喷墨头清洗装置的制作方法

1.本发明涉及喷墨头清洗装置。更详细地，本发明涉及包括抽吸部件的喷墨头清洗装置。


背景技术：

2.正生产各种种类的显示装置。各种显示装置遍及现实生活的全面得到适用。例如，可以在电视机、智能电话、笔记本电脑等之类电子设备或空调机、表等家电产品等中应用并使用显示装置。
3.最近，在显示装置的制造中，大多使用喷墨打印工艺。当基于喷墨打印工艺时，能够以相对低的费用简便地制造显示装置。然而，当利用喷墨打印装置进行喷墨打印工艺时，必须清洗喷墨头。然而，在清洗喷墨头的过程中，清洗液、墨等飞散而可能产生问题。因此，针对用于防止清洗液、墨等飞散的各种部件的研究正在进行。


技术实现要素：

4.本发明的技术课题着眼于这种方面，本发明的目的在于提供包括抽吸部件的喷墨头清洗装置。
5.然而，本发明所要解决的课题不限于上述提及的课题，可以在不脱离本发明的构思以及领域的范围内进行各种扩展。
6.可以是，用于实现上述的本发明的目的的根据实施例的喷墨头清洗装置包括：清洗部件，包含用于清洗喷墨头的清洗液，并通过配置于上面的清洗液喷射口向所述喷墨头喷射所述清洗液；以及抽吸部件，配置于所述清洗部件上，并包括使所述清洗部件的所述上面暴露的第一开口，并且包括配置于与所述清洗部件的所述上面垂直设置的所述第一开口的侧面而抽吸飞散的所述清洗液的第一抽吸口。
7.在实施例中，可以是，所述第一抽吸口是孔。
8.在实施例中，可以是，所述第一抽吸口是多孔膜。
9.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：真空泵，连接于所述抽吸部件的至少一侧。
10.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：喷气部件，配置于所述抽吸部件上，并包括使所述清洗部件的所述上面暴露的第二开口，并且向所述清洗部件所在的方向喷射气体。
11.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：气体投放口，连接于所述喷气部件的至少一侧。
12.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：第二抽吸口，配置于所述清洗部件的所述上面，并抽吸清洗所述喷墨头后在所述喷墨头的周边凝聚并残留的所述清洗液。
13.可以是，用于实现上述的本发明的目的的根据实施例的喷墨头清洗装置包括：冲
洗部件，为了容纳在喷墨头残留的墨而在内部包括空闲空间，并通过配置于上面的墨抽吸口抽吸并容纳所述墨；以及抽吸部件，配置于所述冲洗部件上，并包括使所述冲洗部件的所述上面暴露的第一开口，并且包括配置于与所述冲洗部件的所述上面垂直设置的所述第一开口的侧面而抽吸飞散的所述墨的第一抽吸口。
14.在实施例中，可以是，所述第一抽吸口是孔。
15.在实施例中，可以是，所述第一抽吸口是多孔膜。
16.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：真空泵，连接于所述抽吸部件的至少一侧。
17.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：喷气部件，配置于所述抽吸部件上，并包括使所述冲洗部件的所述上面暴露的第二开口，并且向所述冲洗部件所在的方向喷射气体。
18.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：气体投放口，连接于所述喷气部件的至少一侧。
19.可以是，用于实现上述的本发明的目的的根据实施例的喷墨头清洗装置包括：超声波清洗部件，包含用于利用超声波来清洗喷墨头的清洗液，并为了在所述清洗液中浸泡所述喷墨头而在上面的中央部包括使所述清洗液暴露的第一开口；以及抽吸部件，配置于所述超声波清洗部件上，并包括使所述超声波清洗部件的所述上面暴露的第二开口，并且包括配置于与所述超声波清洗部件的所述上面垂直设置的所述第二开口的侧面而抽吸飞散的所述清洗液的第一抽吸口。
20.在实施例中，可以是，所述第一抽吸口是孔。
21.在实施例中，可以是，所述第一抽吸口是多孔膜。
22.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：真空泵，连接于所述抽吸部件的至少一侧。
23.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：喷气部件，配置于所述抽吸部件上，并包括使所述超声波清洗部件的所述上面暴露的第三开口，并且向所述超声波清洗部件所在的方向喷射气体。
24.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：气体投放口，连接于所述喷气部件的至少一侧。
25.在实施例中，可以是，所述喷墨头清洗装置还包括：第二抽吸口，沿着所述超声波清洗部件的所述上面的边缘配置，并抽吸清洗所述喷墨头后在所述喷墨头的周边凝聚并残留的所述清洗液。
26.可以是，根据本发明的实施例的喷墨头清洗装置包括：清洗部件，包含用于清洗喷墨头的清洗液，并通过配置于上面的清洗液喷射口向所述喷墨头喷射所述清洗液；以及抽吸部件，配置于所述清洗部件上，并包括使所述清洗部件的所述上面暴露的第一开口，并且包括配置于与所述清洗部件的所述上面垂直设置的所述第一开口的侧面而抽吸飞散的所述清洗液的第一抽吸口。
27.清洗液会飞散而遮挡形成于喷墨头滑架的对准标记或向包括喷墨头清洗装置的喷墨系统的内部扩散，从而可能引起喷墨工艺上不良。所述喷墨头清洗装置可以通过所述抽吸部件来防止飞散的所述清洗液向所述喷墨系统的内部扩散而产生的故障。
28.然而，本发明的效果不限于所述效果，可以在不脱离本发明的构思以及领域的范围内进行各种扩展。
附图说明
29.图1a至图1d是示出根据本发明的实施例的包括喷墨头清洗装置的喷墨系统的图。
30.图2是示出图1的喷墨头清洗装置的一实施例的立体图。
31.图3是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。
32.图4是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。
33.图5是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图。
34.图6是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图。
35.图7是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图。
36.图8是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图。
37.图9是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。
38.图10是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
39.图11是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
40.图12是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
41.图13是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
42.图14是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
43.图15a至图15c是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。
44.图16以及图17是示出图15a的超声波清洗部件的上面的一实施例的平面图。
45.图18是根据本发明的实施例的喷墨头清洗装置的立体图。
46.图19是图18的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。
47.(附图标记说明)
48.sub：基板
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ca：喷墨头滑架
49.ih：喷墨头
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su：抽吸部件
50.wu：主体
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wu1：清洗部件
51.wu2：冲洗部件
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wu3：超声波清洗部件
52.cs：抽吸口
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sn：喷射口
53.vn：墨抽吸口
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mw：超声波清洗用清洗液
具体实施方式
54.以下，参照所附附图，更详细地说明本发明的实施例。针对附图中的相同的构成要件，使用相同的附图标记并省略对相同的构成要件的重复说明。
55.图1a至图1d是示出根据本发明的实施例的包括喷墨头清洗装置的喷墨系统的图。
56.参照图1a，喷墨系统可以包括工作台s、喷墨头清洗装置100、作业台wt以及喷墨头滑架ca。所述喷墨头滑架ca可以通过向配置在所述作业台wt上的基板sub等喷出墨来制造显示装置。
57.所述喷墨头滑架ca可以向第一方向dr1移动。为此，所述喷墨系统可以包括与所述喷墨头滑架ca连接的移动装置(未图示)。所述喷墨头滑架ca可以向所述第一方向dr1移动
而与所述作业台wt相邻地设置。之后，所述喷墨头滑架ca可以向配置在所述作业台wt上的对象(例如，基板sub等)喷出墨。所述喷墨头滑架ca可以向所述基板sub喷出墨后向与所述第一方向dr1相反的方向移动。
58.参照图1b，所述喷墨头滑架ca可以向与所述第一方向dr1垂直的第二方向dr2移动。例如，所述移动装置(未图示)可以使所述喷墨头滑架ca向所述第二方向dr2移动。所述喷墨头滑架ca可以位于所述喷墨头清洗装置100上。
59.参照图1c以及图1d，所述喷墨头滑架ca可以向所述第一方向dr1移动而移动成与所述喷墨头清洗装置100相邻。在实施例中，所述喷墨头清洗装置100可以在所述喷墨头滑架ca喷出墨后清洗留在所述喷墨头滑架ca中的异物。例如，在喷出所述墨的过程中飞散的墨雾可能沾在所述喷墨头滑架ca。飞散的墨雾可能沾在所述喷墨头滑架ca的对准标记。在此情况下，在所述喷墨头滑架ca再喷出墨的过程中，可能无法将墨正确地喷出到所述基板sub上。因此，为了防止此，需要所述喷墨头清洗装置100清洗所述喷墨头滑架ca。
60.或者，在实施例中，所述喷墨头清洗装置100可以冲洗留在所述喷墨头滑架ca中的墨。例如，所述喷墨头滑架ca可以包括多个喷墨头。在所述喷墨头内部中可能残留没能喷出的墨。在此情况下，在所述喷墨头滑架ca再喷出墨的过程中，可能无法将墨准确地喷出到所述基板sub上。因此，为了防止此，需要所述喷墨头清洗装置100冲洗所述喷墨头滑架ca的喷墨头。
61.图2是示出图1的喷墨头清洗装置的一实施例的立体图。
62.参照图2，所述喷墨头清洗装置100可以包括主体wu以及抽吸部件su。在所述主体wu的一侧(例如，下面等)可以连接第一真空泵out1。所述第一真空泵out1可以执行用于排出容纳于所述主体wu的内部中的物质的作用。在实施例中，所述主体wu可以意指用于清洗所述喷墨头滑架ca的各种结构。例如，所述主体wu可以意指向所述喷墨头滑架ca喷射清洗液来清洗所述喷墨头滑架ca的清洗部件。或者，所述主体wu可以意指冲洗所述喷墨头滑架ca的喷墨头来清洗所述喷墨头滑架ca的冲洗部件。或者，所述主体wu也可以意指以超声波方式清洗所述喷墨头滑架ca的超声波清洗部件。
63.所述抽吸部件su可以配置在所述主体wu上。在所述主体wu的上面可以配置用于清洗所述喷墨头滑架ca的各种结构。例如，在所述主体wu的上面可以配置喷射清洗液的清洗液喷射口。或者，在所述主体wu的上面可以配置抽吸墨的墨抽吸口。或者，在所述主体wu的上面可以配置用于超声波清洗的清洗液。为了所述各种结构清洗所述喷墨头滑架ca，所述主体wu的上面应能够与所述喷墨头滑架ca直接面对。因此，所述抽吸部件su可以包括暴露所述主体wu的上面的开口。所述喷墨头滑架ca可以通过所述开口与所述主体wu的上面相邻配置。
64.所述抽吸部件su可以抽吸在清洗过程中飞散的物质(例如，清洗液、墨雾等)。为此，在所述抽吸部件su的一侧可以连接第二真空泵out2。在图2中示出为所述第二真空泵out2在所述抽吸部件su仅连接一个，但其是例示性的，不限于此。例如，所述第二真空泵out2也可以在所述抽吸部件su的相同的一侧连接多个。或者，所述第二真空泵out2也可以在所述抽吸部件su的多个侧面分别连接各至少一个。
65.图3是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。例如，图3可以意指从a方向观察图2的喷墨头清洗装置的截面图。在实施例中，图3的主体可以意指清洗部件。
66.参照图2以及图3，清洗部件wu1可以在内部包括储存空间st1。所述清洗部件wu1可以包括储存于所述储存空间st1的清洗液。在所述清洗部件wu1的上面可以配置多个喷射口sn。在所述清洗部件wu1的上面可以配置至少一个所述喷射口sn。所述清洗部件wu1可以通过所述喷射口sn喷射清洗液。由此，所述清洗部件wu1可以清洗所述喷墨头滑架ca。
67.在所述喷墨头滑架ca的下面可以配置多个喷墨头ih。在所述喷墨头滑架ca的下面可以配置至少一个所述喷墨头ih。所述喷墨头ih中可能留有在喷出墨的过程中沾住的异物。例如，在所述喷墨头ih的周边可能留有墨残余物。或者，在所述喷墨头ih的周边可能留有在所述喷墨头滑架ca移动的过程中沾住的异物。
68.为了去除所述异物，所述清洗部件wu1可以向所述喷墨头滑架ca的下面喷射清洗液。在此过程中，清洗液可能飞散。飞散的清洗液向所述喷墨系统扩散，从而能够引发喷墨系统的故障。例如，飞散的清洗液遮挡形成于所述喷墨头滑架ca的对准标记，可能无法进行精密的喷墨工艺。或者，飞散的清洗液堵住所述喷墨头ih，可能无法正常喷出墨。因此，需要在飞散的清洗液向喷墨系统扩散之前，抽吸并去除飞散的清洗液。因此，所述抽吸部件su抽吸所述清洗液，从而能够防止所述喷墨系统的故障。
69.在所述清洗部件wu1的边缘中可以形成抽吸口cs。所述抽吸口cs可以抽吸并去除清洗后在所述喷墨头滑架ca的下面凝聚而残留的清洗液。为此，在所述清洗部件wu1的一侧(例如，下面等)可以连接第一真空泵out1。可以通过所述第一真空泵out1将去除的清洗液向外部排出。
70.在实施例中，在所述抽吸部件su中可以形成用于抽吸所述清洗液的抽吸口。例如，所述抽吸口可以是孔h。在所述抽吸口中可以形成至少一个孔h。所述抽吸部件su可以通过所述孔h抽吸并去除飞散的清洗液。
71.或者，例如，所述抽吸口可以是多孔膜。所述抽吸部件su可以抽吸并去除通过存在于多孔膜中的多个气孔飞散的清洗液。此外，也可以在能够抽吸并去除飞散的清洗液的范围内，在所述抽吸部件su中形成各种抽吸口。
72.图4是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。例如，图4可以意指从a方向观察图2的喷墨头清洗装置的截面图。
73.参照图2以及图4，在所述抽吸部件su的一侧可以连接第二真空泵out2。所述抽吸部件su可以如前所述那样执行抽吸并去除通过所述第二真空泵out2飞散的清洗液的作用。
74.图5是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图。
75.参照图3以及图5，在所述清洗部件wu1的上面的中央部中可以配置多个喷射口sn。所述喷射口sn可以喷射用于清洗所述喷墨头ih的清洗液。示出为所述喷射口sn配置共12个，但其是例示性的，不限于此。所述喷射口sn可以在用于清洗所述喷墨头滑架ca的范围内以各种数量配置于各种位置。
76.在所述清洗部件wu1的上面的边缘中可以全面形成抽吸口cs。所述清洗部件wu1可以通过所述抽吸口cs去除在所述喷墨头滑架ca的外表面凝聚并残留的清洗液。由此，能够防止在所述喷墨头滑架ca移动的过程中清洗液向所述喷墨系统内部扩散。另外，由此，能够进行精密的喷墨工艺。
77.图6是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图。
78.参照图3以及图6，所述清洗部件wu1可以包括多个抽吸口cs。所述抽吸口cs可以沿
着所述清洗部件wu1的上面的边缘配置。图6的实施例与图5的实施例相比虽在相对窄的面积抽吸残留的清洗液，但可以与图5的实施例相比以相对强的压力抽吸残留的清洗液。
79.图7是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图，图8是示出图3的清洗部件的上面的一实施例的平面图。
80.参照图3、图7以及图8，所述清洗部件wu1可以包括多个抽吸口cs。在所述清洗部件wu1的上面的中央部中也可以配置所述抽吸口cs。图7的实施例可以在配置所述喷射口sn的所述中央部中也抽吸并去除在所述喷墨头滑架ca中残留的清洗液。
81.所述喷射口sn的配置数量不受限制。例如，在图7的实施例中配置有12个喷射口sn，在图8的实施例中配置有8个喷射口sn。所述喷射口sn也可以仅向垂直方向喷射清洗液。或者，所述喷射口sn可以将清洗液喷射成越远离喷射口sn越宽地喷射。因此，喷射口sn可以不密集配置。因而，所述喷射口sn可以在能够清洗所述喷墨头滑架ca的范围内无数量限制地自由地配置于所述清洗部件wu1的上面。
82.图9是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。例如，图9可以意指从a方向观察图2的喷墨头清洗装置的截面图。在实施例中，图9的主体可以意指冲洗部件。
83.参照图2以及图9，冲洗部件wu2可以通过容纳从所述喷墨头ih抽吸的残留墨来清洗所述喷墨头ih。在所述冲洗部件wu2的上面中可以配置墨抽吸口vn。所述冲洗部件wu2可以通过所述墨抽吸口vn抽吸并容纳在喷墨头ih中残留的所述残留墨。为此，冲洗部件wu2可以在内部包括储存空间st2。
84.在所述冲洗部件wu2的一侧可以连接第一真空泵out1。所述第一真空泵out1可以抽吸并去除容纳在所述储存空间st2中的墨。
85.在所述冲洗部件wu2抽吸并容纳所述残留墨的过程中，墨中的一部分可能飞散而生成墨雾。所述墨雾可以向所述喷墨系统扩散，由此，可能引发喷墨系统的故障。因此，需要在飞散的墨雾向喷墨系统扩散之前，抽吸并去除飞散的墨雾。因此，所述抽吸部件su抽吸飞散的墨雾，从而能够防止所述喷墨系统的故障。
86.在所述冲洗部件wu2的边缘中可以形成抽吸口cs。所述抽吸口cs可以抽吸并去除清洗后在所述喷墨头滑架ca的下面凝聚并残留的墨。为此，在所述冲洗部件wu2的一侧(例如，侧面等)可以连接单独的真空泵(未图示)。
87.在实施例中，在所述抽吸部件su中可以形成用于抽吸墨雾的抽吸口。所述抽吸部件su可以包括暴露所述冲洗部件wu2的上面的开口。所述抽吸口可以形成于与所述冲洗部件wu2的上面垂直的所述抽吸部件su的开口的侧面。例如，所述抽吸口可以是孔h。在所述抽吸口中可以形成至少一个孔h。所述抽吸部件su可以通过所述孔h抽吸并去除飞散的墨雾。
88.或者，例如，所述抽吸口可以是多孔膜。所述抽吸部件su可以通过存在于多孔膜的多个气孔抽吸并去除飞散的墨雾。此外，也可以在能够抽吸并去除飞散的墨雾的范围内，在所述抽吸部件su中形成各种抽吸口。
89.图10是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
90.参照图9以及图10，在所述冲洗部件wu2的上面的中央部中可以配置多个墨抽吸口vn。所述墨抽吸口vn可以抽吸并容纳在所述喷墨头ih中残留的墨。示出为所述墨抽吸口vn配置共12个，但其是例示性的，不限于此。所述墨抽吸口vn可以在用于清洗所述喷墨头ih的范围内进行各种配置。然而，优选的是所述墨抽吸口vn形成于与所述喷墨头ih对应的位置。
在此情况下，所述墨抽吸口vn能够精密地抽吸喷墨头ih的残留墨。
91.在所述冲洗部件wu2的上面的边缘中可以全面形成抽吸口cs。所述冲洗部件wu2可以通过所述抽吸口cs去除在所述喷墨头滑架ca的面上凝聚并残留的墨。由此，能够防止在所述喷墨头滑架ca移动的过程中墨向所述喷墨系统内部扩散。
92.图11是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
93.参照图9以及图11，所述冲洗部件wu2可以包括多个抽吸口cs。所述抽吸口cs可以沿着所述冲洗部件wu2的上面的边缘配置。图11的实施例与图10的实施例相比以相对窄的面积抽吸残留的墨，但可以与图10的实施例相比以相对强的压力抽吸残留的清洗液。
94.图12是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图，图13是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
95.参照图9、图12以及图13，所述冲洗部件wu2可以包括多个抽吸口cs。在所述冲洗部件wu2的上面的中央部中也可以配置所述抽吸口cs。图12的实施例以及图13的实施例可以还在配置所述墨抽吸口vn的所述中央部抽吸并去除残留的墨。
96.图14是示出图9的冲洗部件的上面的一实施例的平面图。
97.参照图9以及图14，所述冲洗部件wu2可以通过在上面的中央部配置的墨抽吸口vn抽吸并去除在所述喷墨头滑架ca的外壁上残留的墨。因此，在实施例中，在所述冲洗部件wu2的上面的边缘中可以不配置抽吸口cs。在此情况下，在所述冲洗部件wu2的上面中可以配置相对更多的所述墨抽吸口vn。
98.图15a至图15c是示出图2的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。以下，要叙述的主体可以意指超声波清洗部件。
99.参照图2以及图15a至图15c，超声波清洗部件wu3可以在内部包括储存空间st3。所述超声波清洗部件wu3可以在所述储存空间st3中包括超声波清洗用清洗液mw。在所述超声波清洗部件wu3的上面的中央部中可以包括使所述清洗液mw暴露的开口。在所述喷墨头滑架ca的下面中可以配置喷墨头ih。在所述喷墨头滑架ca的下面中可以配置至少一个所述喷墨头ih。在所述喷墨头滑架ca的面上可能残留有在喷出墨的过程中沾住的异物，其中，所述喷墨头滑架ca的面包括配置所述喷墨头ih的下面。例如，在所述喷墨头ih的周边中可能残留有墨残余物。或者，在所述喷墨头ih的周边中可能残留有在所述喷墨头滑架ca移动的过程中沾住的异物。此时，由于所述异物，可能无法精密地进行喷墨工艺。例如，所述异物可能堵塞所述喷墨头ih。或者，例如，所述异物沾到形成于所述喷墨头滑架ca的对准标记，所述喷墨头滑架ca可能无法精密地对准。
100.可以在所述超声波清洗部件wu3所包括的清洗液mw中浸泡所述喷墨头滑架ca来进行超声波清洗。然而，当将所述喷墨头滑架ca从清洗液mw拔出时，如图15c所示，在所述喷墨头滑架ca中剩余的清洗液mw可能飞散。飞散的清洗液mw可能向所述喷墨系统扩散，由此，可能引发所述喷墨系统的故障。因此，需要在飞散的清洗液mw向所述喷墨系统扩散前去除飞散的清洗液mw。因此，所述抽吸部件su抽吸所述清洗液mw，从而能够去除所述清洗液mw来防止所述喷墨系统的故障。
101.在所述超声波清洗部件wu3的边缘中可以形成抽吸口cs。所述抽吸口cs可以抽吸并去除超声波清洗后在所述喷墨头滑架ca的下面凝聚并残留的清洗液mw。为此，在所述超声波清洗部件wu3的一侧(例如，下面等)可以连接第一真空泵out1。可以通过所述第一真空
泵out1将去除的清洗液mw向外部排出。
102.在实施例中，在所述抽吸部件su中可以形成用于抽吸所述清洗液mw的抽吸口。例如，所述抽吸口可以是孔h。在所述抽吸口中可以形成至少一个孔h。所述抽吸部件su可以通过所述孔h抽吸并去除飞散的清洗液mw。或者，例如，所述抽吸口可以是多孔膜。所述抽吸部件su可以通过存在于多孔膜的多个气孔抽吸并去除飞散的清洗液mw。此外，也可以在能够抽吸并去除清洗液mw的范围内，在所述抽吸部件su中形成各种抽吸口。
103.图16以及图17是示出图15a的超声波清洗部件的上面的一实施例的平面图。
104.参照图15a至图17，在所述超声波清洗部件wu3的上面的中央部中可以配置超声波清洗用清洗液mw。因此，在所述超声波清洗部件wu3的上面的中央部中不能配置抽吸口，在所述超声波清洗部件wu3的上面的边缘中可以配置抽吸口cs。在实施例中，所述抽吸口cs既可以沿着所述边缘全部配置，也可以沿着所述边缘彼此隔开配置。
105.图18是示出根据本发明的实施例的喷墨头清洗装置的立体图，图19是示出图18的喷墨头清洗装置的截面的一实施例的截面图。图18以及图19的喷墨头清洗装置除附加有喷气部件之外，可以与图2的喷墨头清洗装置实质上相同。因此，省略针对重复结构的说明。
106.参照图18以及图19，在所述抽吸部件su上可以配置喷气部件iu。所述喷气部件iu可以包括使所述主体wu的上面暴露的开口。所述喷气部件iu可以包括喷射气体的喷射口。所述喷气部件iu可以向所述主体wu方向喷射气体。在实施例中，所述主体wu可以意指前述的清洗部件、冲洗部件或者超声波清洗部件。所述喷气部件iu可以喷射气体来防止物质从下方向上方飞散。由此，飞散的物质可以被所述抽吸部件su去除而不能向喷墨系统扩散。
107.在实施例中，在所述喷气部件iu的一侧可以连接投放气体的气体投放口in。可以通过所述气体投放口in向所述喷气部件iu的内部投放气体。例如，所述气体可以包含氮气(n2)之类惰性气体。
108.本发明可以适用于喷墨头清洗装置。例如，本发明可以适用于包括抽吸部件的喷墨头清洗装置。
109.以上，参照本发明的例示性实施例进行了说明，但是本技术领域中具有通常知识的人应能理解可以在不脱离权利要求书中记载的本发明的构思以及领域的范围内对本发明进行各种修改以及变更。