光敏树脂组合物和由其制备的固化膜的制作方法

技术特征：
1.一种光敏树脂组合物，其包含：(a)第一共聚物，所述第一共聚物包含(a1)衍生自烯键式不饱和羧酸、烯键式不饱和羧酸酐或其组合的结构单元；(a2)衍生自含有脂环族环氧基的烯键式不饱和化合物的结构单元；(a3)衍生自含有无环环氧基的烯键式不饱和化合物的结构单元；以及(a4)衍生自不同于(a1)至(a3)的烯键式不饱和化合物的结构单元；(b)第二共聚物，所述第二共聚物包含(b1)由下式1表示的重复单元，并且包含选自由以下组成的组的至少一个重复单元：(b2)由下式2表示的重复单元、(b3)由下式3表示的重复单元、和(b4)不同于所述重复单元(b1)至(b3)的重复单元；(c)可光聚合化合物；(d)光聚合引发剂；以及(e)溶剂：[式1][式2][式3]在上式中，r1是氢或取代或未取代的c
1-20
烷基，l1和l2各自独立地是取代或未取代的c
1-10
亚烷基或取代或未取代的c
6-20
亚芳基，r2和r4各自独立地是氢或c
1-8
烷基，r3和r5各自独立地是c
1-4
亚烷基，并且a、b和c各自独立地是1至100的整数。2.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述第一共聚物(a)和所述第二共聚物(b)具有10至90:90至10的重量比。3.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述第二共聚物(b)具有4,000至15,000da的重均分子量和10至75mg koh/g的酸值。4.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，基于所述第一共聚物(a)和所述第二共聚物(b)的总重量，所述重复单元(b1)的含量是1至15重量％。5.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，基于构成所述第二共聚物(b)的重复单元的总摩尔数，所述重复单元(b1)的含量是3至20摩尔％。6.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，基于构成所述第二共聚物(b)的重复单元的总摩尔数，所述重复单元(b2)和所述重复单元(b3)的含量分别是10至30摩尔％。7.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述重复单元(b4)衍生自烯键式不饱和化合物，并且所述烯键式不饱和化合物包括选自由以下组成的组中的至少一种烯键式不饱和化合物：含有芳香族环的不饱和化合物、不饱和羧酸酯化合物、和不饱和羧酸。8.如权利要求7所述的光敏树脂组合物，其中，所述重复单元(b4)包括衍生自含有芳香
族环的不饱和化合物的重复单元(b4-a)和衍生自不饱和羧酸酯化合物的重复单元(b4-b)。9.如权利要求7所述的光敏树脂组合物，其中，所述重复单元(b4)包括衍生自含有芳香族环的不饱和化合物的重复单元(b4-a)、衍生自不饱和羧酸酯化合物的重复单元(b4-b)、和衍生自不饱和羧酸的重复单元(b4-c)。10.如权利要求7所述的光敏树脂组合物，其中，所述重复单元(b4)衍生自所述含有芳香族环的不饱和化合物，并且基于构成所述第二共聚物(b)的重复单元的总摩尔数，所述重复单元(b4)的含量是10至60摩尔％。11.如权利要求7所述的光敏树脂组合物，其中，所述重复单元(b4)衍生自所述不饱和羧酸酯化合物，并且基于构成所述第二共聚物(b)的重复单元的总摩尔数，所述重复单元(b4)的含量是10至30摩尔％。12.如权利要求7所述的光敏树脂组合物，其中，所述重复单元(b4)衍生自所述不饱和羧酸，并且基于构成所述第二共聚物(b)的重复单元的总摩尔数，所述重复单元(b4)的含量是1至30摩尔％。13.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其包含所述第二共聚物(b)，基于所述光敏树脂组合物的总重量基于固体含量，所述第二共聚物的量是1至70重量％。14.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中，所述溶剂(e)包含基于环状酮的化合物。15.如权利要求14所述的光敏树脂组合物，其中，所述基于环状酮的化合物是选自由环丁酮、环戊酮和环己酮组成的组中的至少一种化合物。16.一种固化膜，其由如权利要求1所述的光敏树脂组合物制备。17.如权利要求16所述的固化膜，其通过在70℃至150℃的温度下对所述光敏树脂组合物进行后烘烤来获得。

技术总结
本发明提供了一种能够在低温下固化时形成具有优异的再溶解性和耐化学性的固化膜的光敏树脂组合物，并且提供了一种由其制备的固化膜。在本发明的光敏树脂组合物中，使用第一共聚物和第二共聚物作为粘结剂来将适当量的琥珀酸酯基和环氧基引入到该组合物中。因此，可以制备固化膜，该固化膜可以甚至在低温下通过提高固化度来充分地固化并且通过控制显影和交联反应的增强而具有优异的再溶解性。进一步地，该组合物具有对于化学溶剂或清洁溶剂的提高的耐化学性，由此可以防止该固化膜的变形。形。


技术研发人员：权真 李圭哲
受保护的技术使用者：罗门哈斯电子材料韩国有限公司
技术研发日：2021.11.15
技术公布日：2022/5/31