用于离子注入机的离子加速装置的制作方法

1.本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体涉及一种用于离子注入机的离子加速装置。


背景技术：

2.离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，离子注入机一般通过离子加速装置对离子进行加速。
3.离子加速装置在对离子进行加速时，需要在真空环境中进行，当离子加速装置内环境越接近真空，加速效果就越明显，现有的离子加速装置一般通过外接抽真空装置对内部进行抽真空，在当离子加速装置产生损坏需要进行维修时，需要将外接的抽真空装置停机才能进行维修，但是在抽真空装置停机后，外部的空气容易进入到离子加速装置内，从而在离子加速装置维修后，需要再次由抽真空装置进行抽真空，不利于重新启动后的离子加速装置快速到达真空状态，从而造成不必要的时间损失，影响效率。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于离子注入机的离子加速装置，能够减少在抽真空装置停机后，外部的空气进入到离子加速装置内。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种用于离子注入机的离子加速装置，其特征在于，包括：
6.本体，所述本体内设有加速腔；
7.连接管，所述连接管固定在本体外壁上并与加速腔联通，所述连接管用于与真空装置连接；
8.防漏机构，所述防漏机构设置于连接管内，所述防漏机构用于防止撤离真空装置时，外部的空气会漏入到加速腔内，所述防漏机构包括：
9.承接套，所述承接套套装固定于连接管内部，所述承接套的外壁贴合于连接管的内壁，所述承接套上设有通气孔，所述承接套内部设有密封段，所述密封段沿着朝向通气孔的方向直径依次减小，并形成倾斜的密封侧壁；
10.固定座，所述固定座设置于连接管内，并能沿水平方向在连接管内移动；
11.弹性伸缩件，所述弹性伸缩件一端固定在固定座远离外部的一侧上，另一端朝向承接套延伸作为连接端；
12.钢球，所述钢球固定在连接端上，所述钢球在弹性伸缩件的作用下抵接于密封侧壁构成两者之间的密封配合，以将通气孔封闭。
13.本实用新型进一步设置为：所述连接管内设有支撑导轨，所述支撑导轨固定于承接套和固定座之间的连接管内壁，所述支撑导轨对称设置于钢球两侧，并分别抵接于钢球两侧，用于对钢球进行定位。
14.本实用新型进一步设置为：所述支撑导轨内设有滑槽，所述固定座外周设有与滑槽对应的滑块，所述滑块与滑槽构成滑移配合，所述固定座位于靠近外部的一侧设有拔杆，所述拔杆一端向外部延伸。
15.本实用新型进一步设置为：所述支撑导轨上设有凹陷形成的定位部，所述定位部与钢球的弧度相适配。
16.本实用新型进一步设置为：所述密封侧壁上设有朝向通气口凹陷的密封槽，所述密封槽与钢球弧度相适配。
17.本实用新型进一步设置为：所述密封槽内设有密封件，所述密封件与密封槽形状相适配，所述密封件为弹性材质。
18.本实用新型进一步设置为：所述弹性伸缩件为弹簧。
19.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
20.由于在连接管内设置了防漏机构，当需要对加速腔内抽真空时，将真空装置套接在连接管上，当撤离真空装置时，外界气压作用在钢球上，使得一端与钢球固定连接，另一端固定于固定座上的弹性伸缩件能够发生形变，使得钢球在弹性伸缩件的作用下能够抵接于密封侧壁上构成两者之间的密封配合，以将通气孔封闭，所以，有效解决了现有的离子加速装置在维修时，外部的空气容易进入到加速腔内的技术问题进而通过将通气孔封闭能够减少外界的空气漏入到加速腔内，有利于重新启动后的离子加速装置快速到达真空状态，减少不必要的时间损失。
附图说明
21.图1为本实用新型主视结构示意图；
22.图2为本实用新型中防漏机构将通气孔封闭时的连接管内部结构示意图；
23.图3为本实用新型中防漏机构将通气孔开启时的连接管内部结构示意图；
24.图4为本实用新型中支撑导轨与固定板的安装结构示意图。
具体实施方式
25.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
27.如图1至图4所示，本实用新型公开了一种用于离子注入机的离子加速装置，包括：
28.本体1，本体1内设有加速腔；
29.连接管2，连接管2固定在本体1外壁上并与加速腔联通，连接管2用于与真空装置连接；
30.防漏机构3，防漏机构3设置于连接管2内，防漏机构3用于防止撤离真空装置时，外
部的空气会漏入到加速腔内，防漏机构3包括：
31.承接套31，承接套31套装固定于连接管2内部，承接套31的外壁贴合于连接管2的内壁，承接套31上设有通气孔311，承接套31内部设有密封段，密封段沿着朝向通气孔311的方向直径依次减小，并形成倾斜的密封侧壁312；
32.固定座32，固定座32设置于连接管2内，并能沿水平方向在连接管2内移动；
33.弹性伸缩件33，弹性伸缩件33一端固定在固定座32远离外部的一侧上，另一端朝向承接套31延伸作为连接端；
34.钢球34，钢球34固定在连接端上，钢球34在弹性伸缩件33的作用下抵接于密封侧壁312构成两者之间的密封配合，以将通气孔311封闭。
35.当需要对加速腔内抽真空时，将真空装置套接在连接管2上，当撤离真空装置时，外界气压作用在钢球34上，使得一端与钢球34固定连接，另一端固定于固定座32上的弹性伸缩件33能够发生形变，使得钢球34在弹性伸缩件33的作用下能够抵接于密封侧壁312上构成两者之间的密封配合，以将通气孔311封闭，从而通过将通气孔311封闭能够减少外界的空气漏入到加速腔内，有利于重新启动后的离子加速装置快速到达真空状态，减少不必要的时间损失。。
36.当需要恢复加速腔内的气压时，通过将固定座32远离通气孔311的方向移动，以带动钢球34远离通气孔311，从而能够将通气孔311重新开启。
37.连接管2内设有支撑导轨4，支撑导轨4固定于承接套31和固定座32之间的连接管2内壁，支撑导轨4对称设置于钢球34两侧，并分别抵接于钢球34两侧，用于对钢球34进行定位。
38.通过在钢球34两侧设置支撑导轨4，使得两侧的支撑导轨4能够分别抵接于钢球34两侧进行定位，从而使得钢球34在弹性伸缩件33的作用下进行移动时能够沿着恒定轨迹，进而防止钢球34在移动的过程中与通气孔311之间产生偏移，影响钢球34对通气孔311的密封效果。
39.支撑导轨4内设有滑槽41，固定座32外周设有与滑槽41对应的滑块321，滑块321与滑槽41构成滑移配合，固定座32位于靠近外部的一侧设有拔杆5，拔杆5一端向外部延伸。
40.固定座32通过设置在外周的滑块321与支撑导轨4内的滑槽41构成滑移配合，通过拔动或推动拔杆5使得固定座32能朝向远离或靠近通气孔311的方向移动，从而使得固定座32在连接管2内的水平移动更加方便稳定。
41.支撑导轨4上设有凹陷形成的定位部42，定位部42与钢球34的弧度相适配。
42.通过将定位部42设置成与钢球34的弧度相适配，从而便于与钢球34贴合，进而使得支撑导轨4对钢球34的支撑更加稳定准确。
43.密封侧壁312上设有朝向通气口凹陷的密封槽，密封槽与钢球34弧度相适配。
44.通过将密封槽设置成与钢球34弧度相适配，从而便于与钢球34贴合，进而提高了钢球34抵接在密封侧壁312上时的密封性能。
45.密封槽内设有密封件6，密封件6与密封槽形状相适配，密封件6为弹性材质。
46.通过在密封槽内设置有弹性的密封件6，在当钢球34压合在密封槽内时，密封件6能够受力形变，从而便于贴合在钢球34和密封槽之间，进一步提高了密封性能。
47.弹性伸缩件33为弹簧。
48.本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。