一种用于集成电路芯片制造的检测装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于集成电路芯片制造的检测装置，包括机架（1）、电子显微镜（2）与显示屏（10），其特征在于：所述机架（1）的右侧固定有保护壳（4），所述机架（1）的内部设置有数量为两个且横向延伸至保护壳（4）内部的丝杆（5），所述保护壳（4）的顶部固定有与两个丝杆（5）传动连接的驱动电机（6），两个所述丝杆（5）的外部设置有可横向活动的电动滑台（7），所述电动滑台（7）的内部设置有延伸至电动滑台（7）背面的连接件（8），所述连接件（8）与电子显微镜（2）固定连接，所述机架（1）的内部固定安装有数量为两个且左右对称的连接架（9），两个所述连接架（9）的相对一侧设置有可旋转的载台（3），所述显示屏（10）与机架（1）固定，左侧所述连接架（9）的外部固定有与载台（3）传动连接的减速电机（11）。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置，其特征在于：两个所述丝杆（5）的右端通过链条传动连接，所述驱动电机（6）的输出端与顶部所述丝杆（5）通过齿轮组传动连接。3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置，其特征在于：所述载台（3）包括旋转板（31）、探针卡（32）与红外对位传感器（33），所述旋转板（31）与两个连接架（9）转动连接，所述旋转板（31），的正面固定有探针卡（32），所述旋转板（31）的正面嵌设有红外对位传感器（33）。4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置，其特征在于：两个所述连接架（9）的底部均固定有和载台（3）底端背面接触的限位件，所述载台（3）位于电动滑台（7）的背面。5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置，其特征在于：所述电动滑台（7）包括外壳（71）、活动件（72）、滑台电机（73）与传动杆（74），所述外壳（71）的顶部与底部均固定有活动件（72），两个所述活动件（72）分别与两个丝杆（5）螺纹连接，所述外壳（71）的内部竖向设置有与滑台电机（73）传动连接的传动杆（74），所述传动杆（74）与连接件（8）螺纹连接，所述滑台电机（73）与外壳（71）固定。6.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置，其特征在于：所述保护壳（4）的外部固定有输入端与丝杆（5）固定的角度传感器，所述电子显微镜（2）位于载台（3）的正面。

技术总结
本实用新型涉及集成电路芯片生产技术领域，且公开了一种用于集成电路芯片制造的检测装置，包括机架、电子显微镜与显示屏，所述机架的右侧固定有保护壳，所述机架的内部设置有数量为两个且横向延伸至保护壳内部的丝杆，所述保护壳的顶部固定有与两个丝杆传动连接的驱动电机，两个所述丝杆的外部设置有可横向活动的电动滑台，所述电动滑台的内部设置有延伸至电动滑台背面的连接件，所述连接件与电子显微镜固定连接，所述机架的内部固定安装有数量为两个且左右对称的连接架。该用于集成电路芯片制造的检测装置，可与芯片传输线进行对接，无需人工进行芯片的安装拾取与检测时的移动操作，操作更为简单方便，可有效提高检测效率。可有效提高检测效率。可有效提高检测效率。


技术研发人员：贾苏媛
受保护的技术使用者：江苏望华高新科技有限公司
技术研发日：2021.12.10
技术公布日：2022/5/16