一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置的制作方法

技术特征：
1.一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座（1）和固定安装在底座（1）顶部一侧的检测箱（2），其特征在于：还包括检修机构（3）、调节支撑机构（4）、光源调节机构（5）、旋转检测机构（6）和角度调节机构（7），所述检修机构（3）固定安装在检测箱（2）内壁两侧，所述调节支撑机构（4）固定安装在检测箱（2）内部，所述调节支撑机构（4）包括固定安装在检测箱（2）内部的支撑板（41）、两个分别固定安装在支撑板（41）顶部两侧的滑轨（42）、多个分别配合安装在两个滑轨（42）内部的滑轮（43）、活动安装在多个滑轮（43）顶部的抽板（44）和固定安装在抽板（44）顶部的电动升降套杆（45），所述光源调节机构（5）固定安装在检修机构（3）内壁两侧，所述旋转检测机构（6）固定安装在检测箱（2）内壁顶部，所述角度调节机构（7）固定安装在底座（1）顶部一侧。2.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，其特征在于：所述检修机构（3）包括两个分别开设在检测箱（2）底部两侧的安装槽（31）、多个分别固定安装在两个安装槽（31）内部的电动推杆（32）、两个分别固定安装在多个电动推杆（32）的伸缩端的活动板（33）、两个分别固定安装在两个活动板（33）一侧的侧板（34）、多个分别通过多个固定螺栓（36）拧紧固定在检测箱（2）顶部两侧的额固定块（35）。3.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，其特征在于：所述调节支撑机构（4）还包括放置槽（46）、支撑台（47）、防滑垫（410）、多个分别固定安装在支撑台（47）顶部两侧的活动块（48）和多个分别配合安装在多个活动块（48）内侧的活动钩（49），所述放置槽（46）固定安装在电动升降套杆（45）的伸缩端，所述支撑台（47）固定安装在放置槽（46）内部，所述防滑垫（410）固定安装在多个活动钩（49）一侧。4.根据权利要求2所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，其特征在于：所述光源调节机构（5）包括两个分别固定安装在两个侧板（34）一侧的第一连接板（51）、两个分别固定安装在两个第一连接板（51）一侧的丝杆滑台（52）、两个分别固定安装在两个丝杆滑台（52）的滑动块一侧的连接块（53）、两个分别开设在两个连接块（53）一侧的卡槽（54）、两个分别固定安装在两个卡槽（54）内侧的卡块（55）和两个分别固定安装在两个卡块（55）一侧的补光灯（56）。5.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，其特征在于：所述旋转检测机构（6）包括安装杆（61）、电动转盘（62）、转台（63）和显微摄像头（64），所述安装杆（61）固定安装在检测箱（2）内壁顶部，所述电动转盘（62）固定安装在安装杆（61）底端，所述转台（63）固定安装在电动转盘（62）底部，所述显微摄像头（64）固定安装在转台（63）底部一侧。6.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，其特征在于：所述角度调节机构（7）包括安装板（71）、第二连接板（72）、旋转台（73）、显示器（74）、插孔（75）、限位杆（76）和多个分别开设在第二连接板（72）顶部两侧的限位孔（77），所述安装板（71）固定安装在底座（1）顶部一侧，所述第二连接板（72）固定安装在安装板（71）顶部，所述旋转台（73）固定安装在第二连接板（72）顶部，所述显示器（74）固定安装在旋转台（73）顶部，所述插孔（75）开设在旋转台（73）一侧。

技术总结
本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱，还包括检修机构、调节支撑机构、光源调节机构、旋转检测机构和角度调节机构，所述检修机构固定安装在检测箱内壁两侧，本实用新型通过设置有调节支撑机构和旋转检测机构，拉动抽板使抽板带动滑轮在滑轨内部移动抽出，从而带动电动升降套杆移动抽出，可以更加便捷的对晶片进行放置，工作人员无需将手伸入检测箱内部，使晶片的放置更加的稳定，避免晶片位置偏移，影响检查的效果，再推动防滑垫使防滑垫带动底部的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹。弹。弹。


技术研发人员：李有群 卓世异 贺贤汉 周国栋 孙大方
受保护的技术使用者：安徽微芯长江半导体材料有限公司
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/5/30