TC-SAW器件及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种tc-saw器件，其特征在于，包括：衬底层；形成在所述衬底层上的叉指电极；形成在所述叉指电极上的活塞部；连接所述叉指电极的汇流条；以及覆盖所述叉指电极、所述活塞部和所述汇流条的温度补偿层，其中，所述叉指电极包含作为真指的第1电极和作为假指的第2电极，所述第1电极和所述第2电极在垂直于所述汇流条的方向上隔开间隙相向地配置，在平行于所述汇流条的方向上隔开间隔交错地配置，由所述第1电极构成的第1电极组以及由所述第2电极构成的第2电极组在所述衬底层上分别构成叉指结构，所述活塞部形成在所述第1电极的末端，并且形成在所述汇流条的与所述第1电极相连接的部位处，位于同一所述汇流条上的所述第1电极的末端的所述活塞部彼此是平齐的，位于同一所述汇流条上的所述活塞部彼此也是平齐的。2.如权利要求1所述的tc-saw器件，其特征在于，在所述汇流条的与所述第2电极相连接的部位处也形成有所述活塞部，位于同一所述汇流条上的所述活塞部彼此是平齐的。3.如权利要求1所述的tc-saw器件，其特征在于，在所述第2电极的末端也形成有所述活塞部，位于同一所述汇流条上的所述第2电极的末端的所述活塞部彼此是平齐的。4.一种tc-saw器件，其特征在于，包括：衬底层；形成在所述衬底层上的叉指电极；形成在所述叉指电极上的活塞部；连接所述叉指电极的汇流条；以及覆盖所述叉指电极、所述活塞部和所述汇流条的温度补偿层，其中，所述叉指电极包含作为真指的第1电极和作为假指的第2电极，所述第1电极和所述第2电极在垂直于所述汇流条的方向上隔开间隙相向地配置，在平行于所述汇流条的方向上隔开间隔交错地配置，由所述第1电极构成的第1电极组以及由所述第2电极构成的第2电极组在所述衬底层上分别构成叉指结构，所述活塞部形成在所述第1电极的末端，并且形成在所述汇流条的与所述第2电极相连接的部位处，位于同一所述汇流条上的所述第1电极的末端的所述活塞部彼此是平齐的，位于同一所述汇流条上的所述活塞部彼此也是平齐的。5.如权利要求4所述的tc-saw器件，其特征在于，在所述第1电极的靠近所述汇流条的部位处还设有所述活塞部。6.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，
所述活塞部完全投影在所述叉指电极内。7.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，所述活塞部的至少一边与所述叉指电极的边界重合。8.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，所述活塞部的形状为任意形状。9.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，设置于所述汇流条的活塞部为至少一排以上。10.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，所述衬底层由lt、ln、aln、pzt、zno的压电材料构成，且所述衬底层为单层结构或多层结构。11.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，所述叉指电极由ti、al、cu、cr、au、pt、ag、pd、ni的金属或合金、或者所述金属和/或合金的层叠体构成。12.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，所述活塞部由ti、al、cu、cr、au、pt、ag、pd、ni的金属或合金、或者所述金属和/或合金的层叠体构成。13.如权利要求1至5中任一项所述的tc-saw器件，其特征在于，所述温度补偿层由sio2构成。14.一种tc-saw器件的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：形成单层结构或多层结构的衬底层；通过光刻胶图形化、蒸发镀膜、剥离的工艺，在所述衬底层上形成叉指电极图案；通过光刻胶图形化、蒸发镀膜、剥离的工艺，在所述叉指电极上形成活塞部图案；通过溅射镀膜或化学气相沉积，在所述衬底层上的所述叉指电极和所述活塞部上形成温度补偿层；采用化学机械抛光工艺将所述温度补偿层的表面研磨成平坦的表面；以及通过光刻、干法刻蚀、蒸发镀膜与剥离的工艺来制造用于连接的引线。15.如权利要求14所述的tc-saw器件的制造方法，其特征在于，所述叉指电极图案的层叠厚度为0.1-0.6μm。16.如权利要求14所述的tc-saw器件的制造方法，其特征在于，所述温度补偿层的生长厚度为1-3μm。17.如权利要求14所述的tc-saw器件的制造方法，其特征在于，所述引线的厚度为0.5-2.5μm。

技术总结
本发明提供一种TC-SAW器件，其包括：衬底层；形成在衬底层上的叉指电极；形成在叉指电极上的活塞部；连接叉指电极的汇流条；以及覆盖叉指电极、活塞部和汇流条的温度补偿层，其中，叉指电极包含作为真指的第1电极和作为假指的第2电极，第1电极和第2电极在垂直于汇流条的方向上隔开间隙相向地配置，在平行于汇流条的方向上隔开间隔交错地配置，由第1电极构成的第1电极组以及由第2电极构成的第2电极组在衬底层上分别构成叉指结构，活塞部形成在第1电极的末端，并且形成在汇流条的与第1电极相连接的部位处，位于同一汇流条上的第1电极的末端的活塞部彼此是平齐的，位于同一汇流条上的活塞部彼此也是平齐的。的活塞部彼此也是平齐的。的活塞部彼此也是平齐的。


技术研发人员：许欣
受保护的技术使用者：广东广纳芯科技有限公司
技术研发日：2022.02.23
技术公布日：2022/5/20