面33面积之比为5％至10％。这样在既改善基板30背热面33受热情况的同时，还能够避免第二限位面22对基板30背热面33的烘烤造成影响。
58.这里需要说明的是，本实施例对受热部的形状不作限制，其可以呈现为贴合在加热面11上的片状，也可以是其他形状，本技术对此不作特别限定。
59.上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本技术的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本技术进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本技术中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本技术示范实施例的精神和范围。
60.同时，本技术使用了特定词语来描述本技术的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本技术至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本技术的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。
61.同理，应当注意的是，为了简化本技术披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本技术实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本技术对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。
62.一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字，应当理解的是，此类用于实施例描述的数字，在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说明，“大约”、“近似”或“大体上”表明数字允许有
±
％的变化。相应地，在一些实施例中，说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值，该近似值根据个别实施例所需特点可以发生改变。在一些实施例中，数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的方法。尽管本技术一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值，在具体实施例中，此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。
63.针对本技术引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料，如文章、书籍、说明书、出版物、文档等，特此将其全部内容并入本技术作为参考，但与本技术内容不一致或产生冲突的申请历史文件除外，对本技术权利要求最广范围有限制的文件(当前或之
后附加于本技术中的)也除外。需要说明的是，如果本技术附属材料中的描述、定义、和/或术语的使用与本技术内容有不一致或冲突的地方，以本技术的描述、定义和/或术语的使用为准。