一种用于集成电路芯片制造的检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及集成电路芯片生产技术领域，具体为一种用于集成电路芯片制造的检测装置。


背景技术：

2.集成电路芯片是包括一硅基板、至少一电路、一固定封环、一接地环及至少一防护环的电子元件，其生产过程中，在封装前需要人工观察线路刻蚀情况。
3.现有的集成电路芯片刻蚀线路检测装置，需人工拾取安装后，调整显微镜进行观察，所耗费人力较高，影响检测的效率，故而提出了一种用于集成电路芯片制造的检测装置来解决上述提出的问题。


技术实现要素：

4.（一）解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于集成电路芯片制造的检测装置，具备节省人力等优点，解决了现有的集成电路芯片刻蚀线路检测装置，需人工拾取安装后，调整显微镜进行观察，所耗费人力较高，影响检测的效率的问题。
6.（二）技术方案
7.本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种用于集成电路芯片制造的检测装置，包括机架、电子显微镜与显示屏，所述机架的右侧固定有保护壳，所述机架的内部设置有数量为两个且横向延伸至保护壳内部的丝杆，所述保护壳的顶部固定有与两个丝杆传动连接的驱动电机，两个所述丝杆的外部设置有可横向活动的电动滑台，所述电动滑台的内部设置有延伸至电动滑台背面的连接件，所述连接件与电子显微镜固定连接，所述机架的内部固定安装有数量为两个且左右对称的连接架，两个所述连接架的相对一侧设置有可旋转的载台，所述显示屏与机架固定，左侧所述连接架的外部固定有与载台传动连接的减速电机。
8.本实用新型的有益效果是：
9.该用于集成电路芯片制造的检测装置，在检测作业时，芯片固定在载台的正面，由电动滑台带动连接件与电子显微镜进行竖向的运动，由驱动电机带动两个丝杆旋转使电动滑台进行横向移动，从而使电子显微镜可在平面进行任意位置移动，使其可对准需检测电路，将拍摄图像传输至显示屏上进行显示，当检测存在质量问题时，可直接从载台上将芯片取下进行回收，若检测无质量问题，则减速电机带动载台向后翻转，由对接的传输线将芯片带走至下一加工程序，本装置结构稳定合理，可与芯片传输线进行对接，无需人工进行芯片的安装拾取与检测时的移动操作，操作更为简单方便，可有效提高检测效率。
10.在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
11.进一步，两个所述丝杆的右端通过链条传动连接，所述驱动电机的输出端与顶部所述丝杆通过齿轮组传动连接。
12.采用上述进一步方案的有益效果是，两个丝杆通过链条进行连接可保证其同步进行动作，驱动电机可直接通过齿轮组与链条带动两个丝杆旋转。
13.进一步，所述载台包括旋转板、探针卡与红外对位传感器，所述旋转板与两个连接架转动连接，所述旋转板，的正面固定有探针卡，所述旋转板的正面嵌设有红外对位传感器。
14.采用上述进一步方案的有益效果是，设置的探针卡用于将芯片进行固定，并与芯片连接脚进行连接，设置的红外对位传感器用于电子显微镜移动坐标系的定位与复位。
15.进一步，两个所述连接架的底部均固定有和载台底端背面接触的限位件，所述载台位于电动滑台的背面。
16.采用上述进一步方案的有益效果是，设置的限位件用于将竖直状态的载台进行定位，避免其产生偏移。
17.进一步，所述电动滑台包括外壳、活动件、滑台电机与传动杆，所述外壳的顶部与底部均固定有活动件，两个所述活动件分别与两个丝杆螺纹连接，所述外壳的内部竖向设置有与滑台电机传动连接的传动杆，所述传动杆与连接件螺纹连接，所述滑台电机与外壳固定。
18.采用上述进一步方案的有益效果是，滑台电机可电动传动杆旋转，从而推动连接件进行竖向的移动，设置的活动件用于和丝杆进行连接传动。
19.进一步，所述保护壳的外部固定有输入端与丝杆固定的角度传感器，所述电子显微镜位于载台的正面。
附图说明
20.图1为本实用新型结构示意图；
21.图2为本实用新型载台结构示意图；
22.图3为本实用新型电动滑台左侧剖视图；
23.图4为本实用新型保护壳局部结构示意图。
24.图中：1、机架；2、电子显微镜；3、载台；31、旋转板；32、探针卡；33、红外对位传感器；4、保护壳；5、丝杆；6、驱动电机；7、电动滑台；71、外壳；72、活动件；73、滑台电机；74、传动杆；8、连接件；9、连接架；10、显示屏；11、减速电机。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.本实施例，由图1-4给出，一种用于集成电路芯片制造的检测装置，包括机架1、电子显微镜2与显示屏10，机架1的右侧固定有保护壳4，机架1的内部设置有数量为两个且横向延伸至保护壳4内部的丝杆5，保护壳4的顶部固定有与两个丝杆5传动连接的驱动电机6，两个丝杆5的外部设置有可横向活动的电动滑台7，电动滑台7的内部设置有延伸至电动滑台7背面的连接件8，连接件8与电子显微镜2固定连接，机架1的内部固定安装有数量为两个
且左右对称的连接架9，两个连接架9的相对一侧设置有可旋转的载台3，显示屏10与机架1固定，左侧连接架9的外部固定有与载台3传动连接的减速电机11，两个丝杆5的右端通过链条传动连接，驱动电机6的输出端与顶部丝杆5通过齿轮组传动连接，两个丝杆5通过链条进行连接可保证其同步进行动作，驱动电机6可直接通过齿轮组与链条带动两个丝杆5旋转，载台3包括旋转板31、探针卡32与红外对位传感器33，旋转板31与两个连接架9转动连接，旋转板31，的正面固定有探针卡32，旋转板31的正面嵌设有红外对位传感器33，设置的探针卡32用于将芯片进行固定，并与芯片连接脚进行连接，设置的红外对位传感器33用于电子显微镜2移动坐标系的定位与复位，两个连接架9的底部均固定有和载台3底端背面接触的限位件，载台3位于电动滑台7的背面，设置的限位件用于将竖直状态的载台3进行定位，避免其产生偏移，电动滑台7包括外壳71、活动件72、滑台电机73与传动杆74，外壳71的顶部与底部均固定有活动件72，两个活动件72分别与两个丝杆5螺纹连接，外壳71的内部竖向设置有与滑台电机73传动连接的传动杆74，传动杆74与连接件8螺纹连接，滑台电机73与外壳71固定，滑台电机73可电动传动杆74旋转，从而推动连接件8进行竖向的移动，设置的活动件72用于和丝杆5进行连接传动，保护壳4的外部固定有输入端与丝杆5固定的角度传感器，电子显微镜2位于载台3的正面。
27.工作原理：
28.在检测作业时，芯片固定在载台3的正面，由电动滑台7带动连接件8与电子显微镜2进行竖向的运动，由驱动电机6带动两个丝杆5旋转使电动滑台7进行横向移动，从而使电子显微镜2可在平面进行任意位置移动，使其可对准需检测电路，将拍摄图像传输至显示屏10上进行显示，当检测存在质量问题时，可直接从载台3上将芯片取下进行回收，若检测无质量问题，则减速电机11带动载台3向后翻转，由对接的传输线将芯片带走至下一加工程序。
29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。