1.本实用新型涉及晶圆加工生产技术领域，尤其是指一种固晶摆臂装置。
背景技术：
2.现有的固晶摆臂装置，其具有以下不足：摆臂拾取晶片过压时，拾头绕摆臂弹性关节圆弧避让，在晶片表面容易产生摩擦，损坏晶片表面，产生不良。
技术实现要素：
3.本实用新型针对现有技术的问题提供一种固晶摆臂装置，能够避免拾头在拾取过程中损伤晶片表面。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
5.本实用新型提供的一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于利用弹簧弹力形成闭合回路。
6.进一步的，检测件包括端子连接器以及端子，端子连接器与所述力臂件连接，端子安装于端子连接器。
7.进一步的，所述力臂件设置有两个铆压孔，铆压孔内设置有铆合件，铆合件螺接有固定螺钉，固定螺钉用于把端子连接器与铆合件进行固定。
8.更进一步的，两个固定螺钉彼此抵触。
9.进一步的，所述力臂件设置有安装件，所述安装件与所述力臂件之间设置有弹性件；所述拾取件设置于所述安装件。
10.更进一步的，所述安装件设置有第一夹持部，所述第一夹持部连接有弧形部，所述弧形部连接有第二夹持部，所述第一夹持部、所述弧形部与所述第二夹持部之间形成用于安装拾取件的安装孔；所述第一夹持部与所述第二夹持部通过螺钉进行固定。
11.更进一步的，所述力臂件设置有弹孔，所述弹性件装设于所述弹孔内，所述安装件与所述弹孔抵触。
12.本实用新型的有益效果：本实用新型通过设置有两个检测件，经两个形成闭合回路的检测件与晶圆接触的高低判断回路的通断，通过该回路的通断判断与晶片接触的多少，从而判断晶片受力的大小，达到了检测效果。
附图说明
13.图1为本实用新型的示意图。
14.图2为本实用新型的分解示意图。
15.图3为图1的a处放大图。
16.附图标记：1—力臂座，2—力臂件，3—拾取件，4—检测件，5—弹性件，21—铆压孔，22—铆合件，23—固定螺钉，24—安装件，25—第一夹持部，26—弧形部，27—第二夹持
部，28—弹孔，41—端子连接器，42—端子。
具体实施方式
17.为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本实用新型作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。以下结合附图对本实用新型进行详细的描述。
18.如图1至图3所示，本实用新型提供的一种固晶摆臂装置，包括力臂座1、力臂件2以及拾取件3，所述力臂件1设置于所述力臂座2，所述拾取件3设置于所述力臂件2远离所述力臂座1的一端，所述力臂件2设置有两个检测件4，两个检测件4用于与外界的晶圆抵触并与该晶圆构成闭合回路。
19.本实用新型的工作原理属于本领域所公知的，例如可参考专利号为“cn201922165782.5”的中国实用新型专利。本实用新型的创新点在于：设置有检测件4，通过检测件4在拾起前后分别与晶圆进行接触，由两个检测件4与晶圆构成闭合回路(检测件4在使用时与外界的电源进行导通)，若该闭合回路能够顺利通电，则证明晶圆为合格的；若该闭合回路不能通电，则证明晶圆属于损坏状态，从而让本实用新型能够把该晶圆放入对应的位置进行处理，避免损坏的晶圆进入后续的加工。
20.同时，检测件4的设置，实现了高低不平的框架固晶品质，更容易保证胶水厚薄的一致性。
21.在本实施例中，检测件4包括端子42连接器41以及端子42，端子42连接器41与所述力臂件2连接，端子42安装于端子42连接器41。即通过端子42与晶圆接触实现导通，该端子42连接器41则是让端子42能够可靠固定在力臂件2上，以保证在移动时不会发生掉落。
22.在本实施例中，所述力臂件2设置有两个铆压孔21，铆压孔21内设置有铆合件22，铆合件22螺接有固定螺钉23，固定螺钉23用于把端子42连接器41与铆合件22进行固定。
23.实际使用时，为了让本实用新型结构更为紧凑，两个固定螺钉23彼此抵触，使得两个检测件4经固定螺钉23实现固定，从而只需与外界电源接触即可实现供电。
24.在本实施例中，所述力臂件2设置有安装件24，所述安装件24与所述力臂件2之间设置有弹性件5；所述拾取件3设置于所述安装件24。该安装件24的设置，实现了让拾取件3具有垂直于力臂件2升降的效果，相较于现有技术使得本实用新型具有减少芯片表面摩擦损伤的优势。
25.而弹性件5的设置，即是让拾取件3具有一定的缓冲，让拾取件3拾取固晶时能够减少对于固晶的冲击力，以减少拾取时对于芯片正反面的损伤。
26.具体的，拾取件3优选为吸嘴，即拾取件3与固晶接触后，通过负压的方式吸住固晶以进行移动，保证了拾取的稳定性。
27.具体的，所述力臂件2设置有弹孔28，所述弹性件5装设于所述弹孔28内，所述安装件24与所述弹孔28抵触。通过弹性件5的设置，用于调节拾取件3的弹力，使得拾取件3具有一定的缓冲效果以避免在于晶圆接触时使其造成损伤。而本实用新型中，该弹性件5优选为弹簧。
28.具体的，所述安装件24设置有第一夹持部25，所述第一夹持部25连接有弧形部26，所述弧形部26连接有第二夹持部27，所述第一夹持部25、所述弧形部26与所述第二夹持部
27之间形成用于安装拾取件3的安装孔；所述第一夹持部25与所述第二夹持部27通过螺钉进行固定。即第一夹持部25、弧形部26与第二夹持部27构成箍状结构，用于让拾取件3安装至安装孔后，通过第一夹持部25与第二夹持部27之间进行锁螺丝，从而实现对于拾取件3的锁住效果，也便于工作人员更换拾取件3。
29.此外，本实用新型的力臂件2为中空结构，力臂件2内设置有加强筋，从而起到了降低力臂件2重量的效果，便于进行高精度的移动。
30.以上所述，仅是本实用新型较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型以较佳实施例公开如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当利用上述揭示的技术内容作出些许变更或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型技术是指对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
技术特征：
1.一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，其特征在于：所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于与外界的晶圆抵触并与该晶圆构成闭合回路。2.根据权利要求1所述的固晶摆臂装置，其特征在于：检测件包括端子连接器以及端子，端子连接器与所述力臂件连接，端子安装于端子连接器。3.根据权利要求1所述的固晶摆臂装置，其特征在于：所述力臂件设置有两个铆压孔，铆压孔内设置有铆合件，铆合件螺接有固定螺钉，固定螺钉用于把端子连接器与铆合件进行固定。4.根据权利要求3所述的固晶摆臂装置，其特征在于：两个固定螺钉彼此抵触。5.根据权利要求1所述的固晶摆臂装置，其特征在于：所述力臂件设置有安装件，所述安装件与所述力臂件之间设置有弹性件；所述拾取件设置于所述安装件。6.根据权利要求5所述的固晶摆臂装置，其特征在于：所述安装件设置有第一夹持部，所述第一夹持部连接有弧形部，所述弧形部连接有第二夹持部，所述第一夹持部、所述弧形部与所述第二夹持部之间形成用于安装拾取件的安装孔；所述第一夹持部与所述第二夹持部通过螺钉进行固定。7.根据权利要求5所述的固晶摆臂装置，其特征在于：所述力臂件设置有弹孔，所述弹性件装设于所述弹孔内，所述安装件与所述弹孔抵触。
技术总结
本实用新型涉及晶片封装生产技术领域，尤其是指一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于与外界的晶圆抵触并与该晶圆的接触高度差检测触点的通断。本实用新型通过设置有两个检测件，经两个检测件构成闭合回路与晶圆接触的高度差判断触点的通段，通过该触点的通断判断对晶圆的接触高度的高低，达到了检测效果。果。果。
技术研发人员：刘维强 周灿 陈勇伶
受保护的技术使用者：深圳市矽谷半导体设备有限公司
技术研发日：2021.11.11
技术公布日：2022/5/30
再多了解一些
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