一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，特别是涉及一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。


背景技术：

2.碳化硅晶片的主要应用领域有led固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，目前对与微管缺陷的观察主要是通过显微观察的方式，对微管所表现出的特征形貌对其进行区分和测定。
3.目前使用的检测装置在使用时通常无法更加便捷的对晶片的的位置进行调节，且通常在防止晶片时容易出现偏移的情况，影响对晶片表面的观察，同时无法便捷的对晶片的各个角度进行检测，使用不够便捷。
4.因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。


技术实现要素：

5.为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。
6.本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱，还包括检修机构、调节支撑机构、光源调节机构、旋转检测机构和角度调节机构，所述检修机构固定安装在检测箱内壁两侧，所述调节支撑机构固定安装在检测箱内部，所述调节支撑机构包括固定安装在检测箱内部的支撑板、两个分别固定安装在支撑板顶部两侧的滑轨、多个分别配合安装在两个滑轨内部的滑轮、活动安装在多个滑轮顶部的抽板和固定安装在抽板顶部的电动升降套杆，所述光源调节机构固定安装在检修机构内壁两侧，所述旋转检测机构固定安装在检测箱内壁顶部，所述角度调节机构固定安装在底座顶部一侧。
7.优选的，所述检修机构包括两个分别开设在检测箱底部两侧的安装槽、多个分别固定安装在两个安装槽内部的电动推杆、两个分别固定安装在多个电动推杆的伸缩端的活动板、两个分别固定安装在两个活动板一侧的侧板、多个分别通过多个固定螺栓拧紧固定在检测箱顶部两侧的额固定块。
8.优选的，所述调节支撑机构还包括放置槽、支撑台、防滑垫、多个分别固定安装在支撑台顶部两侧的活动块和多个分别配合安装在多个活动块内侧的活动钩，所述放置槽固定安装在电动升降套杆的伸缩端，所述支撑台固定安装在放置槽内部，所述防滑垫固定安装在多个活动钩一侧。
9.优选的，所述光源调节机构包括两个分别固定安装在两个侧板一侧的第一连接
板、两个分别固定安装在两个第一连接板一侧的丝杆滑台、两个分别固定安装在两个丝杆滑台的滑动块一侧的连接块、两个分别开设在两个连接块一侧的卡槽、两个分别固定安装在两个卡槽内侧的卡块和两个分别固定安装在两个卡块一侧的补光灯。
10.优选的，所述旋转检测机构包括安装杆、电动转盘、转台和显微摄像头，所述安装杆固定安装在检测箱内壁顶部，所述电动转盘固定安装在安装杆底端，所述转台固定安装在电动转盘底部，所述显微摄像头固定安装在转台底部一侧。
11.优选的，所述角度调节机构包括安装板、第二连接板、旋转台、显示器、插孔、限位杆和多个分别开设在第二连接板顶部两侧的限位孔，所述安装板固定安装在底座顶部一侧，所述第二连接板固定安装在安装板顶部，所述旋转台固定安装在第二连接板顶部，所述显示器固定安装在旋转台顶部，所述插孔开设在旋转台一侧。
12.本实用新型的有益效果是：
13.其一：本实用新型通过设置有调节支撑机构和旋转检测机构，拉动抽板使抽板带动滑轮在滑轨内部移动抽出，从而带动电动升降套杆移动抽出，可以更加便捷的对晶片进行放置，工作人员无需将手伸入检测箱内部，使晶片的放置更加的稳定，避免晶片位置偏移，影响检查的效果，再推动防滑垫使防滑垫带动底部的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，使活动块与活动钩固定连接，从而使防滑垫固定安装在支撑台顶部，可以更好的对晶片进行防滑，避免晶片在检测过程中由于外部压力导致移位，影响检测的效果，在检测过程中打开电动升降套杆使电动升降套杆带动放置槽上下移动，使晶片移动至最佳观察位置，检测更加的精确，同时可以便捷的根据使用的需求进行调节，更加的便捷，检测过程中打开电动转盘使电动转盘带动转台进行旋转，从而使转台底部的显微摄像头进行旋转，可以更加便捷的对晶片的局部位置进行检测，检测范围更广，更加的细致，大大提升装置的使用效果。
附图说明
14.图1为本实用新型的立体结构示意图；
15.图2为本实用新型的检修机构结构示意图；
16.图3为本实用新型的角度调节机构结构示意图；
17.图4为本实用新型的图1中a处放大结构示意图。
18.附图标记说明：1、底座；2、检测箱；3、检修机构；31、安装槽；32、电动推杆；33、活动板；34、侧板；35、固定块；36、固定螺栓；4、调节支撑机构；41、支撑板；42、滑轨；43、滑轮；44、抽板；45、电动升降套杆；46、放置槽；47、支撑台；48、活动块；49、活动钩；410、防滑垫；5、光源调节机构；51、第一连接板；52、丝杆滑台；53、连接块；54、卡槽；55、卡块；56、补光灯；6、旋转检测机构；61、安装杆；62、电动转盘；63、转台；64、显微摄像头；7、角度调节机构；71、安装板；72、第二连接板；73、旋转台；74、显示器；75、插孔；76、限位杆；77、限位孔。
具体实施方式
19.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域
技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
20.如图1至4所示，本实用新型提供了一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座1和固定安装在底座1顶部一侧的检测箱2，还包括检修机构3、调节支撑机构4、光源调节机构5、旋转检测机构6和角度调节机构7，检修机构3固定安装在检测箱2内壁两侧，调节支撑机构4固定安装在检测箱2内部，调节支撑机构4包括固定安装在检测箱2内部的支撑板41、两个分别固定安装在支撑板41顶部两侧的滑轨42、多个分别配合安装在两个滑轨42内部的滑轮43、活动安装在多个滑轮43顶部的抽板44和固定安装在抽板44顶部的电动升降套杆45，光源调节机构5固定安装在检修机构3内壁两侧，旋转检测机构6固定安装在检测箱2内壁顶部，角度调节机构7固定安装在底座1顶部一侧。
21.上述具体实施方案：拉动抽板44使抽板44带动滑轮43在滑轨42内部移动抽出，从而带动电动升降套杆45移动抽出，可以更加便捷的对晶片进行放置，工作人员无需将手伸入检测箱2内部，使晶片的放置更加的稳定，避免晶片位置偏移，影响检查的效果，在检测过程中打开电动升降套杆45使电动升降套杆45带动放置槽46上下移动，使晶片移动至最佳观察位置，检测更加的精确，同时可以便捷的根据使用的需求进行调节，更加的便捷。
22.优选的，检修机构3包括两个分别开设在检测箱2底部两侧的安装槽31、多个分别固定安装在两个安装槽31内部的电动推杆32、两个分别固定安装在多个电动推杆32的伸缩端的活动板33、两个分别固定安装在两个活动板33一侧的侧板34、多个分别通过多个固定螺栓36拧紧固定在检测箱2顶部两侧的额固定块35，通过设置有安装槽31、电动推杆32、活动板33、侧板34、固定块35和固定螺栓36，可以更加便捷的对两个侧板34进行安装拆卸，更加便捷的对检测箱2内部进行维护和检修，大大提升装置的使用寿命。
23.优选的，调节支撑机构4还包括放置槽46、支撑台47、防滑垫410、多个分别固定安装在支撑台47顶部两侧的活动块48和多个分别配合安装在多个活动块48内侧的活动钩49，放置槽46固定安装在电动升降套杆45的伸缩端，支撑台47固定安装在放置槽46内部，防滑垫410固定安装在多个活动钩49一侧，通过设置有支撑台47、活动块48、活动钩49和防滑垫410，可以更好的对晶片进行防滑，避免晶片在检测过程中由于外部压力导致移位，影响检测的效果。
24.优选的，光源调节机构5包括两个分别固定安装在两个侧板34一侧的第一连接板51、两个分别固定安装在两个第一连接板51一侧的丝杆滑台52、两个分别固定安装在两个丝杆滑台52的滑动块一侧的连接块53、两个分别开设在两个连接块53一侧的卡槽54、两个分别固定安装在两个卡槽54内侧的卡块55和两个分别固定安装在两个卡块55一侧的补光灯56，通过设置有第一连接板51、丝杆滑台52、连接块53、卡槽54、卡块55和补光灯56，可以更加便捷的对补光灯56的位置进行调节，根据不同的检测需求对补光灯56的角度进行移动，检测更加的全面。
25.优选的，旋转检测机构6包括安装杆61、电动转盘62、转台63和显微摄像头64，安装杆61固定安装在检测箱2内壁顶部，电动转盘62固定安装在安装杆61底端，转台63固定安装在电动转盘62底部，显微摄像头64固定安装在转台63底部一侧，通过设置有安装杆61、电动转盘62、转台63和显微摄像头64，可以更加便捷的对晶片的局部位置进行检测，检测范围更广，更加的细致，大大提升装置的使用效果。
26.优选的，角度调节机构7包括安装板71、第二连接板72、旋转台73、显示器74、插孔75、限位杆76和多个分别开设在第二连接板72顶部两侧的限位孔77，安装板71固定安装在底座1顶部一侧，第二连接板72固定安装在安装板71顶部，旋转台73固定安装在第二连接板72顶部，显示器74固定安装在旋转台73顶部，插孔75开设在旋转台73一侧，通过设置有安装板71、第二连接板72、旋转台73、显示器74、插孔75、限位杆76和限位孔77，可以更加便捷的根据使用的需求对显示器74的位置进行调节，便于工作人员更好的进行观察，使用更加的便捷。
27.综上，本实用新型包括：首先接通外部电源，拉动抽板44使抽板44带动滑轮43在滑轨42内部移动抽出，从而带动电动升降套杆45移动抽出，再推动防滑垫410使防滑垫410带动底部的活动钩49与活动块48两侧相接触，持续推动使活动钩49两侧向内折叠，直至通过活动块48，活动钩49再进行回弹，使活动块48与活动钩49固定连接，从而使防滑垫410固定安装在支撑台47顶部，然后检测过程中打开电动转盘62使电动转盘62带动转台63进行旋转，从而使转台63底部的显微摄像头64进行旋转，再打开丝杆滑台52使丝杆滑台52的滑动块带动补光灯56进行来回移动，对晶片进行角度照射，其次转动显示器74使显示器74带动旋转台73进行旋转，直至合适角度，再将限位杆76插入插孔75内部，延伸至限位孔77内部，对旋转台73进行固定，最后当装置损坏，将固定螺栓36拧松，打开电动推杆32使电动推杆32带动活动板33向外移动，从而带动侧板34向外移动，再对检测箱2内部进行检修维护，其中电动推杆32的型号为：ys-nz100-12a，电动升降套杆45的型号为：xydha24-800，丝杆滑台52的型号为：pkh40，显微摄像头64的型号为x3，显示器74的型号为：p5z。
28.以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。