密封波纹管的漏率检测系统的制作方法

1.本技术涉及半导体加工技术领域，具体而言，本技术涉及一种密封波纹管的漏率检测系统。


背景技术：

2.目前，随着半导体工艺设备的迅速发展，工艺温度所需要的范围也在逐渐扩大，低温工艺应用的场景也越来越多。为保证低温工艺的顺利进行，承载装置的静电卡盘需要使用冷水机(chiller)进行降温，这就会导致承载装置内的温度保持在零度以下，承载装置内部带动晶圆升降的密封波纹管的温度同样会保持在零度以下，密封波纹管主要用于与静电卡盘密封，并且其还用于装载有顶针，以带动顶针相对静电卡盘表面升降，从而带动晶圆相对于静电卡盘升降。
3.现有技术中半导体工艺设备中大多数工艺温度是零度以上，目前无法确认密封波纹管是否可以在零度以下正常工作，因此导致密封波纹管在零度以下的工艺环境出现漏率不合格的情况十分普遍，一旦密封波纹管漏率不合格，就会导致工艺腔室漏率不合格，对工艺性能及会有很大的影响。因此需要对密封波纹管进行低温漏率的检测，以保证低温工艺的使用性能。现有技术中一般通过对工艺腔室进行检测，从而实现对密封波纹管的漏率进行检测，但是由于安装过程十分繁琐，从而造成检测效率低下；并且若漏率检测不合格，则需要频繁开启工艺腔室以重复安装过程，进一步造成检测效率的低下，而且无法确认是哪一个密封波纹管出现问题，并且还可能对机台整体参数产生较大影响。


技术实现要素：

4.本技术针对现有方式的缺点，提出一种密封波纹管的漏率检测系统，用以解决现有技术存在检测效率低下以及无法精确检测哪一个密封波纹管出现漏率不合格的技术问题。
5.第一个方面，本技术实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统，包括：冷却腔室、检测腔室、冷却装置及检测抽气组件；所述冷却腔室内形成有冷却腔，所述冷却装置与所述冷却腔室连接，用于调节所述冷却腔内的温度；所述冷却腔室上开设有多个连通口，用于与多个所述密封波纹管的承载端密封连接，以使所述冷却腔能与所述密封波纹管的内部空间密封连通；所述检测腔室内形成有多个容置腔，多个所述容置腔与多个所述连通口一一对应设置，所述容置腔用于容置并限位所述密封波纹管，所述检测腔室的侧壁开设有与所述容置腔对应的通气口，所述通气口用于向所述容置腔内通入检测气体；所述检测抽气组件与所述冷却腔室连通，所述检测抽气组件用于对所述冷却腔抽真空，并检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量，以判断所述密封波纹管是否发生泄露。
6.于本技术的一实施例中，所述冷却腔室包括有冷却腔体及底盖，所述底盖盖合于所述冷却腔室的底部，用于在所述冷却腔体内形成有所述冷却腔，所述底盖上贯穿有多个并列排布的所述连通口。
7.于本技术的一实施例中，所述检测腔室包括检测腔体及隔板，所述检测腔体盖合于所述底盖的底部，多个所述隔板均设置于所述检测腔体内，并且沿多个所述连通口的排布方向并列排布，用于在所述检测腔体内形成多个所述容置腔。
8.于本技术的一实施例中，所述漏率检测系统还包括有多个限位件，多个限位件一一对应的设置于所述容置腔的底部，用于穿过所述检测腔体后与所述密封波纹管的连接端固定连接，以使所述密封波纹管的承载端能顶抵于所述连通口的外周，并且与所述连通口密封连接。
9.于本技术的一实施例中，所述冷却腔体的侧壁贯穿有冷却口；所述冷却装置包括冷却管路、冷却器及转接组件，所述冷却管路设置于所述冷却腔体内，并且与所述冷却口密封连接；所述冷却器通过所述转接组件与所述冷却口密封连接。
10.于本技术的一实施例中，所述转接组件包括有转接法兰、连接管及卡套接头，所述转接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上，以将所述连接管的一端与所述冷却口密封连接；所述连接管的另一端通过所述卡套接头与所述冷却器密封连接。
11.于本技术的一实施例中，所述检测抽气组件包括检测器、连接法兰及卡箍，所述连接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上，并且与所述冷却腔体密封连接，所述检测器的连通管通过所述卡箍与所述连接法兰密封连接，所述检测器用于检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量。
12.于本技术的一实施例中，所述检测抽气组件还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述连通管连通，用于对所述冷却腔进行抽真空。
13.于本技术的一实施例中，所述冷却腔室还包括有多个连接件，多个连接件沿所述冷却腔体的周向均匀排布，并且穿过所述冷却腔体的侧壁后与所述检测腔体的侧壁顶端连接。
14.于本技术的一实施例中，所述冷却腔体的外侧壁上开设有多个均布的安装槽，用于分别容置多个所述连接件，所述安装槽位于所述冷却腔体的顶壁及外侧壁之间，并且为开放式结构。
15.于本技术的一实施例中，所述检测器为氦气检测器，所述冷却腔内的所述温度的取值范围为-15℃～-30℃。
16.于本技术的一实施例中，所述漏率检测系统还包括有堵头，所述堵头与所述密封波纹管的规格对应，所述堵头用于封堵与所述容置腔对应的连通口。
17.本技术实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：
18.本技术实施例通过采用冷却腔室来模拟工艺腔室的低温工艺环境，以及通过在检测腔室内设置有多个独立的容置腔，多个密封波纹管分别容置于多个容置腔内，并且分别通过多个连通口与冷却腔室连通，以及再通过向多个容置腔内通入检测气体，检测抽气组件对冷却腔内的检测气体含量进行检测。采用上述设计，使得申请实施例实现了低温环境下对密封波纹管进行批量检测，以及可以实现无需频繁开启工艺腔室即可以实现对多个密封波纹管进行检测，从而大幅提高了本技术实施例的检测效率；由于对多个容置腔分别通入检测气体，还能准确定位漏率不合格的密封波纹管，从而提高检测精确性的同时，进一步提高检测效率。
19.本技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变
得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
20.本技术上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
21.图1为本技术实施例提供的一种密封波纹管的漏率检测系统的结构示意图；
22.图2为本技术实施例提供的一种冷却腔室的结构示意图；
23.图3为本技术实施例提供的一种检测腔室的结构示意图；
24.图4为本技术实施例提供的一种密封波纹管的漏率检测系统与密封波纹管配合的结构示意图；
25.图5为本技术实施例提供的一种密封波纹管的漏率检测系统与密封波纹管配合的局部结构的剖视示意图；
26.图6为本技术实施例提供的一种堵头的结构示意图；
27.图7a为现有技术中的一种半导体工艺设备的剖视结构示意图；
28.图7b为现有技术中的一种密封波纹管的结构示意图。
具体实施方式
29.下面详细描述本技术，本技术的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本技术的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。
30.本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本技术所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
31.如图7a及图7b所示，半导体工艺设备例如可以是刻蚀设备，其工艺腔室300内设置有承载装置200，多个密封波纹管100安装于承载装置200内，密封波纹管100的承载端101与承载装置200的静电卡盘201的底面密封连接，并且密封波纹管100内部的升降结构能夹持顶针202，以通过顶针202带动承载于静电卡盘201上的晶圆升降，密封波纹管100的连接端102可以固定设置于承载装置200内，驱动结构(图中未示出)能通过该连接端102与密封波纹管100内部的升降结构连接，以用于带动顶针202升降。该实施例中一般通过对工艺腔室300进行检测，以实现对密封波纹管100的漏率进行检测，不仅需要频繁开启工艺腔室300以重复安装过程，而且无法确认是哪一个密封波纹管100出现问题，从而造成检测效率低下，并且频繁拆装还可能对机台整体参数产生较大影响。
32.下面以具体地实施例对本技术的技术方案以及本技术的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
33.本技术实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统，该漏率检测系统的结构示意图如图1至图3所示，所示，包括：冷却腔室1、检测腔室2、冷却装置3及检测抽气组件4；冷
却腔室1内形成有冷却腔11，冷却装置3与冷却腔室1连接，用于调节冷却腔11内的温度；冷却腔室1上开设有多个连通口12，用于与多个密封波纹管100的承载端101密封连接，以使冷却腔11能与密封波纹管100的内部空间密封连通；检测腔室2内形成有多个容置腔21，多个容置腔21与多个连通口12一一对应设置，容置腔21用于容置并限位密封波纹管100，检测腔室2的侧壁开设有与容置腔21对应的通气口24，通气口24用于向容置腔21内通入检测气体；检测抽气组件4与冷却腔室1连通，检测抽气组件4用于对冷却腔11抽真空，并检测冷却腔11内的检测气体的含量，以判断密封波纹管100是否发生泄露。
34.如图1至图3所示，冷却腔室1形成有冷却腔11，冷却装置3可以与冷却腔室1连接，冷却装置3可以对冷却腔室1进行冷却，以使冷却腔室1可以模拟工艺腔室300的工艺环境，例如能使冷却腔11内的温度达到零度以下，以模拟工艺腔室300的低温工艺环境，但是本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据不同的工艺环境进行调整。冷却腔室1上开设有多个连通口12，用于分别与多个密封波纹管100的承载端101密封连接，以使冷却腔11能与密封波纹管100的内部空间密封连通，从而实现对多个密封波纹管100进行批量检测。检测腔室2内可以形成有多个容置腔21，并且多个容置腔21与多个连通口12一一对应设置，每个容置腔21与每个连通口12密封连接，容置腔21可以容置且限位密封波纹管100。检测腔室2的侧壁上可以开设有多个与容置腔21一一对应的通气口24，该通气口24用于向容置腔21内通入检测气体。检测抽气组件4包括有与气源连接的检测管(图中未示出)，检测管用于分别通过多个通气口24向容置腔21内通入检测气体，由于密封波纹管100与连通口12密封，因此当密封波纹管100发生泄露时，检测气体则会进入密封波纹管100的内部空间，然后再进入冷却腔11内。检测抽气组件4与冷却腔室1连通设置，并且待冷却腔11内呈真空状态时，再向容置腔21内通入检测气体，检测抽气组件4还用于检测冷却腔11内的检测气体的含量，例如当冷却腔11内的检测气体含量达到一预设值时，则说明密封波纹管100的漏率不合格，或者当冷却腔11内的检测气体含量未达到一预设值时，则说明密封波纹管100的漏率合格，即检测抽气组件4能根据冷却腔11内的检测气体含量，判断密封波纹管100是否发生泄露。
35.本技术实施例通过采用冷却腔室来模拟工艺腔室的低温工艺环境，以及通过在检测腔室内设置有多个独立的容置腔，多个密封波纹管分别容置于多个容置腔内，并且分别通过多个连通口与冷却腔室连通，以及再通过向多个容置腔内通入检测气体，检测抽气组件对冷却腔内的检测气体含量进行检测。采用上述设计，使得申请实施例实现了低温环境下对密封波纹管进行批量检测，以及可以实现无需频繁开启工艺腔室即可以实现对多个密封波纹管进行检测，从而大幅提高了本技术实施例的检测效率；由于对多个容置腔分别通入检测气体，还能准确定位漏率不合格的密封波纹管，从而提高检测精确性的同时，进一步提高检测效率。
36.需要说明的是，本技术实施例并不限定密封波纹管100的类型，例如该漏率检测系统也可以用于对支撑承载装置200的密封波纹管进行检测。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
37.于本技术的一实施例中，如图1、图2及图7b所示，冷却腔室1包括有冷却腔体13及底盖14，底盖14盖合于冷却腔室1的底部，用于在冷却腔体13内形成有冷却腔11，底盖14上贯穿有多个并列排布的连通口12。
38.如图1、图2及图7b所示，冷却腔室1包括有冷却腔体13及底盖14，冷却腔体13具体为金属材质制成的长方体结构，并且冷却腔体13内开设长方体形的凹槽；底盖14采用金属材质制成长方形板状结构，底盖14可以盖合于冷却腔体13的底部，以与冷却腔体13内的凹槽配合形有冷却腔11。底盖14上可以开设多个并列排布的连通口12，多个连通口12可以沿底盖14的长度方向间隔且均匀排布，以实现对较多的密封波纹管100进行检测，例如底盖14上可以开设有十个连通口12，以实现对十个密封波纹管100进行批量检测，但是本技术实施例并不限定连通口12的具体数量，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。在实际应用时，可以将密封波纹管100预先放置于容置腔21内，然后再将冷却腔室1整体盖合于冷却腔室1上方，以使多个连通口12能与多个密封波纹管100密封连通，例如连通口12的外周可以设置有柔性的密封圈，或者在密封波纹管100的承载端101上设置有密封圈。进一步的，底盖14与冷却腔体13及检测腔室2之间可以设置有柔性的密封圈，从而实现冷却腔11及容置腔21的密封，但是本技术实施例并不限两者具体密封方式。采用上述设计，由于连通口12位于冷却腔室1的底部，使得本技术实施例结构设计合理，以便于对密封波纹管100进行取放，从而进一步提高本技术实施例的检测效率，并且能够更加真实的模拟工艺腔室的工艺环境，从而进一步提高检测的精确性。
39.需要说明的是，本技术实施例并不限定底盖14及连通口12的具体位置，例如底盖14也可以是冷却腔体13的侧壁或者顶壁，连通口12则贯穿设置于底盖14上。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
40.于本技术的一实施例中，如图1至图3、图7b所示，检测腔室2包括检测腔体22及隔板23，检测腔体22盖合于底盖14的底部，多个隔板23均设置于检测腔体22内，并且沿多个连通口12的排布方向并列排布，用于在检测腔体22内形成多个容置腔21。
41.如图1至图3、图7b所示，检测腔室2包括有检测腔体22及隔板23，检测腔体22具体为金属材质制成的长方体结构，并且检测腔体22内开设长方体形的凹槽，检测腔体22可以盖合于底盖14的底部，以使检测腔体22内形成密封的腔体。隔板23可以采用金属材质制成正方形板状结构，多个隔板23可以设置于上述腔体内，并且沿检测腔体22的长度方向间隙排布，即多个隔板23可以沿多个连通口12的排布方向并列排布，以使检测腔体22内形成有多个容置腔21，并且每个容置腔21与每个连通口12对应且密封设置，即多个容置腔21与多个连通口12密封连接。本技术并不限定容置腔21的具体数量，例如当连通口12为十个时，容置腔21的数量也可以设置为十个，因此只要容置腔21的数量与连通口12对应设置即可。在实际应用时，可以将密封波纹管100预先放置于容置腔21内，然后再将冷却腔室1整体盖合于检测腔室2的上方，以使多个连通口12能与多个密封波纹管100密封连通。采用上述设计，由于检测腔室2设置于冷却腔室1的底部，使得本技术实施例结构设计合理，并且能提高密封波纹管100的取放效率，从而进一步提高本技术实施例的检测效率。另外，还能够更加真实的模拟工艺腔室的结构及工艺环境，从而进一步提高检测的精确性。
42.需要说明的是，本技术实施例并不限定隔板23与检测腔体22的连接方式，例如两者为分体结构且采用焊接方式固定连接，或者两者采用一体成形的方式制成。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
43.于本技术的一实施例中，如图1至图5、图7b所示，漏率检测系统还包括有多个限位件5，多个限位件5一一对应的设置于容置腔21的底部，用于穿过检测腔体22后与密封波纹
管100的连接端102固定连接，以使密封波纹管100的承载端101能顶抵于连通口12的外周，并且与连通口12密封连接。
44.如图1至图5、图7b所示，多个限位件5例如均采用螺栓，多个限位件5的具体数量与多个容置腔21的数量对应设置，例如限位件5的具体数量为十个，但是本技术实施例并不以此为限，只要限位件5的数量与容置腔21的数量对应设置即可。限位件5可以穿设于容置腔21的底部，限位件5穿过检测腔体22的底壁后进入容置腔21后，以用于与密封波纹管100的连接端102固定连接，限位件5与检测腔体22及密封波纹管100的连接端102之间均可以采用螺纹连接，但是本技术实施例并不限定具体连接方式。进一步的，由于首先将密封波纹管100限位于容置腔21内，因此后续可以将冷却腔室1直接盖合于检测腔室2上，以使多个连通口12能直接与多个密封波纹管100的承载端101进行密封连接，使得本技术实施例操作简单便捷，从而大幅提高检测效率。
45.需要说明的是，本技术实施例对于限位件5的具体实施方式并不限定，例如限位件5可以设置于检测腔体22相对两侧壁上，用于从两侧对密封波纹管100进行限位。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
46.于本技术的一实施例中，如图1至图5、图7b所示，检测腔体22的侧壁上开设有多个通气口24，多个通气口24与多个容置腔21一一对应设置，检测管以择一选通的方式与多个通气口24连通，以向容置腔21内通入检测气体。具体来说，检测腔体22上贯穿多个矩形的通气口24，并且通气口24的数量与容置腔21的数量对应设置，即每个容置腔21上均连通有一个通气口24。检测管的检测端可以与通气口24连通，以用于向容置腔21内通入检测气体。检测管可以依次与多个通气口24连接，以实现依次向多个容置腔21通入检测气体，从而实现依次对多个密封波纹管100进行检测。但是本技术实施例并不以此为限，检测管可以与任意一通气口24连通，以实现对某一个容置腔21内的密封波纹管100进行检测。采用上述设计，使得本技术实施例可以采用较为简单的方式，即可以实现对多个密封波纹管100进行检测，并且还能精确定位到某一个容置腔21内的密封波纹管100是否合格，从而大幅提高检测效率及检测精确性。
47.需要说明的是，本技术实施例并不限定多个通气口24的具体位置，只要通气口24能与容置腔21对应且连通设置即可。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
48.于本技术的一实施例中，如图1至图5所示，冷却腔体13的侧壁贯穿有冷却口15；冷却装置3包括冷却管路31、冷却器32及转接组件33，冷却管路31设置于冷却腔体13内，并且与冷却口15密封连接；冷却器32通过转接组件33与冷却口15密封连接。
49.如图1至图5所示，冷却腔体13的一端侧壁上可以设置有冷却口15，即该冷却口15可以设置于冷却腔体13长度方向的一端侧壁上，以使得冷却管路31的长度较大，从而不仅使本技术实施例结构设计合理，而且还能提高对冷却腔11的冷却速率，进而提高检测效率。冷却装置3包括有冷却管路31、冷却器32及转接组件33，其中冷却管路31可以采用u形管结构，冷却管路31设置于冷却腔11内，并且冷却管路31的两个端部可以与两个冷却口15密封连接，例如冷却管路31的两个端部可以与冷却腔体13的内侧壁采用焊接方式密封连接，但是本技术实施例并不限定冷却管路31的具体形状。采用上述设计，不仅能提高冷却效率，而且还能还提高冷却管路31与冷却腔体13的密封效果，从而避免冷却管路31发生泄露。冷却
器32内容置有冷却介质，以通过转接组件33与冷却口15密封连接，采用该设计能使得本技术实施例可以适用多种类型的冷却器32，从而大幅提高适用性及适用范围，进而大幅降低本技术实施例的应用及维护成本。
50.需要说明的是，本技术实施例并不限定必须要包括转接组件33，例如冷却器32直接与冷却腔体13的冷却口15密封连接即可。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
51.于本技术的一实施例中，如图1至图5所示，转接组件33包括有转接法兰331、连接管332及卡套接头333，转接法兰331设置于冷却腔体13的侧壁上，以将连接管332的一端与冷却口15密封连接；连接管332的另一端通过卡套接头333与冷却器32密封连接。具体来说，冷却器32可以采用风冷式冷水机或者水冷式冷水机，以大幅降低本技术实施例的应用及维护成本，但是本技术实施例并不限定冷却器32的具体类型。转接法兰331可以安装于冷却腔体13的外侧壁上，并且通过柔性的密封圈与两个冷却口15密封连接，但是本技术实施例并不限定具体的密封方式。两个连接管332均可以采用直角弯管，其一端与转接法兰331焊接，或者由转接法兰331压紧于冷却腔体13的侧壁外，以实现与冷却口15密封连接；两个连接管332的另一端均通过卡套接头333与冷却器32密封连接，采用卡套接头333能使得连接管332能更好的与冷却器32进行密封连接，不仅能提高密封效果，而且还能降低本技术实施应用及维护成本。
52.需要说明的是，本技术实施例并不限定必须包括有卡套接头333，例如连接管332可以直接与冷却器32采用螺纹连接。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
53.于本技术的一实施例中，如图1至图5所示，检测抽气组件4包括检测器41、连接法兰42及卡箍43，连接法兰42设置于冷却腔体13的侧壁上，并且与冷却腔体13密封连接，检测器41的连通管通过卡箍43与连接法兰42密封连接，检测器41通过抽取冷却腔11内的气体进行检测气体的含量检测。具体来说，连接法兰42可以采用焊接方式设置于冷却腔体13的侧壁上，并且位于与冷却装置3相对的另一端侧壁上，以使得本技术实施布局合理以节省空间占用。连接法兰42的端面与检测器41的连通管端面贴合设置，并且两者之间设置有柔性的密封圈，卡箍43套设于连接法兰42及连通管的外周上，以将两者之间的密封圈压紧从而实现密封连接，检测器41用于检测冷却腔11内的检测气体含量。采用上述设计，不仅能提高本技术实施例的拆装维护效率，而且还能进一步提高检测器41与冷却腔体13之间的密封效果，并且还能大幅降低应用及维护成本。
54.于本技术的一实施例中，如图1至图3所示，检测器41为氦气检测器41，冷却腔11内的温度的取值范围为-15℃～-30℃。具体来说，检测器41为氦气检测器，检测管可以连接至氦气气源，即检测气体为氦气。检测过程中检测器41要抽取冷却腔11的气体进行检测气体的含量检测，因此通过检测器41也可以实现抽真空的功能，通入检测气体之前，通过检漏仪上的氦气的数值确定冷却腔11的真空度是否满足要求，如果检漏仪抽气时读数稳定在10-9
级，表示真空度满足要求(空气中的氦气10-6
级，氦气的数值在10-9
级，代表气压100mtorr以下)，再进行喷气检测，可以降低本技术实施例的应用及维护成本。
55.进一步的，冷却装置3可以将冷却腔11内的温度冷却至-15℃～-30℃，以使得冷却腔11内的温度低于工艺腔室的工艺环境温度，从而使得本技术实施例的检测标准更为严
苛，从而提高检测效果，以及提高密封波纹管的适用范围及使用寿命。但是本技术实施例并不限检测器41的具体类型，以及冷却腔11内的具体温度，本领域技术人员可以根据实际需求自行调整设置。
56.可选地，检测抽气组件4还包括抽真空装置，抽真空装置与连通管连通，用于对冷却腔11进行抽真空，以进一步提高对冷却腔11抽真空的效率，从而提高本技术实施例的检测效率。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
57.需要说明的是，本技术实施例并不限定必须包括有连接法兰42及卡箍43，例如检测器41的连通管可以直接与冷却腔室1采用焊接方式以实现密封连接。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
58.于本技术的一实施例中，如图1至图3所示，冷却腔室1还包括有多个连接件6，多个连接件6沿冷却腔体13的周向均匀排布，并且穿过冷却腔室1的侧壁后与检测腔体22的侧壁顶端连接。
59.可选地，冷却腔体13的外侧壁上开设有多个均布的安装槽16，用于分别容置多个连接件6，安装槽16位于冷却腔体13的顶壁及外侧壁之间，并且为开放式结构。
60.如图1至图3所示，连接件6可以采用螺栓制成，连接件6穿设于冷却腔室1的侧壁上，并且与检测腔体22的侧壁顶端上的螺纹孔连接。多个连接件6可以沿冷却腔体13的周向均匀排布，即冷却腔体13的每个外侧壁上均设置有多个均布的连接件6，不仅能提高冷却腔11的密封效果，而且还能提高容置腔21的密封效果，并且还能降低应用成本及提高拆装效率。冷却腔体13的外侧壁上开设有多个均布的安装槽16，各安装槽16能与至少一个连接件6对应设置，即安装槽16内可以设置有一个以上的连接件6，但是本技术实施例并不以此为限。安装槽16例如可以是由冷却腔体13的顶壁贯穿于冷却腔体13的外侧壁上，并且为弧形凹槽，连接件6可以设置于该安装槽16的底面上，即安装槽16位于冷却腔体13的顶壁及外侧壁之间，并且为开放式结构。采用上述设计，能进一步提高拆装的便捷性，从而进一步提高检测效率。
61.需要说明的是，本技术实施例并不限定安装槽16的具体结构，例如安装槽16可以为开设于冷却腔体13的外侧壁上的凹槽，同样能够实现上述作用；或者在一些实施中，也可以采用较长的连接件6直接由冷却腔体15侧壁顶端进行穿设，并且与检测腔体22的侧壁顶端连接。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
62.于本技术的一实施例中，如图1至图6所示，漏率检测系统还包括有堵头7，堵头7与密封波纹管100的规格对应，堵头7用于封堵与容置腔21对应的连通口12。具体来说，堵头7可以采用金属材质制成的圆柱形结构，堵头7的具体规格与待测的密封波纹管100对应设置，用于当待测的密封波纹管100数量少于容置腔21的数量时，可以将堵头7设置于该空闲的容置腔21内，从而将空闲的容置腔21对应的连通口12进行密封，即堵头7用于在容置腔21空闲时，设置于空闲的容置腔21内，以封堵空闲的容置腔21所对应的连通口12。进一步的，堵头7的顶端可以开设有环形的密封槽，该密封槽用于设置有柔性的密封圈，以用于压抵于连通口12的外周，从而实现对连通口12的密封；以及堵头7的底端还可以开设有连接孔，该连接孔例如为内螺纹孔，用于与限位件5配合连接，从而使得限位件5能将堵头7限位固定于
容置腔21内，以使堵头7的顶端能将连通口12密封。采用上述设计，使得本技术实施例即能实现对数量较多的密封波纹管100进行检测，而且还能够实现对数量较少的密封波纹管100进行检测，从而大幅提高本技术实施例灵活性及便捷性。
63.需要说明的是，本技术实施例并不限定堵头7的顶端必须开设有密封槽，例如连通口12的外周设置有柔性的密封圈，而堵头7的顶端为平面，同样能配合密封连通口12。因此本技术实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
64.为了进一步说明本技术实施例的有益效果，以下结合附图对本技术的一具体实施方式进行说明如下。
65.本技术实施例中的冷却腔室1可以模拟工艺腔室300的环境，检测腔室2内部为大气环境以模拟现有技术中的承载装置200内部环境，因此可以避免现有技术中需要频繁开启工艺腔室，以及频繁对承载装置200进行拆卸，而本技术实施例只要拆除冷却腔室1即可以完成密封波纹管100的拆卸，从而大幅降低密封波纹拆装的复杂性以及大幅提高检测效率。
66.在实际应用时，具体操作为使用检测抽气组件4将冷却腔室1的冷却抽成真空环境，待检测器41上示数稳定后，为保证密封波纹管100低温漏率测量准确，将冷却装置3的温度设置为-25℃，并且待冷却腔11的温度稳定后，用检测管依次对准多个通气口24，以向容置腔21内通入检测气体，该检测气体为氦气，然后观察检测器41上的示数并计时，若1分钟后读数小于1x10-9
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m3/s，则认为此密封波纹管100为合格产品，若1分钟后读数大于1x10-9
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m3/s，则可以判断待检测的多个密封波纹管100中存在漏率不合格产品。若只存在单个密封波纹管100漏率不合格，以左数第五个密封波纹管100存在漏率不合格为例，由于多个容置腔21相互独立设置，因此使用检测管依次对多个容置腔21内的密封波纹管100喷射氦气，并且在对任意两个密封波纹管100检测过程之间，需要使用检测器41排空冷却腔11内的残留的氦气，以确保冷却腔11内氦气含量小于1x10-12
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m3/s，当喷射左数第五个密封波纹管100时，检测器41在1分钟后读数大于1x10-9
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m3/s，则证明该左数第五个密封波纹管100漏率不合格。若存在多个密封波纹管100漏率不合格时，采用上述方法同样可以实现检测多个密封波纹管100漏率，并且可以精确定位到具体某一个密封波纹管100漏率不合格，从而大幅提高了检测效率及检测精确性。
67.应用本技术实施例，至少能够实现如下有益效果：
68.本技术实施例通过采用冷却腔室来模拟工艺腔室的低温工艺环境，以及通过在检测腔室内设置有多个独立的容置腔，多个密封波纹管分别容置于多个容置腔内，并且分别通过多个连通口与冷却腔室连通，以及再通过向多个容置腔内通入检测气体，检测抽气组件对冷却腔内的检测气体含量进行检测。采用上述设计，使得申请实施例实现了低温环境下对密封波纹管进行批量检测，以及可以实现无需频繁开启工艺腔室即可以实现对多个密封波纹管进行检测，从而大幅提高了本技术实施例的检测效率；由于对多个容置腔分别通入检测气体，还能准确定位漏率不合格的密封波纹管，从而提高检测精确性的同时，进一步提高检测效率。
69.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
70.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
71.术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
72.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
73.在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
74.以上所述仅是本技术的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。