一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构的制作方法

1.本发明涉及晶圆生产领域，特别涉及一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构。


背景技术：

2.晶圆生产包括多个工艺步骤，当在晶圆上进行电路集成时，需要保证晶圆在夹具上的定位精度，这样才能降低生产缺陷。
3.现有公开号为cn111843253a的中国专利，其公开了激光切割晶圆精密光学定位结构，包括设置在机架上用于固定晶圆的精密xy轴二维工作台，以及机架上的位于精密xy轴二维工作台上方的激光切割装置，激光切割装置包括切割激光发生器，切割激光发生器发射的激光进入激光切割装置的聚焦镜，所述机架上位于精密xy轴二维工作台的上方固定设置固定光路板，固定光路板上设置沿着z轴移动的z轴移动架，所述切割激光发生器设置在固定光路板上。
4.上述专利存在着一些缺点，如：定位装置无法拨正圆形的晶圆处于夹具的正中位置，且结构复杂。


技术实现要素：

5.针对背景技术中提到的问题，本发明的目的是提供一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构，以解决背景技术中提到的问题。
6.本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
7.一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构，包括支撑盘，所述支撑盘的底部固定有支撑板，所述支撑板的两侧固定有第一承托板和第二承托板，所述支撑板上方对称设置有两组拨动结构，所述支撑板上设置有控制两组所述拨动结构相互靠近或远离的动力组件，所述第一承托板上设置有限位组件，所述第二承托板上方安装有视觉定位摄像头，所述第二承托板上还设置有控制调整所述视觉定位摄像头的高度和转动位置的调整组件，所述支撑板的底部固定有匚形座，所述匚形座的底部固定有固定座，所述固定座的底部设置有驱动所述固定座调高的调高组件，所述支撑盘的底部设置有负压组件。
8.通过采用上述技术方案，本降低薄膜缺陷的晶圆定位结构具有定位可靠和方便的优点；通过利用动力组件能够带动拨动结构相互靠近或远离，再配合限位组件，从而达到拨动支撑盘上方晶圆至支撑板上圆心的目的，通过利用调整组件能够对视觉定位摄像头进行位置调整，从而对晶圆是否调整至圆心进行检测，利用调高组件能够对支撑盘的高度进行调整，利用负压组件能够对支撑盘上方的晶圆进行吸附固定。
9.较佳的，所述拨动结构包括滑动座、第一立板和侧推滚轮，所述滑动座滑动连接在所述支撑板上方，所述第一立板固定在所述滑动座上方，所述侧推滚轮通过轴承转动连接在所述第一立板内。
10.通过采用上述技术方案，利用第一立板上的侧推滚轮能够将处于偏心的晶圆调整拨动至合适位置。
11.较佳的，所述动力组件包括滑动槽、滑动块、双向螺杆、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、支撑轴、轴承座和第一伺服电机，所述滑动槽开设在所述支撑板顶部，所述滑动块水平滑动连接在所述滑动槽内，所述滑动块固定在所述滑动座底部，所述双向螺杆转动连接在所述滑动槽内，所述双向螺杆与所述滑动块螺纹连接，所述第一锥形齿轮固定在所述双向螺杆的外部，所述轴承座固定在所述支撑板的底部，所述第二锥形齿轮固定在所述支撑轴的外部，所述支撑轴转动连接在所述轴承座内，所述第一伺服电机固定在所述支撑板上带动所述支撑轴转动。
12.通过采用上述技术方案，当启动第一伺服电机时能够带动支撑轴转动，从而能够带动第二锥形齿轮转动，带动第一锥形齿轮和双向螺杆转动，从而带动双向螺杆外部的滑动块在滑动槽内滑动，从而对两个滑动座的位置进行调整，从而对侧推滚轮的位置进行调整。
13.较佳的，所述限位组件包括第一滑动筒、第一气缸、限位座和限位轮，所述第一滑动筒水平滑动连接在所述第一承托板的外部，所述第一气缸的缸体固定在所述第一滑动筒内，所述第一气缸的活塞杆端部固定在所述第一承托板端部，所述限位座固定在所述第一滑动筒上，所述限位轮通过轴承转动连接在所述限位座上。
14.通过采用上述技术方案，当启动第一滑动筒内的第一气缸时，能够对限位座和限位座上的限位轮进行位置调整，从而调整限位的位置。
15.较佳的，所述调整组件包括第二滑动筒、第二气缸、第二伺服电机、侧立板和顶固板，所述第二滑动筒水平滑动连接在所述第二承托板的外部，所述第二气缸的缸体固定在所述第二滑动筒内部，所述第二气缸的活塞杆端部与所述第二承托板端部连接，所述第二伺服电机固定在所述第二滑动筒上，所述侧立板固定在所述第二伺服电机的电机轴端部，所述顶固板固定在所述侧立板的顶端，所述视觉定位摄像头固定在所述顶固板上。
16.通过采用上述技术方案，当启动第二滑动筒内的第二气缸时，能够对第二滑动筒的位置进行调整，从而调整侧立板和顶固板的水平位置，当启动第二伺服电机时能够带动侧立板转动，带动顶固板和其上的视觉定位摄像头进行位置调整。
17.较佳的，所述调高组件包括固定柱、固定筒、第三伺服电机和丝杠，所述固定柱固定在所述固定柱底部，所述固定筒设置在所述固定柱外部，所述第三伺服电机固定在所述固定筒内部，所述丝杠的一端通过联轴器与所述第三伺服电机的电机轴连接，所述丝杠与所述固定柱之间螺纹连接。
18.通过采用上述技术方案，当启动固定筒内的第三伺服电机时，其能够带动丝杠转动，从而带动固定柱在固定筒内竖直滑动，从而达到对装置中支撑盘的高度进行调整。
19.较佳的，所述负压组件包括负压吸孔、负压管、气泵和电磁控制阀，所述负压吸孔开设在所述支撑盘内，所述负压管的一端与所述负压吸孔处连接，所述负压管的另一端与所述气泵连接，所述电磁控制阀设置在所述负压管上。
20.通过采用上述技术方案，利用气泵和电磁控制阀能够通过负压管和负压吸孔产生负压，将晶圆吸附固定。
21.较佳的，所述固定柱内开设有凹槽，所述凹槽内滑动连接有凸块，所述凸块与所述固定筒连接固定。
22.通过采用上述技术方案，在凹槽和凸块的配合下，能够提高固定柱滑动的稳定性。
23.综上所述，本发明主要具有以下有益效果：
24.本降低薄膜缺陷的晶圆定位结构具有定位可靠和方便的优点；通过利用动力组件能够带动拨动结构相互靠近或远离，再配合限位组件，从而达到拨动支撑盘上方晶圆至支撑板上圆心的目的，通过利用调整组件能够对视觉定位摄像头进行位置调整，从而对晶圆是否调整至圆心进行检测，利用调高组件能够对支撑盘的高度进行调整，利用负压组件能够对支撑盘上方的晶圆进行吸附固定。
附图说明
25.图1为本发明的结构示意图；
26.图2为本发明的结构剖视图之一；
27.图3为图2中的a处放大图；
28.图4为本发明的结构剖视图之二；
29.图5为图4中的b处放大图。
30.图中：1、支撑盘；11、支撑板；12、第一承托板；13、第二承托板；2、拨动结构；3、动力组件；14、视觉定位摄像头；4、限位组件；5、调整组件；15、匚形座；16、固定座；6、调高组件；7、负压组件；21、滑动座；22、第一立板；23、侧推滚轮；31、滑动槽；32、滑动块；33、双向螺杆；34、第一锥形齿轮；35、第二锥形齿轮；36、支撑轴；37、轴承座；38、第一伺服电机；41、第一滑动筒；42、第一气缸；43、限位座；44、限位轮；51、第二滑动筒；52、第二气缸；53、第二伺服电机；54、侧立板；55、顶固板；61、固定柱；62、固定筒；63、第三伺服电机；64、丝杠；71、负压吸孔；72、负压管；73、气泵；74、电磁控制阀；621、凸块；611、凹槽。
具体实施方式
31.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
32.参考图1至图5，一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构，包括支撑盘1，支撑盘1的底部固定有支撑板11，支撑板11的两侧固定有第一承托板12和第二承托板13，支撑板11上方对称设置有两组拨动结构2，支撑板11上设置有控制两组拨动结构2相互靠近或远离的动力组件3，第一承托板12上设置有限位组件4，第二承托板13上方安装有视觉定位摄像头14，第二承托板13上还设置有控制调整视觉定位摄像头14的高度和转动位置的调整组件5，支撑板11的底部固定有匚形座15，匚形座15的底部固定有固定座16，固定座16的底部设置有驱动固定座16调高的调高组件6，支撑盘1的底部设置有负压组件7。
33.参考图1至图5，本降低薄膜缺陷的晶圆定位结构具有定位可靠和方便的优点；通过利用动力组件3能够带动拨动结构2相互靠近或远离，再配合限位组件4，从而达到拨动支撑盘1上方晶圆至支撑板11上圆心的目的，通过利用调整组件5能够对视觉定位摄像头14进行位置调整，从而对晶圆是否调整至圆心进行检测，利用调高组件6能够对支撑盘1的高度进行调整，利用负压组件7能够对支撑盘1上方的晶圆进行吸附固定。
34.参考图1至图5，其中拨动结构2包括滑动座21、第一立板22和侧推滚轮23，滑动座
21滑动连接在支撑板11上方，第一立板22固定在滑动座21上方，侧推滚轮23通过轴承转动连接在第一立板22内，利用第一立板22上的侧推滚轮23能够将处于偏心的晶圆调整拨动至合适位置。
35.参考图1至图5，其中动力组件3包括滑动槽31、滑动块32、双向螺杆33、第一锥形齿轮34、第二锥形齿轮35、支撑轴36、轴承座37和第一伺服电机38，滑动槽31开设在支撑板11顶部，滑动块32水平滑动连接在滑动槽31内，滑动块32固定在滑动座21底部，双向螺杆33转动连接在滑动槽31内，双向螺杆33与滑动块32螺纹连接，第一锥形齿轮34固定在双向螺杆33的外部，轴承座37固定在支撑板11的底部，第二锥形齿轮35固定在支撑轴36的外部，支撑轴36转动连接在轴承座37内，第一伺服电机38固定在支撑板11上带动支撑轴36转动，当启动第一伺服电机38时能够带动支撑轴36转动，从而能够带动第二锥形齿轮35转动，带动第一锥形齿轮34和双向螺杆33转动，从而带动双向螺杆33外部的滑动块32在滑动槽31内滑动，从而对两个滑动座21的位置进行调整，从而对侧推滚轮23的位置进行调整。
36.参考图1至图5，其中限位组件4包括第一滑动筒41、第一气缸42、限位座43和限位轮44，第一滑动筒41水平滑动连接在第一承托板12的外部，第一气缸42的缸体固定在第一滑动筒41内，第一气缸42的活塞杆端部固定在第一承托板12端部，限位座43固定在第一滑动筒41上，限位轮44通过轴承转动连接在限位座43上，当启动第一滑动筒41内的第一气缸42时，能够对限位座43和限位座43上的限位轮44进行位置调整，从而调整限位的位置。
37.参考图1至图5，其中调整组件5包括第二滑动筒51、第二气缸52、第二伺服电机53、侧立板54和顶固板55，第二滑动筒51水平滑动连接在第二承托板13的外部，第二气缸52的缸体固定在第二滑动筒51内部，第二气缸52的活塞杆端部与第二承托板13端部连接，第二伺服电机53固定在第二滑动筒51上，侧立板54固定在第二伺服电机53的电机轴端部，顶固板55固定在侧立板54的顶端，视觉定位摄像头14固定在顶固板55上，当启动第二滑动筒51内的第二气缸52时，能够对第二滑动筒51的位置进行调整，从而调整侧立板54和顶固板55的水平位置，当启动第二伺服电机53时能够带动侧立板54转动，带动顶固板55和其上的视觉定位摄像头14进行位置调整。
38.参考图1至图5，其中调高组件6包括固定柱61、固定筒62、第三伺服电机63和丝杠64，固定柱61固定在固定柱61底部，固定筒62设置在固定柱61外部，第三伺服电机63固定在固定筒62内部，丝杠64的一端通过联轴器与第三伺服电机63的电机轴连接，丝杠64与固定柱61之间螺纹连接，当启动固定筒62内的第三伺服电机63时，其能够带动丝杠64转动，从而带动固定柱61在固定筒62内竖直滑动，从而达到对装置中支撑盘1的高度进行调整。
39.参考图1至图5，其中负压组件7包括负压吸孔71、负压管72、气泵73和电磁控制阀，负压吸孔71开设在支撑盘1内，负压管72的一端与负压吸孔71处连接，负压管72的另一端与气泵73连接，电磁控制阀设置在负压管72上，利用气泵73和电磁控制阀能够通过负压管72和负压吸孔71产生负压，将晶圆吸附固定；其中在固定柱61内开设有凹槽611，凹槽611内滑动连接有凸块621，凸块621与固定筒62连接固定，在凹槽611和凸块621的配合下，能够提高固定柱61滑动的稳定性。
40.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。