一种真空吸附转接垫片的制作方法

1.本发明涉及转接垫片技术领域，更具体地说是一种真空吸附转接垫片。


背景技术：

2.真空吸附把真空泵用于物体吸附时，实际上是用泵对吸盘抽真空后吸住物体，真空吸盘是一种通过真空度来维持两物体附着不分离的技术，有工业应用和民间应用之分，在工业上通过改变吸盘的真空度来实现搬运、迁移过程中的“拿”与“放”，配合实现自动化机械化，由真空吸盘与相应尺寸的转接垫片相互构成的；
3.综上所述本发明人发现，现有的真空吸附转接垫片主要存在以下缺陷：由于真空吸盘，传统的吸附是与吸附的工件是匹配的，如果换了一种工件，真空吸盘就要整体更换，使其会直接降低整体工件的加工效率；并且转接垫片通过自身的实心部位将相应晶圆进行承托，并且利用自身的众多间隙使吸盘能够将晶圆进行吸附在垫片之中，由于转接垫片存在大量的间隙缺槽，并且晶圆为光滑状态，从而在吸附未开始时晶圆容易在垫片上形成打滑难以保持平衡的现象，并且无法快速进行中心定位，以至于容易产生晶圆圆心无法校准以及产生抽气不均匀现象造成晶圆受到相应的受损情况。


技术实现要素：

4.本发明实现技术目的所采用的技术方案是：一种真空吸附转接垫片，其结构包括：主体、真空吸盘、转接垫片、晶圆，所述主体与真空吸盘为一体化结构，所述转接垫片安装于真空吸盘上端，所述晶圆设置于转接垫片上方并与真空吸盘进行吸附活动。
5.所述转接垫片设有外层、吸附间隙、内圈，所述外层内侧与吸附间隙为一体并进行间隙配合，所述内圈设置于吸附间隙内侧，所述外层为圆形形状，并且内部设置有多条吸附间隙，吸附间隙为通透状态。
6.作为本发明的进一步改进，所述外层设有中心块、腔体、辅助软体、吸头，所述中心块设置于腔体的中心位置并为一体，所述辅助软体安装于腔体外侧，所述吸头嵌入于辅助软体当中，所述中心块具有相应的磁吸效果，并且辅助软体内含有橡胶，其在腔体外侧组成圆形形状，并且侧边设有多个吸头均组成圆环形状。
7.作为本发明的进一步改进，所述吸头设有连接槽、实心块、支架、抽气端、通腔，所述连接槽嵌入于实心块下端，所述实心块上端与支架进行固定连接，所述抽气端与支架进行定位连接，所述通腔设置于抽气端下端并相通，所述连接槽为半圆空心状态，支架为实心斜状，并且抽气端内具有多个小孔。
8.作为本发明的进一步改进，所述连接槽设有定位体、转动轮、活动板、磁吸块、插入空间，所述定位体中心设有转动轮并进行间隙配合，所述活动板固定于转动轮两侧，所述磁吸块固定于活动板内侧，所述插入空间与磁吸块相通，所述转动轮两侧活动板均为弧形形状并且形成对称状态，同时设有多块磁吸块。
9.作为本发明的进一步改进，所述转动轮设有主轴、平衡杆、锁定体、衔接槽、底盘，
所述主轴外侧与平衡杆进行活动连接，所述锁定体固定于平衡杆左右两侧，所述衔接槽与锁定体相通，所述底盘与主轴为同一圆心并与衔接槽进行间隙配合，所述主轴中心设有相应的定位片，并且外侧设有四根平衡杆，进而锁定体一共设有两个，分布在主轴的左右两旁，底盘为实心状态但均与各部件具有一定的间隙。
10.作为本发明的进一步改进，所述辅助软体设有表壳、连接格、卡块、压轴、橡胶体，所述表壳侧端与衔接格为一体，所述卡块嵌入于连接格的中心，所述压轴与卡块中心进行卡合连接，所述橡胶体与压轴进行压紧活动，所述压轴为不锈钢材质所支撑，并且其表层均为抛光效果，同时连接格为半圆形状。
11.作为本发明的进一步改进，所述卡块设有凸块、内腔、实心块、限位体、卡合环，所述凸块设置于内腔上下端，所述实心块固定于内腔的四个端点，所述限位体与实心块表层相连接，所述卡合环嵌入于限位体当中并进行间隙配合，所述限位体为多方面形状，并且内侧的卡合环为圆形凹陷状态，同时具有一定的柔韧性。
12.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
13.1.本发明由转接垫片进一步改进后可通过使用转接垫片时，可直接更换转接垫片后即可进行使用更换后的垫片与真空吸盘进行相互配合，从而通过达到更换垫片即可使一个真空吸盘完成对各种尺寸晶圆的吸附，提高整体的工作效率；同时外层所装有的辅助软体效果能够有效的减缓晶圆的滑动性能，并且根据吸头与真空吸盘的相互配合下能够同一时间进行运行，使在抽气过程中保持平衡效果，进而达到均匀吸气的效果，从而能够有效的解决了光滑晶圆在转接垫片上产生的容易打滑现象，并且能够均匀的将晶圆进行吸气，防止抽气不平衡导致的晶圆受损。
14.2.本发明由辅助软体进一步改进后，通过连接格能有效的定位在外层当中，并且根据压轴能够将橡胶体进行压实，使其保持平整状态，防止凸起，进而保证了在减缓光滑晶圆的滑动性使能够保持平衡状态，同时卡块根据自身的卡合环与限位体能够大幅度提升后续对橡胶体与压轴的养护速度。
附图说明
15.图1属于一种真空吸附转接垫片的结构示意图。
16.图2属于一种转接垫片俯视整体的结构示意图。
17.图3属于一种外层改进后正视整体的结构示意图。
18.图4属于一种吸头剖视的结构示意图。
19.图5属于一种连接槽正视整体的结构示意图。
20.图6属于一种转动轮剖视的结构示意图。
21.图7属于一种辅助软体改进后正视的结构示意图。
22.图8属于一种卡块正视的结构示意图。
23.图中：主体-1、真空吸盘-2、转接垫片-3、晶圆-4、外层-31、吸附间隙-32、内圈-33、中心块-311、腔体-312、辅助软体-313、吸头-314、连接槽-a1、实心块-a2、支架-a3、抽气端-a4、通腔-a5、定位体-a11、转动轮-a12、活动板-a13、磁吸块-a14、插入空间-a15、主轴-b1、平衡杆-b2、锁定体-b3、衔接槽-b4、底盘-b5、表壳-c1、连接格-c2、卡块-c3、压轴-c4、橡胶体-c5、凸块-c31、内腔-c32、实心块-c33、限位体-c34、卡合环-c35。
具体实施方式
24.以下结合附图对本发明做进一步描述：
25.实施例1：
26.图1至图6所示：
27.本发明提供一种真空吸附转接垫片，
28.其结构包括，主体1、真空吸盘2、转接垫片3、晶圆4，所述主体1与真空吸盘2为一体化结构，所述转接垫片3安装于真空吸盘2上端，所述晶圆4设置于转接垫片3上方并与真空吸盘2进行吸附活动。
29.所述转接垫片3设有外层31、吸附间隙32、内圈33，所述外层31内侧与吸附间隙32为一体并进行间隙配合，所述内圈33设置于吸附间隙32内侧，所述外层31为圆形形状，并且内部设置有多条吸附间隙32，吸附间隙32为通透状态，所述外层31通过自身的形状能够与工件形状形成相匹配，并且内部的多条吸附间隙32则能够起到对工件的真空抽气效果。
30.其中，所述外层31设有中心块311、腔体312、辅助软体313、吸头314，所述中心块311设置于腔体312的中心位置并为一体，所述辅助软体313安装于腔体312外侧，所述吸头314嵌入于辅助软体313当中，所述中心块311具有相应的磁吸效果，并且辅助软体313内含有橡胶，其在腔体312外侧组成圆形形状，并且侧边设有多个吸头314均组成圆环形状，所述中心块311通过自身的磁吸效果下能够辅助工件寻找中心点的效果，并且辅助软体313内的橡胶能够减缓工件的滑动性能，使其能够缓慢稳固在中心点当中，同时吸头314能够均匀的分布在工件底端，形成均匀抽气效果。
31.其中，所述吸头314设有连接槽a1、实心块a2、支架a3、抽气端a4、通腔a5，所述连接槽a1嵌入于实心块a2下端，所述实心块a2上端与支架a3进行固定连接，所述抽气端a4与支架a3进行定位连接，所述通腔a5设置于抽气端a4下端并相通，所述连接槽a1为半圆空心状态，支架a3为实心斜状，并且抽气端a4内具有多个小孔，所述连接槽a1通过自身的形状可将与之相连接的各部件进行定位，并且支架a3则能够将抽气端a4进行固定在中心原点当中，保证其在抽气时能够形成稳固效果，同时内部的多个小孔能够平衡气体的排出速度。
32.其中，所述连接槽a1设有定位体a11、转动轮a12、活动板a13、磁吸块a14、插入空间a15，所述定位体a11中心设有转动轮a12并进行间隙配合，所述活动板a13固定于转动轮a12两侧，所述磁吸块a14固定于活动板a13内侧，所述插入空间a15与磁吸块a14相通，所述转动轮a12两侧活动板a13均为弧形形状并且形成对称状态，同时设有多块磁吸块a14，所述转动轮a12的两侧活动板a13根据自身的形状可与各部件形成相互贴合的连接效果，并且根据对称状态可保证自身均匀地定位在原点，同时磁吸块a14则辅助其进行稳固，加强对应的固定效果。
33.其中，所述转动轮a12设有主轴b1、平衡杆b2、锁定体b3、衔接槽b4、底盘b5，所述主轴b1外侧与平衡杆b2进行活动连接，所述锁定体b3固定于平衡杆b2左右两侧，所述衔接槽b4与锁定体b3相通，所述底盘b5与主轴b1为同一圆心并与衔接槽b4进行间隙配合，所述主轴b1中心设有相应的定位片，并且外侧设有四根平衡杆b2，进而锁定体b3一共设有两个，分布在主轴b1的左右两旁，底盘b5为实心状态但均与各部件具有一定的间隙，所述主轴b1中心的定位片可为其提供相应的定点旋转功能，并且四根平衡杆b2则维持其的旋转稳定性，则两侧锁定体b3有效的将部件进行锁紧，使得部件能够与主轴b1进行一同运动。
34.本实施例的具体功能与操作流程：
35.本发明中，真空吸附转接垫片根据自身主体1、真空吸盘2与转接垫片3能够形成对应的真空抽气系统，进而相应尺寸的晶圆4放入转接垫片3上时即可进行快速抽气，从而达到完整的工作效果，(在更换不同尺寸的晶圆4进行工作时需进行更换转接垫片3，从而达到尺寸对应的效果，并且更换工件的同时需连同真空吸盘2进行更换)；根据整体部件的改进后，在对不同尺寸的晶圆进行吸附加工时，可直接通过更换转接垫片3后即可进行使用并且通过更换转接垫片3后，一个真空吸盘2即可完成对各种尺寸晶圆的吸附加工效果；同时转接垫片3的外层31与吸附间隙32能够与真空吸盘2进行一同工作，并且外层31的中心块311能够对晶圆4的中心定位起到相应的辅助作用，同时腔体312外侧的辅助软体313能够大幅度减缓晶圆4的滑动性能，断绝了晶圆4放置后未开启工作时而产生的位置大幅度偏移，同时侧边的多个吸头314根据自身连接槽a1能将实心块a2与支架a3定位在辅助软体313当中，并且支架a3侧边的抽气端a4与通腔a5均与真空吸盘a2相通，形成一同运作的效果，其可提高晶圆4在真空抽气时的稳定效果，防止受力不均匀而产生对晶圆4的损坏现象，进而连接槽a1根据自身定位体a11能将转动轮a12定位在活动板a13上端形成带动活动板a13运动的效果，以至于磁吸块a14能够加固整体的定位效果，防止运作过程中产生的震动情况，同时转动轮a12通过主轴b1运动时能通过平衡杆b2形成稳定运动，并且可根据锁定体b3与衔接槽b4的夹持能为整体的拆卸起到便捷效果；综上所述通过各个部件的相互配合下能够有效的解决了光滑晶圆在转接垫片上产生的容易打滑现象，并且能够均匀的将晶圆进行吸气，防止抽气不平衡导致的晶圆受损，同时能对各部件的后续拆卸养护提供相应的便捷性。
36.实施例2：
37.图7至图8所示：
38.本发明提供一种真空吸附转接垫片，
39.其结构包括，所述辅助软体313设有表壳c1、连接格c2、卡块c3、压轴c4、橡胶体c5，所述表壳c1侧端与衔接格c2为一体，所述卡块c3嵌入于连接格c2的中心，所述压轴c4与卡块c3中心进行卡合连接，所述橡胶体c5与压轴c4进行压紧活动，所述压轴c4为不锈钢材质所制成，并且其表层均为抛光效果，同时连接格c2为半圆形状，所述压轴c4通过自身的不锈钢材质能够有效的延长自身的使用周期，进而表层的抛光效果能够防止持续固定时对内部橡胶体c5造成刮擦损坏现象，并且连接格c2的半圆形状即可与各部件形成相互匹配达到定位作用。
40.其中，所述卡块c3设有凸块c31、内腔c32、实心块c33、限位体c34、卡合环c35，所述凸块c31设置于内腔c32上下端，所述实心块c33固定于内腔c32的四个端点，所述限位体c34与实心块c33表层相连接，所述卡合环c35嵌入于限位体c34当中并进行间隙配合，所述限位体c34为多方面形状，并且内侧的卡合环c35为圆形凹陷状态，同时具有一定的柔韧性，所述限位体c34根据自身的形状其可将卡合环c35进行限位在中心原点，并且部件在卡合之前需将自身形状调整为与限位体c34、卡合环c35相同的形状，同时柔韧性可加强两者之间的连接性能。
41.本实施例的具体功能与操作流程：
42.本发明中，通过实施例1的基础效果下，所使辅助软体313进一步改进后，所使辅助软体313的表壳c1能够通过连接格c2进行定位，同时卡块c3与压轴c4能够形成卡合效果，达
到压轴c4能将表壳c1内的橡胶体c5进行压实，防止橡胶体c5持续使用而产生的凸起现象，并且卡块c3进一步改进后，自身内腔c32的实心块c33能够将限位体c34锁紧，使其保持在原点，为卡合环c35提供相应的位置锁定效果，从而卡合环c35能够与压轴c4进行相互卡住，进而形成两者固定在原点的效果，综上所述通过各个部件的相互配合下能够有效的在减缓光滑晶圆4的滑动性使能够保持平衡状态，同时卡块c3根据自身的卡合环c35与限位体c34能够大幅度提升后续对橡胶体c5与压轴c4的养护速度。
43.利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。