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一种用于芯片检测的芯片支撑装置的制作方法

2022-05-31 04:48:37 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及芯片检测技术领域,具体为一种用于芯片检测的芯片支撑装置。


背景技术:

2.芯片,又称微电路、微芯片、集成电路,是指内含集成电路的硅片,体积小,是计算机或其他电子设备的一部分,并时常制造在半导体晶圆表面上;芯片在出厂质检、回收品检查、使用性能检测等情况时都需对芯片进行检测,而在检测之前,需要治具对芯片进行定位和支撑,传统的支撑装置在定位芯片时,存在装夹不够快捷的缺陷,鉴于此,本实用新型提出一种用于芯片检测的芯片支撑装置。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种用于芯片检测的芯片支撑装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于芯片检测的芯片支撑装置,包括载台,还包括转臂,所述载台上部的外侧固定有多个第一固定座,每个第一固定座上均通过第一螺栓与所述转臂的中部转动连接,所述转臂的上端固定有垫板,所述垫板的下部固定有垫,所述载台下部的外侧固定有多个导向套座,每个导向套座中均滑动连接有伸缩杆,所述伸缩杆的外端通过第二螺栓与所述转臂的下端转动连接,所述载台的下部开设有固定槽,所述伸缩杆的内端穿进所述固定槽中,所述固定槽中还设置有用于带动所有伸缩杆的内端同时伸或缩的伸缩机构。
5.可选的,所述伸缩机构包括圆板,所述圆板上开设有多个导槽,所述伸缩杆的内端固定有竖直的导杆,所述导杆的下端与所述导槽的内壁抵触,所述固定槽中还设置有用于带动所述圆板转动的驱动机构。
6.可选的,所述驱动机构包括电机,所述电机固定在所述固定槽的上壁,所述圆板的中部镶嵌有第一轴承,电机的输出轴与所述第一轴承的轴心套接,所述圆板的下部镶嵌有第二轴承,所述第二轴承的轴心套接有转轴,电机输出轴的下端套接有第一齿轮,所述转轴的下端套接有第二齿轮,所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合,所述固定槽的下壁套接有齿圈,所述第二齿轮与所述齿圈啮合,所述载台的下部固定有底封板。
7.与现有技术相比,本实用新型具备以下有益效果:本实用新型,能够同时带动所有的转臂转动,从而快速地实现对芯片的定位和解除定位的过程,提高检测的效率。
附图说明
8.图1为本实用新型转臂上端设置的垫板和垫板下部设置的垫的结构示意图;
9.图2为本实用新型俯视图的结构示意图;
10.图3为本实用新型沿着图2中a-a剖视图的结构示意图;
11.图4为本实用新型拆掉底封板后的结构示意图;
12.图5为本实用新型圆板上开设的导槽的结构示意图。
13.图中:1、载台;2、转臂;3、第一固定座;4、第一螺栓;5、垫板;6、垫;7、导向套座;8、伸缩杆;9、第二螺栓;10、固定槽;11、伸缩机构;12、圆板;13、导槽;14、导杆;15、驱动机构;16、电机;17、第一轴承;18、第二轴承;19、转轴;20、第一齿轮;21、第二齿轮;22、齿圈;23、底封板。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
15.实施例:请参阅图1至图5,本实用新型提供了一种用于芯片检测的芯片支撑装置,包括载台1,还包括转臂2,载台1上部的外侧固定有多个第一固定座3,每个第一固定座3上均通过第一螺栓4与转臂2的中部转动连接,使转臂2可以围绕第一螺栓4的中心做定轴式转动;转臂2的上端固定有垫板5,垫板5的下部固定有垫6,垫6比较柔软,在向下抵压芯片的时候,不易破坏芯片的表层,同时还能起到对芯片定位的作用;载台1下部的外侧固定有多个导向套座7,每个导向套座7中均滑动连接有伸缩杆8,伸缩杆8的外端通过第二螺栓9与转臂2的下端转动连接,载台1的下部开设有固定槽10,伸缩杆8的内端穿进固定槽10中,当伸缩杆8向外部伸出时,带动转臂2转动,使垫6与芯片靠近直至抵压住芯片,当伸缩杆8向内部缩回时,带动转臂2转动,使垫6从芯片上方移走,便于芯片从载台1上部取走。
16.载台1的上表面是一个平面用于支撑芯片,该平面的大小和形状可以根据芯片的大小和形状定制,比如芯片为圆形时,该平面可以为圆形,为方形时,该平面可以为方形,除此外,还可以在该平面上开设有浅槽,用于放置芯片,又或者是在该平面的边缘固定上挡板。
17.固定槽10中还设置有用于带动所有伸缩杆8的内端同时伸或缩的伸缩机构11。伸缩机构11包括圆板12,圆板12上开设有多个导槽13,伸缩杆8的内端固定有竖直的导杆14,导杆14的下端与导槽13的内壁抵触,固定槽10中还设置有用于带动圆板12转动的驱动机构15;导槽13具有一个远端和一个近端,远近是针对离圆板12的圆心距而言的,当驱动机构15驱动圆板12转动时,导杆14随导槽13位移到近端时,此时伸缩杆8回缩,位移到远端时,此时伸缩杆8伸出,从而实现如上文所述的转臂2转动的过程。
18.驱动机构15包括电机16,电机16固定在固定槽10的上壁,圆板12的中部镶嵌有第一轴承17,电机16的输出轴与第一轴承17的轴心套接,圆板12的下部镶嵌有第二轴承18,第二轴承18的轴心套接有转轴19,电机16输出轴的下端套接有第一齿轮20,转轴19的下端套接有第二齿轮21,第二齿轮21与第一齿轮20啮合,固定槽10的下壁套接有齿圈22,第二齿轮21与齿圈22啮合,齿圈22是静止不动的;在电机16启动后,可以带动第一齿轮20转动,通过第一齿轮20与第二齿轮21的啮合、第二齿轮21与齿圈22的啮合,从而可以带动圆板12转动,该设计类似于行星减速机的设计,此时的圆板12充当行星架的作用,从而达到可以降低电机16转速的目的,使圆板12的转动更平稳。
19.载台1的下部固定有底封板23,用于封堵住载台1的下部,起到防尘作用。
20.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:
1.一种用于芯片检测的芯片支撑装置,包括载台(1),其特征在于:还包括转臂(2),所述载台(1)上部的外侧固定有多个第一固定座(3),每个第一固定座(3)上均通过第一螺栓(4)与所述转臂(2)的中部转动连接,所述转臂(2)的上端固定有垫板(5),所述垫板(5)的下部固定有垫(6),所述载台(1)下部的外侧固定有多个导向套座(7),每个导向套座(7)中均滑动连接有伸缩杆(8),所述伸缩杆(8)的外端通过第二螺栓(9)与所述转臂(2)的下端转动连接,所述载台(1)的下部开设有固定槽(10),所述伸缩杆(8)的内端穿进所述固定槽(10)中,所述固定槽(10)中还设置有用于带动所有伸缩杆(8)的内端同时伸或缩的伸缩机构(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片检测的芯片支撑装置,其特征在于:所述伸缩机构(11)包括圆板(12),所述圆板(12)上开设有多个导槽(13),所述伸缩杆(8)的内端固定有竖直的导杆(14),所述导杆(14)的下端与所述导槽(13)的内壁抵触,所述固定槽(10)中还设置有用于带动所述圆板(12)转动的驱动机构(15)。3.根据权利要求2所述的一种用于芯片检测的芯片支撑装置,其特征在于:所述驱动机构(15)包括电机(16),所述电机(16)固定在所述固定槽(10)的上壁,所述圆板(12)的中部镶嵌有第一轴承(17),电机(16)的输出轴与所述第一轴承(17)的轴心套接,所述圆板(12)的下部镶嵌有第二轴承(18),所述第二轴承(18)的轴心套接有转轴(19),电机(16)输出轴的下端套接有第一齿轮(20),所述转轴(19)的下端套接有第二齿轮(21),所述第二齿轮(21)与所述第一齿轮(20)啮合,所述固定槽(10)的下壁套接有齿圈(22),所述第二齿轮(21)与所述齿圈(22)啮合,所述载台(1)的下部固定有底封板(23)。

技术总结
本实用新型涉及芯片检测技术领域,具体为一种用于芯片检测的芯片支撑装置,包括载台,还包括转臂,所述载台上部的外侧固定有多个第一固定座,每个第一固定座上均通过第一螺栓与所述转臂的中部转动连接,所述转臂的上端固定有垫板,所述垫板的下部固定有垫,所述载台下部的外侧固定有多个导向套座,每个导向套座中均滑动连接有伸缩杆,所述伸缩杆的外端通过第二螺栓与所述转臂的下端转动连接,所述载台的下部开设有固定槽,所述固定槽中还设置有用于带动所有伸缩杆的内端同时伸或缩的伸缩机构。本实用新型,能够同时带动所有的转臂转动,从而快速地实现对芯片的定位和解除定位的过程,提高检测的效率。提高检测的效率。提高检测的效率。


技术研发人员:陈力颖
受保护的技术使用者:天津力芯伟业科技有限公司
技术研发日:2021.12.15
技术公布日:2022/5/30
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