密封波纹管的漏率检测系统的制作方法

技术特征：
1.一种密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，包括：冷却腔室、检测腔室、冷却装置及检测抽气组件；所述冷却腔室内形成有冷却腔，所述冷却装置与所述冷却腔室连接，用于调节所述冷却腔内的温度；所述冷却腔室上开设有多个连通口，用于与多个所述密封波纹管的承载端密封连接，以使所述冷却腔能与所述密封波纹管的内部空间密封连通；所述检测腔室内形成有多个容置腔，多个所述容置腔与多个所述连通口一一对应设置，所述容置腔用于容置并限位所述密封波纹管，所述检测腔室的侧壁开设有与所述容置腔对应的通气口，所述通气口用于向所述容置腔内通入检测气体；所述检测抽气组件与所述冷却腔室连通，所述检测抽气组件用于对所述冷却腔抽真空，并检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量，以判断所述密封波纹管是否发生泄露。2.如权利要求1所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述冷却腔室包括有冷却腔体及底盖，所述底盖盖合于所述冷却腔室的底部，用于在所述冷却腔体内形成有所述冷却腔，所述底盖上贯穿有多个并列排布的所述连通口。3.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述检测腔室包括检测腔体及隔板，所述检测腔体盖合于所述底盖的底部，多个所述隔板均设置于所述检测腔体内，并且沿多个所述连通口的排布方向并列排布，用于在所述检测腔体内形成多个所述容置腔。4.如权利要求3所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述漏率检测系统还包括有多个限位件，多个限位件一一对应的设置于所述容置腔的底部，用于穿过所述检测腔体后与所述密封波纹管的连接端固定连接，以使所述密封波纹管的承载端能顶抵于所述连通口的外周，并且与所述连通口密封连接。5.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述冷却腔体的侧壁贯穿有冷却口；所述冷却装置包括冷却管路、冷却器及转接组件，所述冷却管路设置于所述冷却腔体内，并且与所述冷却口密封连接；所述冷却器通过所述转接组件与所述冷却口密封连接。6.如权利要求5所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述转接组件包括有转接法兰、连接管及卡套接头，所述转接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上，以将所述连接管的一端与所述冷却口密封连接；所述连接管的另一端通过所述卡套接头与所述冷却器密封连接。7.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述检测抽气组件包括检测器、连接法兰及卡箍，所述连接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上，并且与所述冷却腔体密封连接，所述检测器的连通管通过所述卡箍与所述连接法兰密封连接，所述检测器用于检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量。8.如权利要求7所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述检测抽气组件还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述连通管连通，用于对所述冷却腔进行抽真空。9.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述冷却腔室还包括有多个连接件，多个连接件沿所述冷却腔体的周向均匀排布，并且穿过所述冷却腔体的侧壁后与所述检测腔体的侧壁顶端连接。10.如权利要求9所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述冷却腔体的外
侧壁上开设有多个均布的安装槽，用于分别容置多个所述连接件，所述安装槽位于所述冷却腔体的顶壁及外侧壁之间，并且为开放式结构。11.如权利要求7所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述检测器为氦气检测器，所述冷却腔内的所述温度的取值范围为-15℃～-30℃。12.如权利要求1至11的任一所述的密封波纹管的漏率检测系统，其特征在于，所述漏率检测系统还包括有堵头，所述堵头与所述密封波纹管的规格对应，所述堵头用于封堵与所述容置腔对应的连通口。

技术总结
本申请实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统。该漏率检测系统的冷却腔室内形成有冷却腔，冷却装置与冷却腔室连接，用于调节冷却腔内的温度以模拟工艺腔室的工艺环境；冷却腔室上开设有多个连通口，用于使冷却腔能与密封波纹管的内部空间密封连通；检测腔室内形成有多个与连通口一一对应设置的容置腔，并且容置腔与连通口密封连接，容置腔用于容置并限位密封波纹管；检测抽气组件与冷却腔连通，用于对冷却腔抽真空，以及根据冷却腔内的检测气体含量，判断密封波纹管是否发生泄露。本申请实施例实现了对多个密封波纹管的批量检测，而且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。


技术研发人员：张新翌 陈景春
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2022.03.29
技术公布日：2022/5/20