具有温度补偿的电阻真空规、电阻真空计的制作方法

1.本实用新型涉及电阻真空规技术领域，具体涉及一种具有温度补偿的电阻真空规、电阻真空计。


背景技术：

2.电阻真空规是皮拉尼在1906年发明的，故又称皮拉尼规，由于它具有构造简单、反映总压强、是电的测量形式故能连续读数及实现自动控制、热电阻丝工作温度低故不致引起气体成分的改变、暴露大气也不烧毁、可在磁场环境或辐射环境中工作等一系列优点，故能得到广泛应用，长期以来一直是低真空的主要测量工具，电阻真空规的热电阻丝热敏是随压力而变化的，由于压力的改变导致热电阻丝电阻的变化，测量热电阻丝的电阻的变化来测量真空度。此规要求热电阻丝具有大的电阻热敏系数，以提高灵敏度；还要求热电阻丝具有良好的化学稳定性，以减少零点漂移。通过惠斯通电桥、定温原理使丝的电阻固定下来后,测定了在该温度下的气体热传导。传统的zj-52t电阻真空规环境温度的影响比较大，在长时间使用时，会出现真空测量漂移的现象，传统的办法是增加校准功能，但用户使用时增加了工序，也带来了一些不方便。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是传统的zj-52t电阻真空规环境温度的影响比较大，在长时间使用时，会出现真空测量漂移的现象，目的在于提供一种具有温度补偿的电阻真空规、电阻真空计，通过增加温度补偿电阻抵消环境温度，避免了电阻真空规使用时间长产生热敏漂移的问题，提高了电阻真空规测量的准确率。
4.本实用新型通过下述技术方案实现：
5.本实用新型一方面提供一种具有温度补偿的电阻真空规，包括热电阻丝、热敏电阻、底座和若干个接线引脚，所述接线引脚贯穿底座，所述热电阻丝和热敏电阻均连接在底座一侧的接线引脚上。
6.本实用新型由于在测量真空时，由于环境温度的变化会导致热电阻丝测量电压发生变化，通过在接线引脚上连接热电阻丝和热敏电阻，当环境温度改变时，通过热敏电阻连抵消热电阻丝变化的电压值，得到标准的电压值，通过增加热敏电阻抵消环境温度，避免了电阻真空规使用时间长产生热敏漂移的问题，提高了电阻真空规测量的准确率。
7.进一步的，所述底座连接管壳，所述底座与管壳连接形成一密封腔体，所述热电阻丝和热敏电阻封装在腔体内。
8.进一步的，所述接线引脚设置有八个，所述八个接线引脚分别为第一接线引脚、第二接线引脚、第三接线引脚、第四接线引脚、第五接线引脚、第六接线引脚、第七接线引脚、第八接线引脚，所述热电阻丝两端通过引线分别连接第二接线引脚和第三接线引脚，所述热敏电阻两端通过引线分别连接第一接线引脚与第四接线引脚，所述热电阻丝与热敏电阻并联，所述热敏电阻用于抵消环境温度对温度较高的电路产生的影响。提高电阻真空规测
量时的抗干扰性能。
9.进一步的，所述管壳为金属外壳封装且通过引线与第八接线引脚连接。所述管壳与第八接线引脚连接用于屏蔽接地，为了防止电磁干扰，在屏蔽体与地或干扰源的金属壳体之间所做的永久良好的电气连接。
10.进一步的，所述管壳为玻璃外壳封装。通过玻封结构保证管体内的密封性能良好，保证电阻真空规的绝缘性，提高使用寿命。
11.进一步的，所述热敏电阻为100kntc型电阻。用于在高温环境中稳定使用。
12.本实用新型第二方面提供一种具有温度补偿的电阻真空计，包括测量仪器电路和上述具有温度补偿的电阻真空规。
13.本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
14.减小了环境温度对真空测量的影响，避免了电阻真空规使用时间长产生热敏漂移的问题，提高了测量准确率，提高了使用寿命。
附图说明
15.此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本技术的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：
16.图1为本实用新型实施例中的内部连接结构示意图；
17.图2为本实用新型实施例中的玻璃封装结构示意图；
18.图3为本实用新型实施例中的金属封装结构示意图；
19.图4为本实用新型实施例中的温度补偿电路图。
20.附图中标记及对应的零部件名称：
21.100-热电阻丝100，200-热敏电阻200，300-底座300，400-接线引脚，500-管壳500， 1-第一接线引脚，2-第二接线引脚，3-第三接线引脚，4-第四接线引脚，5-第五接线引脚， 6-第六接线引脚，7-第七接线引脚，8-第八接线引脚。
具体实施方式
22.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。
23.实施例1
24.如图1所示，本实施例1提供一种具有温度补偿的电阻真空规包括热电阻丝100、热敏电阻200、底座300和若干个接线引脚400，接线引脚400贯穿底座300，热电阻丝100和热敏电阻200均连接在底座300一侧的接线引脚400上，底座300连接管壳500，底座300与管壳500连接形成一密封腔体，热电阻丝100和热敏电阻200封装在腔体内，接线引脚400 设置有八个，八个接线引脚400分别为第一接线引脚1、第二接线引脚2、第三接线引脚3、第四接线引脚4、第五接线引脚5、第六接线引脚6、第七接线引脚7、第八接线引脚8，热电阻丝100通过引线连接第二接线引脚2和第三接线引脚3，热敏电阻200两端通过引线分别连接第一接线引脚1和第四接线引脚4，第八接线引脚8与管壳500连接，热电阻丝100 与热敏电阻200并联，热敏电阻200用于抵消环境温度对温度较高的电路产生的影响，提高电阻真空规测量时的
抗干扰性能，将热电阻丝100和热敏电阻200封装在管壳500内，提高电阻真空规的耐用性，密封性能好，保证电阻真空规的绝缘性，提高使用寿命，由于环境温度的变化会导致热电阻丝100测量电压发生变化，通过在接线引脚400上连接热电阻丝100 和热敏电阻200，当环境温度改变时，通过热敏电阻200与热电阻丝100并联，在形成的电桥中保持平衡来抵消热电阻丝100变化的电压值，得到更准确的电压值，通过增加温度补偿电阻抵消环境温度，避免了电阻真空规使用时间长产生热敏漂移的问题，提高了电阻真空规在对真空进行测量时的准确率。
25.在测量真空时，若环境温度发生改变如从 5度变化到 10度，其热电阻丝100的测量电压就会发生改变，加上100kntc型电阻后，可通过算法补偿来抵消环境温度变化而改变的电压值，比如温度变化了5℃，热电阻丝100的驱动电压变化了25mv,我们通过测量的变化5℃ (mcu单片机)，把这变化的25mv，加上或减去。得到标准的电压值。在这样的措施下，可使 zj-52t电阻真空规可长时间较好的准确测量。
26.在一些可能的实施例中，热敏电阻200型号为b57861s0104f040，通过环氧树脂进行封装，该热敏电阻200能够进行高精度测量，热敏电阻200温度系数类型为100kntc型电阻， 100kkntc热敏电阻200一般使用在高温的产品应用上，一般在100-250℃的高温环境，用于在高温环境中稳定使用。
27.在一些可能的实施例中，热电阻丝100设置为螺旋柱状增大热电阻丝100的长度，提高热电阻丝100的电阻，提高热电阻丝100的热功率，减少环境温度对热电阻丝100的影响，热电阻丝100的温度是随压力而变化的，由于环境温度的改变导致热电阻丝100的电阻变化，通过测量电阻的变化来测量真空度，此规要求热电阻丝100具有大的电阻温度系数，以提高灵敏度；还要求热电阻丝100具有良好的化学稳定性，以减少零点漂移，热电阻丝100的材料多为钨丝、铂丝和镍丝。
28.在一些可能的实施例中，管壳500为玻璃外壳封装，使用玻璃外壳其密封性能好。
29.在一些可能的实施例中，管壳500为金属外壳封装，金属外壳具有耐用，拆卸热电阻丝 100方便等优点，可以提高整个电阻真空规的使用寿命，管壳500连接第八接线引脚8，管壳 500与第八接线引脚8连接用于屏蔽接地，为了防止电磁干扰，在屏蔽体与地或干扰源的壳体之间所做的永久良好的电气连接。
30.实施例2
31.如图4所示，p7中的p7-1和p7-2连接电阻真空规的第二接线引脚2和第三接线引脚3， p7-3和p7-4接电阻真空规的第一接线引脚1和第四接线引脚4，次电路是保证电阻真空规第一接线引脚1和第二接线引脚2工作在200℃左右，在大气下，空气的密度是恒定的，空气分子所带走的热电阻丝100的热量也是恒定的，即热电阻丝100所需的功率也是恒定的，图中电阻r48、电阻真空规的热电阻丝100、电阻r46、电阻r45、电阻rp5和电阻真空规的热敏电阻200构成电桥电路，电桥平衡时运放lm258驱动三极管tip41的电流也是恒定的，在测试腔体抽真空时，随着真空度的增高，空气的分子量减少，能带走的电阻真空规中的热电阻丝100的热量也就减少，这时所需要的加热电流也会减小，这样就可以测量真空所对应的电压值，电阻真空规中设置的热敏电阻200是与r46并联的，可以抵消环境温度对加热电阻丝100测量时电压变化的影响。当环境温度变化时，减小或增大平衡臂的电阻，使电桥始终保持在出产的设定值，当温度低于200℃时，此时电桥为不平衡状态，运算放大器同相输入端电压
大于反向输入端电压，即u5》u6，此时脉冲为高电平，三极管电流增大，导通时间变长，温度逐渐升高，当温度高于200℃时，运算放大器反向输入端电压大于同相输入端电压，即u6》u5，此时输入脉冲为低电平，三极管电流减小，温度逐渐减小，不断循环保持电路中的温度恒定，保持测量稳定性，提高测量精度。
32.实施例3
33.本实施例第二方面提供具有温度补偿的一种电阻真空计，包括测量仪器电路和上述实施例1中的具有温度补偿的电阻真空规，电阻真空计选用zj－52t型电阻真空规管作配套传感器进行测量，在进行测量时与被测真空系统相接的电阻真空规的热电阻丝100由测量电路用一定的电压或电流进行加热。
34.以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。