缓冲机构及电子元件检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及电子元件测试技术领域，尤其是涉及一种缓冲机构及电子元件检测装置。


背景技术：

2.电子元件测试的目的是剔除在设计和生产过程中失效和潜在的失效电子元件，防止不良品流入客户。
3.测试头是电子元件测试装置的主要部件，测试头的下压压力精密控制技术及自适应调整技术直接影响电子元件的检测速度和准确度。现有的电子元件检测装置测试头下压时对电子元件施加的压力骤增，存在易导致电子元件损坏的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种缓冲机构及电子元件检测装置，以缓解现有技术中存在的电子元件检测装置测试头下压对电子元件施加的压力骤增，导致电子元件损坏的技术问题。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型所提供的技术方案在于：
6.本实用新型提供的缓冲机构包括第一支撑板、第二支撑板和减震件；
7.所述减震件包括主体、第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部设于所述主体的两端；
8.所述减震件位于所述第一支撑板和所述第二支撑板之间，且所述第一限位部与所述第一支撑板连接，所述第二限位部与所述第二支撑板连接。
9.可选地，所述第一支撑板和所述第二支撑板均包括安装板、过渡板和固定板，所述安装板和所述固定板与所述过渡板呈夹角设置，且分别与所述过渡板的两端连接，所述安装板和所述固定板位于所述过渡板的同侧；
10.所述第一支撑板的所述固定板位于所述第二支撑板的所述安装板和所述固定板之间，且所述第二支撑板的所述固定板位于所述第一支撑板的所述安装板和所述固定板之间；
11.所述减震件位于两个所述固定板之间。
12.可选地，所述固定板设有通孔，所述通孔沿所述固定板的厚度方向贯穿；
13.所述第一限位部固定于所述第一支撑板的所述通孔内；
14.所述第二限位部固定于所述第二支撑板的所述通孔内。
15.第二方面，本实用新型提供的电子元件检测装置包括下压机构、压紧件、测试座和如上述任一项所述的缓冲机构；
16.所述缓冲机构的第一支撑板与所述压紧件连接，所述缓冲机构的第二支撑板与所述下压机构连接；
17.所述压紧件与所述测试座相对设置，所述下压机构配置为驱动所述压紧件靠近或
远离所述测试座。
18.可选地，所述下压机构包括驱动组件、从动组件和连接组件；
19.所述从动组件一端与所述驱动组件固定连接，另一端与所述连接组件传动连接；
20.所述连接组件背离所述从动组件的一端与所述缓冲机构的所述第二支撑板连接。
21.可选地，所述从动组件包括膜片气缸，所述膜片气缸包括上盖板、下盖板、膜片和活塞；
22.所述膜片位于所述上盖板和所述下盖板之间，且所述上盖板与所述膜片围合形成密闭空腔，所述活塞部分插设于所述下盖板的通槽内；
23.所述驱动组件与所述上盖板背离所述下盖板的一侧连接；
24.所述连接组件与所述活塞背离所述上盖板的一端连接。
25.可选地，所述连接组件包括活塞连接盘和连接板；
26.所述活塞连接盘与所述从动组件连接，所述连接板与所述缓冲机构的所述第二支撑板连接；
27.所述活塞连接盘与所述连接板相对设置，且活塞连接盘与所述连接板之间留有缝隙。
28.可选地，所述活塞连接盘与所述连接板之间设有复位组件；
29.所述复位组件包括复位帽、复位球体、球体固定帽和弹性组件；
30.所述复位帽设于所述活塞连接盘与所述连接板相对的表面的第一凹孔内；
31.所述球体固定帽和所述弹性组件设于所述连接板与所述活塞连接盘相对的表面的第二凹孔内；
32.所述复位球体嵌于所述球体固定帽内，且所述复位球体分别与位于所述球体固定帽两侧的所述复位帽和所述弹性组件抵接。
33.可选地，所述活塞连接盘与所述连接板之间还设有晃动组件；
34.所述复位组件和所述晃动组件均设置有多个，多个所述复位组件和多个所述晃动组件沿所述连接板的周向交错设置。
35.可选地，所述晃动组件包括支柱、大挡圈、小挡圈和滚珠；
36.所述大挡圈和所述小挡圈插设于所述连接板的阶梯孔内，所述大挡圈、所述小挡圈和所述阶梯孔的内壁围合形成用于容纳所述滚珠的空间；
37.所述支柱从所述连接板背离所述活塞连接盘的一侧依次穿过所述大挡圈和所述小挡圈，并与所述活塞连接盘螺纹连接，且所述支柱与所述大挡圈和所述小挡圈间隙配合。
38.综合以上技术方案，本实用新型所能实现的技术效果分析如下：
39.本实用新型提供的缓冲机构包括第一支撑板、第二支撑板和减震件；减震件包括主体、第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部位于主体的两侧；减震件位于第一支撑板和第二支撑板之间，且第一限位部与第一支撑板连接，第二限位部与第二支撑板连接。该缓冲机构适用于电子元件检测装置中，具体可设于电子元件检测装置的测试头上，当测试头与测试底座接触时，第一支撑板或第二支撑板受到冲击力时，减震件可缓冲部分冲击力；避免测试头下压时对电子元件施加的压力骤增，导致电子元件的损坏。
附图说明
40.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
41.图1为本实用新型实施例提供的缓冲机构的立体示意图一；
42.图2为本实用新型实施例提供的缓冲机构的立体示意图二；
43.图3为图1中减震件的立体示意图；
44.图4为图1中第一支撑板的立体示意图；
45.图5为本实用新型实施例提供的电子元件检测装置的示意图；
46.图6为图5中膜片气缸的示意图；
47.图7为本实用新型实施例提供的复位组件的示意图一；
48.图8为图7中复位组件的示意图二；
49.图9为本实用新型实施例提供的晃动组件的示意图一；
50.图10为图9中晃动组件的示意图二。
51.图标：
52.100-第一支撑板；200-第二支撑板；110-安装板；111-安装孔；120-过渡板；130-固定板；131-通孔；132-凹槽；300-减震件；310-主体；320-第一限位部；321-插入段；322-凸出段；330-第二限位部；400-下压机构；410-驱动组件；411-下压块；420-膜片气缸；430-活塞连接盘；431-第一凹孔；440-连接板；441-第二凹孔；442-阶梯孔；421-上盖板；422-下盖板；423-通槽；424-膜片；425-活塞；500-压紧件；600-测试座；700-复位组件；710-复位帽；720-复位球体；730-球体固定帽；740-弹性组件；741-推杆；742-弹簧；743-限位块；800-晃动组件；810-支柱；820-大挡圈；830-小挡圈；840-滚珠。
具体实施方式
53.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
54.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
55.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
56.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和
操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
57.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
58.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
59.下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
60.测试头是电子元件测试装置的主要部件，现有的电子元件检测装置测试头下压时对电子元件施加的压力骤增，存在易导致电子元件损坏的问题。
61.有鉴于此，本实用新型实施例提供的缓冲机构包括第一支撑板100、第二支撑板200和减震件300；减震件300包括主体310、第一限位部320和第二限位部330，第一限位部320和第二限位部330设于主体310的两端；减震件300位于第一支撑板100和第二支撑板200之间，且第一限位部320与第一支撑板100连接，第二限位部330与第二支撑板200连接。该缓冲机构适用于电子元件检测装置中，具体可设于电子元件检测装置的测试头上，当测试头与测试底座接触时，第一支撑板100或第二支撑板200受到冲击力时，减震件300可缓冲部分冲击力；避免测试头下压时对电子元件施加的压力骤增，导致电子元件的损坏。
62.实施例一
63.以下对缓冲机构的形状和结构进行详细说明：
64.本实用新型实施例可选方案中，请参见图1至图4，第一支撑板100和第二支撑板200均包括安装板110、过渡板120和固定板130；安装板110和固定板130与过渡板120的两端连接，且安装板110和固定板130均与过渡板120呈夹角设置，安装板110和固定板130位于过渡板120的同侧；第一支撑板100的固定板130位于第二支撑板200的安装板110和固定板130之间，且第二支撑板200的固定板130位于第一支撑板100的安装板110和固定板130之间；减震件300位于两个固定板130之间。
65.第一支撑板100和第二支撑板200倒装交叉设置，实现将减震件300夹设于两个固定板130之间；当缓冲机构受到冲击力时，倒装交叉的结构延长了冲击力的传递路径，提高了缓冲机构的缓冲效果；且过渡板120的设置，有助于提高缓冲机构受到水平方向的冲击力时的缓冲效果，且避免水平方向的冲击力直接作用于减震件300，对减震件300造成破坏。
66.本实用新型实施例可选方案中，安装板110、过渡板120和固定板130一体连接。
67.安装板110、过渡板120和固定板130一体连接，增强了第一支撑板100和第二支撑板200的内部连接强度，延长了第一支撑板100和第二支撑板200的使用寿命。当然，其他的连接方式，例如粘接、卡扣连接等也应当在本实用新型实施例的保护范围之内。
68.本实用新型实施例可选方案中，安装板110设有安装孔111，安装孔111沿安装板110的厚度方向贯穿。
69.安装板110设有安装孔111，方便将缓冲机构与其他配件连接。较为优选地，安装孔111设有两个，两个安装孔111沿安装板110的长度方向间隔设置，提高缓冲机构的安装稳定性。
70.本实用新型实施例可选方案中，固定板130设有通孔131，通孔131沿固定板130的厚度方向贯穿；第一限位部320固定于第一支撑板100的通孔131内；第二限位部330固定于第二支撑板200的通孔131内。
71.具体地，请参见图1至图4，本实施例中，第一限位部320和第二限位部330均包括插入段321和凸出段322，插入段321一端与主体310连接，另一端与凸出段322连接，且凸出段322的截面尺寸大于插入段321的截面尺寸。装配状态下，插入段321插设于固定板130的通孔131内，凸出段322靠近插入段321的端面与固定板130背离安装板110的端面贴合。当然，其他的限位结构，例如减震件300的两端分别与第一支撑板100和第二支撑板200的固定板130通过螺钉连接等也应当在本实用新型实施例的保护范围之内。
72.第一限位部320固定于第一支撑板100的通孔131内，第二限位部330固定于第二支撑板200的通孔131内，实现减震件300固定于第一支撑板100和第二支撑板200之间，起到减震缓冲作用；另外，此种限位结构，利用了减震件300本身结构进行安装，避免采用其他紧固件安装时对减震件300进行的开孔操作，进而避免降低减震件300的减震效果，延长了减震件300的使用寿命。较为优选地，减震件300由弹性材料制成，依靠自身弹性力将第一限位部320和第二限位部330对应挤压至第一支撑板100和第二支撑板200的通孔131内。
73.本实用新型实施例可选方案中，固定板130背离过渡板120的端面设有凹槽132，通孔131设于凹槽132的底壁。
74.具体地，减震件300的插入段321插设于通孔131内，凸出段322靠近插入段321的端面与凹槽132的底壁贴合。
75.固定板130设有凹槽132，凸出段322的端面与凹槽132的底壁贴合，避免凸出段322完全凸出于固定板130易被损坏；并且，固定板130设有凹槽132，通孔131设于凹槽132内，固定板130厚度固定时，减小了通孔131的深度，进而减小了减震件300的插入段321的长度，避免了因插入段321的长度过长，插入段321处易断裂和成本高的问题。
76.本实用新型实施例可选方案中，减震件300设置有多个，多个减震件300沿固定板130的长度和/或宽度方向间隔设置。
77.具体地，本实施例中，减震件300设置有两个，两个减震件300沿固定板130的宽度方向平行间隔设置。
78.减震件300设置多个，进一步提高了缓冲机构的缓冲效果。
79.实施例二：
80.本实用新型实施例提供的电子元件检测装置，包括了实施例一中述及的缓冲结构，因此，也具备实施例一中的一切有益效果，在此不再赘述。
81.本实用新型实施例可选方案中，请参见图5，电子元件检测装置还包括下压机构400、压紧件500、测试座600；缓冲机构的第一支撑板100与压紧件500连接，缓冲机构的第二支撑板200与下压机构400连接；压紧件500与测试座600相对设置，下压机构400配置为驱动压紧件500靠近或远离测试座600。
82.具体地，下压机构400通过缓冲机构与压紧件500连接，压紧件500与测试座600相
对设置。设备运行时，将电子元件置于测试座600内，下压机构400驱动压紧件500靠近测试座600，压紧件500在靠近测试座600时受到冲击力，冲击力经由压紧件500传递至第一支撑板100、减震件300、第二支撑板200，减震件300对部分冲击力进行缓冲，避免压紧件500靠近测试座600的过程中对芯片造成损坏；测试结束后，下压机构400驱动压紧件500远离测试座600，将电子元件取出。更进一步地，本实施例中电子元件设置为芯片，当然，其他的电子元件，例如电阻、晶体管等也应当在本实用新型实施例的保护范围之内。
83.电子元件检测装置还包括下压机构400、压紧件500、测试座600，通过下压机构400的驱动，实现压紧件500与测试座600的靠近或远离，进而实现对电子元件的检测。
84.本实用新型实施例可选方案中，下压机构400包括驱动组件410、从动组件和连接组件；从动组件一端与驱动组件410固定连接，另一端与连接组件传动连接；连接组件背离从动组件的一端与缓冲机构的第二支撑板200连接。
85.驱动组件410驱动从动组件的运行，从动组件驱动连接组件的运行，连接组件与缓冲机构连接，缓冲机构与压紧件500连接，实现下压机构400对压紧件500的驱动，进而实现对电子元件的检测。
86.本实用新型实施例可选方案中，驱动组件410包括驱动件、传动结构和下压块411，驱动件与传动结构的输入端传动连接，传动结构的输出端与下压块411固定连接；下压块411与从动组件连接。
87.具体地，本实施例中，传动结构包括同步带、小带轮、大带轮、丝杠和滑块；驱动件与小带轮传动连接，小带轮与大带轮通过同步带传动连接，大带轮与丝杠连接，滑块的一端与丝杠连接，另一端与下压块411固定连接。驱动件驱动小带轮转动，小带轮通过同步带带动大带轮转动，大带轮带动丝杠转动，丝杠带动滑块在滑轨内沿竖直方向直线运动，滑块带动下压块411沿竖直方向直线运动。较为优选地，驱动件设置为电机。当然，其他的驱动件和传动结构，例如齿轮结构等也应当在本实用新型实施例的保护范围之内。
88.驱动组件410利用驱动件和传动结构传动连接，传动结构的输出端与下压块411固定连接，实现下压机构400的竖直方向的移动，满足了电子元件检测过程中的大行程位移需求。
89.本实用新型实施例可选方案中，请参见图6，从动组件包括膜片气缸420；膜片气缸420包括上盖板421、下盖板422、膜片424和活塞425；膜片424位于上盖板421和下盖板422之间，且上盖板421与膜片424围合形成密闭空腔，活塞425部分插设于下盖板422的通槽423内；驱动组件410与上盖板421背离下盖板422的一侧连接；连接组件与活塞425背离上盖板421的一端连接。
90.具体地，上盖板421上设有进气孔和出气孔，设备运行时，向上盖板421和膜片424围合形成的密闭空腔内充气，活塞425被顶出，实现与活塞425连接的连接组件向靠近测试座600的方向移动，完成检测后，密闭空腔内放气，活塞425恢复原位，实现连接组件向远离测试座600的方向移动。
91.膜片气缸420通过控制活塞425在竖直方向的运动，实现对连接组件在竖直方向的移动，进而实现压紧件500靠近或远离测试座600。因为膜片气缸420利用对密闭空腔的充气和放气控制活塞425的运动，提高了连接组件移动行程的精确度，满足了电子元件检测过程中的行程精度需求。
92.本实用新型实施例可选方案中，连接组件包括活塞连接盘430和连接板440；活塞连接盘430与从动组件连接；连接板440与缓冲机构的第二支撑板200连接；活塞连接盘430与连接板440相对设置，且活塞连接盘430与连接板440之间留有缝隙。
93.具体地，活塞连接盘430与膜片气缸420连接，膜片气缸420的活塞425与活塞连接盘430和连接板440与缓冲机构的第二支撑板200均利用紧固件螺纹连接，当然，其他的连接方式，例如焊接等也应当在本实用新型实施例的保护范围之内。
94.连接组件包括活塞连接盘430和连接板440，连接板440与膜片气缸420连接，实现膜片气缸420对连接组件的驱动，连接板440与缓冲机构的第二支撑板200连接，实现连接组件与缓冲机构的连接。
95.本实用新型实施例可选方案中，请参见图7和图8，活塞连接盘430与连接板440之间设有复位组件700；复位组件700包括复位帽710、复位球体720、球体固定帽730和弹性组件740；复位帽710设于活塞连接盘430与连接板440相对的表面的第一凹孔431内；球体固定帽730和弹性组件740设于连接板440与活塞连接盘430相对的表面的第二凹孔441内；复位球体720嵌于球体固定帽730内，且复位球体720分别与位于球体固定帽730两侧的复位帽710和弹性组件740抵接。
96.具体地，当压力自活塞连接盘430向下传递时，复位帽710将压力传递至复位球体720，复位球体720挤压弹性组件740压缩；当压力撤销后，弹性组件740恢复并将复位球体720顶起，从而使活塞连接盘430和连接板440之间恢复原来的相对位置；其中，球体固定帽730起到导轨的作用。更进一步地，弹性组件740包括推杆741、弹簧742和限位块743，限位块743的一端与复位球体720背离复位帽710的一端抵接，另一端与推杆741连接，弹簧742套设于推杆741上，且弹簧742的一端与限位块743的下端面抵接，另一端与第二凹孔441的底壁抵接。弹簧742套设于推杆741，推杆741对弹簧742起到支撑作用，避免弹簧742在压缩或恢复时歪斜，提高了复位组件700的稳定性。较为优选地，限位块743与推杆741一体连接。
97.复位组件700实现对压力的缓冲及活塞连接盘430的复位。
98.本实用新型实施例可选方案中，活塞连接盘430与连接板440之间还设有晃动组件800；复位组件700和晃动组件800均设置有多个，多个复位组件700和多个晃动组件800沿连接板440的周向交错设置。
99.活塞连接盘430和连接板440之间还设有晃动组件800，将活塞连接盘430和连接板440的刚性连接更改为活动连接，且依靠复位组件700可实现连接板440在竖直方向的弹性复位，提高了电子元件检测装置的定位精度；并且，当压紧件500与测试座600贴合时，压紧件500可能会产生倾斜，与压紧件500连接的连接板440受力倾斜，因为复位组件700沿连接板440的周向设置有多个，不同位置的复位组件700根据连接板440的倾斜程度压缩，不会对活塞连接盘430产生影响。
100.本实用新型实施例可选方案中，请参见图9和图10，晃动组件800包括支柱810、大挡圈820、小挡圈830和滚珠840；大挡圈820和小挡圈830插设于连接板440的阶梯孔442内，大挡圈820、小挡圈830和阶梯孔442的内壁围合形成用于容纳滚珠840的空间；支柱810依次穿过大挡圈820和小挡圈830后与活塞连接盘430螺纹连接，且支柱810与大挡圈820和小挡圈830间隙配合。
101.具体地，压紧件500与测试座600贴合时，压紧件500可能在水平方向产生晃动，则
与压紧件500连接的连接板440受力晃动，位于连接板440阶梯孔442内的大挡圈820和小挡圈830偏移，因为大挡圈820和小挡圈830与支柱810间隙配合，所以支柱810保持竖直状态，不会对活塞连接盘430产生影响；其中，滚珠840起到减小大挡圈820和小挡圈830之间的摩擦力的作用。
102.因为支柱810与大挡圈820和小挡圈830间隙配合，使连接板440相对活塞连接盘430在水平方向上具有一定的自由度，实现连接板440在水平方向的晃动，进而实现压紧件500在水平方向的晃动。
103.本实用新型实施例可选方案中，压紧件500设有定位孔，测试座600设有定位销。
104.压紧件500设有定位孔，测试座600设有定位销，实现压紧件500与测试座600的配合定位，提高定位精度。当然，压紧件500设有定位销，测试座600设有定位孔的方式也应当在本实用新型实施例的保护范围之内。
105.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。